《電子技術(shù)應(yīng)用》
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全球排名前十的半導(dǎo)體設(shè)備廠商詳解

2016-09-28

       在說半導(dǎo)體設(shè)備之前,我們先說一下半導(dǎo)體這個行當(dāng)。從大的方向上來說,半導(dǎo)體市場可以分為集成電路、分立器件光電子傳感器四大領(lǐng)域,其中尤以集成電路所占的份額最為龐大。

  根據(jù)美國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SIA)發(fā)布的最新發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示,2015 年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模為 3,352 億美元,比 2014 年略減0.2%。而集成電路的規(guī)模高達2,753 億美元,占半導(dǎo)體市場的 81%。所以說集成電路是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重中之重。

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  而根據(jù)SEMI公布的數(shù)據(jù)顯示,2015年全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額為365.3億美元,低于2014年的375.0億美元(約1.23兆元臺幣)銷售額。此項統(tǒng)計包含晶圓前段制程設(shè)備、后段封裝測試設(shè)備以及其他前段設(shè)備。其他前段設(shè)備包括光罩╱倍縮光罩制造、晶圓制造以及晶圓廠設(shè)施。

  在這些設(shè)備采購份額中,臺灣已連續(xù)第4年穩(wěn)坐半導(dǎo)體設(shè)備最大市場寶座,設(shè)備銷售金額達96.4億美元,這主要得益于臺灣本身在封測產(chǎn)業(yè)的興旺,臺積電、聯(lián)電、矽品和日月光等,無一不是行業(yè)內(nèi)名列前茅的代表,但其年增僅約2%。

  而南韓與日本市場擴大并超越北美,分別排名第2及第3,其中,日本市場以年增31%居各市場成長之冠。

  北美市場則是以51.2億美元(約1679億元臺幣)金額落到第4位,年減幅度高達37%、歐洲市場年減約19%﹔

  中國市場規(guī)模依舊超越歐洲市場及其他地區(qū),年成長約12%。 高企的增長率除了國內(nèi)對中芯國際、長電等企業(yè)的扶持外,還有就是格羅方德、臺積電等知名企業(yè)和國內(nèi)的合資或者投資建廠,給中國帶來了增長的機遇。毫無疑問,中國在未來幾年在半導(dǎo)體設(shè)備方面有高速增長的需求。

  但與高速增長需求不相匹配的是,國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備,尤其是在高端設(shè)備的缺失,提升了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的準(zhǔn)入門檻。

  根據(jù) SEMI 的統(tǒng)計, 2014 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模為 375 億美元,前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商的銷售額為 351 億美元,市場占有率高達 93.6%,行業(yè)處于寡頭壟斷局面。 前十大半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商中,有美國企業(yè) 4 家,日本企業(yè) 5 家,荷蘭企業(yè)1 家。里面難尋中國廠商的蹤影,這和近幾年中國飛速發(fā)展的fabless產(chǎn)業(yè)是格格不入的。這也與今年國內(nèi)推動的封測產(chǎn)業(yè)相去甚遠(yuǎn)的。如何提升國產(chǎn)設(shè)備的市場占有率就成為半導(dǎo)體從業(yè)者關(guān)注的另一個問題。

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  PS:需要說明一下,在2015年10月,半導(dǎo)體設(shè)備制造商LamResearch(科林研發(fā))以約106億美元收購其競爭對手KLA-Tencor(科磊)公司,改變了設(shè)備市場的格局。

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 ?。◤纳舷聝蓤D對比可以看出,國內(nèi)外的差距多嚴(yán)重)

  假設(shè) 2014 年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售額為40.53 億元,僅占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場份額的 1.7%,處于可以忽略的地位,半導(dǎo)體設(shè)備的落后程度可見一斑。

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  從上圖可以看出,整個集成電路的打磨過程中,會涉及到各種各樣的設(shè)備。我們就按照市場的占有率介紹一下前十的設(shè)備公司,并介紹一下他們的相關(guān)設(shè)備,并說明一下他們在半導(dǎo)體流程中充當(dāng)什么角色。

       一、應(yīng)用材料

  按維基百科,應(yīng)用材料公司是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備和服務(wù)供應(yīng)商。應(yīng)用材料公司創(chuàng)建于1967年,公司總部位于美國加利福尼亞州圣克拉拉。應(yīng)用材料公司1984年進入中國,目前在上海,北京,天津,蘇州,無錫等地有辦事處或倉庫,在西安設(shè)有太陽能開發(fā)中心。

