臺灣臺積電(TSMC)在“ISPSD 2016”上公開了受托生產(chǎn)服務的藍圖及試制元件的特性等。該公司將采用在直徑150mm(6英寸)的硅基板上形成GaN層的“硅基氮化鎵”(GaN on Si)技術生產(chǎn)GaN晶體管。
臺積電打算開展受托生產(chǎn)的GaN晶體管有三種類型:(1)常開型(Normal On)MISFET、(2)常開型HEMT、(3)常關型(Normal Off)。按耐壓高低來分有40V、100V和650V產(chǎn)品。
其中,耐壓650V的常關型HEMT已開始受托生產(chǎn)。臺積電在演講中介紹了該元件的特性。在運行時導通電阻會升高的崩潰(Collapse)特性方面,僅為運行前電阻值的1.3~1.4倍。
此外,關于常關型HEMT,臺積電將于2016年6月開始受托生產(chǎn)耐壓100V的產(chǎn)品。關于常開型HEMT,該公司預定從2016年9月開始受托生產(chǎn)耐壓100V的產(chǎn)品。常開型MISFET方面,預定從2016年6月開始受托生產(chǎn)耐壓650V的產(chǎn)品和耐壓100V的產(chǎn)品。
目前臺積電設想使用直徑150mm的硅基板,將來還打算使用更大尺寸的基板。該公司的演講者表示,“具體情況不便透露,3年后也許可以使用200mm(8英寸)基板”。
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