太陽系中的金星(Venus)表面溫度高達(dá)500℃,熱到足以熔化鉛或?qū)X變成漿狀;為此,美國太空總署(NASA)在“中小型企業(yè)創(chuàng)新研發(fā)專案(SmallBusinessInnovationResearchProgram)”之下,提供24萬5,000美元資金,聘請來自美國無晶圓廠業(yè)者OzarkIC(由阿肯色州大學(xué)獨(dú)立)的專家,開發(fā)能耐受500℃高溫的制程設(shè)計(jì)套件(PDK)。
曾任職于德州儀器(TI)的OzarkIC技術(shù)長JimHolmes表示,該公司先前曾獲得美國國家科學(xué)基金會(NSF)贊助,開發(fā)350℃制程設(shè)計(jì)套件,這個成功經(jīng)驗(yàn)讓他們獲得NASA青睞,將在一個兩階段專案中,為VenusLandSailingRover探測裝置(編按:一種外觀為三輪式地面帆船的太空探測器)上應(yīng)用的芯片,打造500℃制程設(shè)計(jì)套件。
由于金星表面溫度是太陽系最高,俄羅斯與日本所開發(fā)的金星探測器都只能支撐幾個小時,NASA所開發(fā)的裝置有希望能超越它們。在OzarkIC開發(fā)案的第一階段,將證實(shí)能將先前開發(fā)的350℃制程設(shè)計(jì)套件(由英國業(yè)者RaytheonSystems所打造,該公司命名為HiT-SiCCMO)擴(kuò)充到500℃;此外NASA要求該套件能耐受行星實(shí)驗(yàn)的紫外線成像儀。
開發(fā)案的第二階段是為VenusLandsailingRover打造具備即時編程功能的微控制器;來自阿肯色大學(xué)(UniversityofArkansas)電子工程系的教授AlanMantooth,他同時也是OzarkIC共同創(chuàng)辦人與董事會成員,將率領(lǐng)一群博士候選人一起參與。
OzarkIC打造可耐受350℃~500℃的碳化矽(SiC)芯片
如果成功,NASA將選擇一位芯片供應(yīng)商,利用OzarkIC的制程開發(fā)套件,生產(chǎn)混合訊號感測器、致動器、微控制器等芯片,應(yīng)用于VenusLandsailingRover上;不同于VenusLandsailingRover的主處理器是被放置在調(diào)整為正常室溫的“冷卻盒”中,那些芯片將是暴露在外運(yùn)作。
NASA所開發(fā)的VenusLandsailingRover金星探測器
NASA所開發(fā)的VenusLandsailingRover金星探測器,能以風(fēng)力發(fā)動,并能在遭遇障礙物時利用一個氣球來飛越
OzarkIC讓芯片能耐受500℃的秘訣之一,是采用碳化矽材料,以標(biāo)準(zhǔn)化矽制程在晶圓片上制作電晶體與其他主動元件;不過采用鋁做為導(dǎo)線卻非常不穩(wěn)定,因?yàn)樵摲N材料在632℃就會熔化。甚至銅也不太適合金星的大氣壓力──地球的大氣壓力為101千帕(thousandPascals),金星的大氣壓力則是900萬帕。
為此OzarkIC表示該公司有一種專為金星打造的金屬層解決方案,但該公司以商業(yè)機(jī)密為由對細(xì)節(jié)保密;Holmes指出,關(guān)鍵成分有許多種,包括一種制程,將基礎(chǔ)半導(dǎo)體加上氧化物與金屬化技術(shù),可耐受極端溫度。該公司正在設(shè)計(jì)內(nèi)含特制氧化物與金屬的碳化矽制程,接下來將搭配溫度補(bǔ)償設(shè)計(jì)方法制作優(yōu)良元件。
OzarkIC擁有80項(xiàng)可耐受超低溫與超高溫的芯片技術(shù)專利,該公司正與阿肯色大學(xué)Mantooth的團(tuán)隊(duì)合作,進(jìn)行將應(yīng)用于VenusLandsailingRover冷卻盒之外的芯片概念驗(yàn)證;NASA雖然希望能將冷卻盒的尺寸最大化,但為了節(jié)省使其“冷卻”的能源,該冷卻盒的尺寸還是必須小型化。
Mantooth表示,VenusLandsailingRover會應(yīng)用到的芯片可能包括高溫資料轉(zhuǎn)換器、記憶體、邏輯元件,以及感測器訊號處理芯片,因此包括類比與數(shù)位電路;一旦他的團(tuán)隊(duì)能完成那些芯片的概念驗(yàn)證,以及預(yù)估打造那些芯片的成本,NASA將決定由哪一家芯片供應(yīng)商來實(shí)際制作VenusLandsailingRover的芯片