  應(yīng)用材料公司的主要產(chǎn)品為芯片制造相關(guān)類產(chǎn)品,例如原子層沉積,物理氣相沉積,化學(xué)氣相沉積,電鍍,侵蝕,離子注入,快速熱處理,化學(xué)機械拋光,測量學(xué)和硅片檢測等。應(yīng)用材料公司每年的研究經(jīng)費達到約10億美元。

  應(yīng)用材料公司Applied Materials(AMAT)歷史沿革:

  1967年,Michael A. McNeilly創(chuàng)立應(yīng)用材料公司;

  1972年,Applied Materials公開交易;

  1984年,應(yīng)用材料公司進入中國,目前在上海,北京,天津,蘇州,無錫等地有辦事處或倉庫,在西安設(shè)有太陽能開發(fā)中心(詳見下文);

  1996年11月,應(yīng)用材料公司收購兩家以色列公司:1.75億美金收購Opal Technologies、1.1億美元收購Orbot Instruments;

  2000年,Applied Materials收購Etec Systems, Inc.;

  2011年6月27日,應(yīng)用材料公司以2100萬美金收購以色列公司OramirSemiconductor Equipment Ltd.;

  2008年1月,Applied Materials購買意大利公司Baccini;

  2009年,應(yīng)用材料公司在中國陜西西安開設(shè)了其太陽能技術(shù)中心(Solar Technology Center)—是目前全球最大的商業(yè)太陽能能源研究和發(fā)展機構(gòu)/設(shè)施;

  2009年12月,Applied Materials完成對Semitool Inc.的收購;

  2011年5月,Applied Materials宣布收購Varian Semiconductor;

  2013年9月24日,應(yīng)用材料宣布將透過換股方式,作價90億美元收購主要競爭對手東京電子(Tokyo Electron),2015年4月28日,應(yīng)用材料與東京電子表示將取消業(yè)務(wù)合并計劃,因該合并未獲得美國司法部認(rèn)可。

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  二、ASML

  阿斯麥公司(臺譯:艾司摩爾控股公司)ASML Holding NV創(chuàng)立于1984年,前稱ASM Lithography Holding N.V.,于2001年改為現(xiàn)用名,總部位于荷蘭費爾德霍芬(Veldhoven),全職雇員12,168人,是一家半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計、制造及銷售公司。

  公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備的設(shè)計、制造及銷售,ASML公司主要專精于晶片制造微縮影設(shè)備之設(shè)計制造與整合,積體電路生產(chǎn)流程中,其關(guān)鍵的制程技術(shù)則是微縮影(lithography)技術(shù)將電路圖影像投射在晶片上之曝光。業(yè)務(wù)范圍遍及全球,生產(chǎn)與研發(fā)單位則分別位于美國康乃狄克州、加州,臺灣以及荷蘭。

  阿斯麥公司在世界14個國家和地區(qū)有50個子公司和生產(chǎn)據(jù)點,主要產(chǎn)品是用來生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備光刻機,在世界同類產(chǎn)品中有90%的市占率。

  阿斯麥公司(艾司摩爾控股)ASML Holding(ASML)簡史:

  1984年,艾司摩爾從荷蘭著名電子制造商飛利浦獨立,此后致力于大規(guī)模集成電路制造設(shè)備的研究和制造。根據(jù)摩爾定律不斷為提高單位面積集成度作貢獻。2007年已經(jīng)能夠提供制造37nm線寬集成電路的光刻機。

  制造大規(guī)模集成電路時要對半導(dǎo)體晶圓曝光3,40次。如何在不降低品質(zhì)的情況下,減少曝光次數(shù)是曝光機的發(fā)展方向。阿斯麥公司使用德國蔡斯公司的光路系統(tǒng)。鏡頭使用螢石和石英制造。

  曝光機是高附加值產(chǎn)品,一臺新的曝光機動輒3000至5000萬美元。但是研發(fā)周期長投入資金也相當(dāng)巨大。

  阿斯麥公司為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機及相關(guān)服務(wù),TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生產(chǎn)效率最高,應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商,都向ASML采購TWINSCAN機型,例如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix,KSE:000660),臺積電(TSMC),聯(lián)電((NYSE:UMC)),格羅方德(GlobalFoundries,格羅方德成立于2009年3月2日,是從美國AMD公司制造部門分拆出。母公司分別為AMD及阿布扎比的Advanced Technology Investment Company(ATIC),其中ATIC占公司股權(quán)65.8%)及其它臺灣十二吋半導(dǎo)體廠。

