日前，中國(guó)—新加坡蘇州工業(yè)園區(qū)舉辦了MEMS傳感器產(chǎn)品交付會(huì)，蘇州納米科技發(fā)展有限公司將6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線的首個(gè)產(chǎn)品正式 交付客戶。這意味著國(guó)內(nèi)首條全開(kāi)放、市場(chǎng)化運(yùn)作的6英寸微納機(jī)電制造中試線正式運(yùn)營(yíng)，該中試線的投用將為我國(guó)中小MEMS企業(yè)的發(fā)展帶來(lái)福音。

    據(jù)了解，蘇州6英寸微納機(jī)電制造中試線，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設(shè)，超凈場(chǎng)地、廠務(wù)配套設(shè)施、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、公共服務(wù)等場(chǎng)地共占地 1.6萬(wàn)平方米，其中超凈工藝場(chǎng)地占地5200平方米。該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺(tái)項(xiàng)目，也得到了工信部“工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)服務(wù)平臺(tái)項(xiàng)目”支持。

    6英寸微納機(jī)電制造中試線的推動(dòng)者、蘇州納米科技發(fā)展有限公司負(fù)責(zé)人、蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)張希軍表示：“我國(guó)中小MEMS企業(yè)發(fā) 展面臨很多困難，其中一個(gè)關(guān)鍵的難題是產(chǎn)品的工程化與中試生產(chǎn)，規(guī)模代工廠門(mén)檻較高，高校院所的實(shí)驗(yàn)室工程化能力較弱或開(kāi)放度不夠，產(chǎn)品的工程化中試已成 為影響中小MEMS企業(yè)規(guī)模化成長(zhǎng)的瓶頸。中試線不僅是中小企業(yè)的創(chuàng)新平臺(tái)，更彌補(bǔ)了中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈的空白。”