  目前(截至2012年,現(xiàn)在的不知道,誰清楚請告知)已經(jīng)商用的最先進機型是Twinscan XT 1950i,每小時單位產(chǎn)出為260片(WPH)12吋芯片,屬于浸潤式(immersion)光刻機,用來生產(chǎn)關(guān)鍵尺度低于38納米的集成電路。

  除了目前致力于開發(fā)的TWINSCAN平臺外,阿斯麥公司還在積極與IBM等半導(dǎo)體公司合作,開發(fā)下一代光刻技術(shù),比如EUV(極紫外線光刻),用于關(guān)鍵尺度在22納米甚至更低的集成電路制造。目前阿斯麥公司已經(jīng)向客戶遞交若干臺EUV機型,用于研發(fā)和實驗。同時,基于傳統(tǒng)TWINSCAN平臺的雙重曝光等新興技術(shù),也在進一步成熟和研發(fā)過程當(dāng)中。07年末三星(Samsung)宣布成功生產(chǎn)的36nm NAND Flash,基于的便是雙重曝光技術(shù)(double patten)。

  2012年7月10日,英特爾斥資41億美元收購荷蘭芯片設(shè)備制造商阿斯麥公司的15%股權(quán),另出資10億美元,支持阿斯麥公司加快開發(fā)成本高昂的芯片制造科技。先以21億美元,收購阿斯麥公司10%股權(quán),待股東批準(zhǔn)后,再以10億美元收購5%股權(quán),投注金額將以發(fā)展450mm機臺以及EUV研發(fā)制造10nm技術(shù)為兩大主軸。

  2012年8月5日,臺積電宣布加入荷蘭阿斯麥公司所提出的“客戶聯(lián)合投資專案”(Customer Co-Investment Program),根據(jù)協(xié)議,臺積電將投資ASML達8.38億歐元,取得阿斯麥公司約5%股權(quán),未來5年并將投入2.76億歐元,支持阿斯麥公司的研發(fā)計劃。

  2012年8月27日,三星宣布斥資5.03億歐元入股以荷蘭為基地的芯片商阿斯麥公司3%股權(quán),并額外注資2.75億歐元合作研發(fā)新技術(shù)。

  2012年10月17日,ASML Holding NV(ASML)與Cymer (原NASDAQ:CYMI)宣布簽訂合并協(xié)議,阿斯麥公司將以19.5億歐元收購Cymer所有在外流通股票,收購Cymer目的在于加速開發(fā)Extreme Ultraviolet半導(dǎo)體蝕微影技術(shù),兩家公司董事會一致通過這件交易,Cymer股東將以每股收取20萬美元現(xiàn)金和1.1502股ASML普通股,收購價比Cymer過去30日均價高出61%。

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       三、Tokyo Electron

  東京電子 成立于1963年,為全球第三大半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商,提供給半導(dǎo)體與平面顯示器產(chǎn)業(yè)。

  半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,包括涂布機、電漿蝕刻系統(tǒng)、熱加工系統(tǒng)、單晶片沉積系統(tǒng)、清洗系統(tǒng),用于晶圓生產(chǎn)流程,還提供晶圓探針系統(tǒng)。平板顯示器生產(chǎn)設(shè)備,包括平面顯示鍍膜機、平面電漿蝕刻,及電漿體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)用于薄膜矽太陽能電池。

  東京電子發(fā)展歷程:

  1963年11月 - 由東京放送(TBS)成立東京電子研究所

  1978年10月 - 東京電子研究所更名為東京電子

  1980年?6月 - 在東京證券交易所第2部上市

  1984年 3月 - 升格為在東京證券交易所第1部上市

  1990年8月 - 成立東電FE,開始研發(fā)制造LCD和FPD的設(shè)備

  1994年 8月 - 總公司地址搬到赤坂TBS放送中心

  2006年 4月 - 分割為東電AT,東電九州和東電軟件技術(shù)三個子公司

  2008年 2月 - 和夏普合資成立東京電子PV

  2013年 9月 - 和應(yīng)用材料合并

  2015年 4月 - 應(yīng)用材料與東京電子表示將取消業(yè)務(wù)合并計劃,理由是該計劃未獲得美國司法部認(rèn)可。

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  四、Lam Research

  Lam Research Corporation成立于1980年,總部位于美國加州,是一家向全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供晶圓制造設(shè)備和服務(wù)的供應(yīng)商。

  公司主要設(shè)計、制造、行銷、維修及服務(wù)使用于積體電路制造的半導(dǎo)體處理設(shè)備,此外,還提供單晶圓清潔技術(shù)的多樣組合。

  旗下子公司Customer Support Business Group提供可強化設(shè)備效能及效率的產(chǎn)品與服務(wù)。該公司提供服務(wù)的范圍包括客戶服務(wù)、備用零件的供應(yīng)、產(chǎn)品升級、產(chǎn)品蝕刻、沉積、去除光阻及清潔等服務(wù),并還制造、銷售一系列的研磨、疊置及精密拋光等設(shè)備。2012年6月,公司完成與Novellus Systems, Inc.合并。

  科林研發(fā)公司(拉姆研究)Lam Research(LRCX)歷史沿革:

  1980,David K. Lam創(chuàng)立科林研發(fā)公司;

  1981,發(fā)布第一款產(chǎn)品——AutoEtch 480;

  1984,首次公開發(fā)行IPO,登陸納斯達克;

  1985,發(fā)布第一款oxide etch system——AutoEtch 590

  1987,將總部搬到弗里蒙特Cushing Parkway,發(fā)布Rainbow 4400 Etch Series;

  1990,進入中國大陸市場;

  1997,收購OnTrak Systems, Inc.;

  2001,獲得ISO 9001:2000質(zhì)量體系認(rèn)證;

  2002,開設(shè)新品&技術(shù)發(fā)布網(wǎng)站MyLam.com;

  2003,取得ISO 14001環(huán)境管理體系認(rèn)證;

  2012年6月4日,Lam Research Corp.完成與加州上市公司諾發(fā)系統(tǒng)Novellus Systems, Inc.的合并。

  2015年10月21日,科林研發(fā)公司宣布將斥資106億美元, 以現(xiàn)金加股票的方式收購?fù)瑯I(yè)的美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商科磊半導(dǎo)體(KLA-Tencor )。

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  五、KLA-Tencor

  科磊半導(dǎo)體(或:科天半導(dǎo)體、美商科磊股份有限公司)KLA-Tencor Corporation創(chuàng)立于1975年,總部位于美國加州米爾皮塔斯,全職雇員5,880人,是全球前十大IC設(shè)備生產(chǎn)廠商,擁有晶圓檢測與光罩檢測系統(tǒng)。

  KLA-Tencor Corporation是一家從事半導(dǎo)體及相關(guān)納米電子產(chǎn)業(yè)的設(shè)計、制造及行銷制程控制和良率管理解決方案商,其產(chǎn)品包括晶片制造、晶圓制造、光罩制造、互補式金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)和圖像感應(yīng)器制造、太陽能制造、LED制造,資料儲存媒體/讀寫頭制造、微電子機械系統(tǒng)制造及通用/實驗室應(yīng)用等。

  此外,科磊半導(dǎo)體公司還提供翻新的KLA-Tencor工具,連同其KT認(rèn)證計畫予客戶制造更大的設(shè)計規(guī)則裝置及產(chǎn)品支援服務(wù)。公司產(chǎn)品應(yīng)用于許多其他行業(yè),包括LED,資料儲存和太陽能等產(chǎn)業(yè),以及一般材料的研究。

  科磊半導(dǎo)體(科天半導(dǎo)體)KLA-Tencor Corp(KLAC)歷史沿革:

  1975年,Ken Levy 和 Bob Anderson創(chuàng)立KLA Instruments,是KLA-Tencor Corporation的前身之一;

  1997年,KLA Instruments 與同業(yè)公司 Tencor Instruments合并,成立KLA-Tencor;

  1998年,KLA-Tencor收購Amray Inc.、Nanopro GmbH、Keithley Instruments, Inc.的 Quantox產(chǎn)品線、VARS、Uniphase Corporation的Ultrapointe分公司;

  1999年,科磊半導(dǎo)體收購ACME Systems Inc.;

  2000年,KLA-Tencor收購FINLE Technologies, Inc.,并從ObjectSpace Inc.手里收購了Fab Solutions;

  2001年,收購Phase Metrics;

  2004年,收購Candela Instruments及Inspex, Inc.的硅片檢測系統(tǒng)業(yè)務(wù);

  2006年,收購ADE Corporation;

  2007年,收購OnWafer Technologies、SensArray Corporation以及Therma-Wave Corporation;

  2008年,收購ICOS Vision Systems Corporation NV、以及Vistec Semiconductor Systems的微電子檢測設(shè)備業(yè)務(wù)單元;

  2010年,收購Ambios Technology;

  2014年,收購Luminescent Technologies;

  2015年10月21日,科林研發(fā)公司宣布將斥資106億美元, 以現(xiàn)金加股票的方式收購科磊半導(dǎo)體(KLA-Tencor )

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       六、DNS(Dainippon Screen,迪恩仕)

  SCREEN 集團專職研究開發(fā)各項半導(dǎo)體設(shè)備、液晶生產(chǎn)設(shè)備及專業(yè)級印刷設(shè)備,其集團公司包含全世界共有數(shù)十個服務(wù)據(jù)點,足跡遍及臺灣、日本、美國、歐洲、中國大陸、韓國、新加坡等地。

  迪恩仕總部位于日本。從印前、印刷及相關(guān)設(shè)備到電子產(chǎn)業(yè),迪恩士已在各個領(lǐng)域擴大了其業(yè)務(wù)范圍。 在“發(fā)展思路”的公司的原則指導(dǎo)下,以核心圖像處理技術(shù)為杠桿,不斷努力開創(chuàng)著新的業(yè)務(wù)和產(chǎn)品。

  迪恩仕現(xiàn)在正在發(fā)展和生產(chǎn)印刷領(lǐng)域及世界領(lǐng)先的高科技領(lǐng)域的印刷技術(shù)數(shù)字化設(shè)備,如電子領(lǐng)域的半導(dǎo)體制造設(shè)備,F(xiàn)PDs (平板顯示器)和印刷電路板。

  迪恩仕科技提供各領(lǐng)域之半導(dǎo)體晶圓設(shè)備,包含洗凈、蝕刻、顯影/涂布等制程用途,其中洗凈設(shè)備于半導(dǎo)體業(yè)界具有極高之市占率,同時隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)進步不斷推陳出新設(shè)備產(chǎn)品。

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  七、Advantest

  ADVANTEST公司1954年成立于日本東京,主要從事大規(guī)模集成電路自動測試設(shè)備及電子測量儀器的研發(fā)、制造、銷售和服務(wù)。

  半個多世紀(jì)以來,公司憑借其優(yōu)秀的經(jīng)營理念和尖端的技術(shù),已成為全球最大的集成電力自動測試設(shè)備供應(yīng)商之一,并在美國、歐洲、亞洲成立了多個子公司,就近向半導(dǎo)體行業(yè)提供完善的整體解決方案,及一流的售后服務(wù)。

  ADVANTEST公司的產(chǎn)品主要分為集成電路自動測試設(shè)備和電子測量儀器兩大部分。集成電路自動測試設(shè)備的產(chǎn)品包裹SoC測試系統(tǒng)、Memory測試系統(tǒng)、混合信號測試系統(tǒng)、LCD Driver測試系統(tǒng)、動態(tài)機械手等; 電子測量儀器產(chǎn)品則包括頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀等。近二十年來,作為半導(dǎo)體測試設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè),ADVANTEST公司的產(chǎn)品銷售額和市場占有率在全球同行業(yè)中的排名一直數(shù)一數(shù)二,并在近幾年ATE測試設(shè)備的市場份額最新排名中依然榮居榜首。

  ADVANTEST公司自二十世紀(jì)七十年代開始與中國展開技術(shù)交流,并與1993年正式進入中國市場。目前在北京、上海、蘇州分別有注冊公司(分公司)。其中技術(shù)工程師占60%以上。

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  八、Teradyne

  美商泰瑞達Teradyne, Inc.創(chuàng)立于1960年,總部位于美國馬薩諸塞州North Reading,全職雇員3,900人,是一家生產(chǎn)電子與通訊產(chǎn)品所需的自動化測試器材與相關(guān)軟件的自動測試設(shè)備公司。

  美商泰瑞達(Teradyne)是一家自動測試機臺的制造商(Automatic Test Equipment,ATE),產(chǎn)品包括半導(dǎo)體測試系統(tǒng)、電路板與電話線與網(wǎng)路所需的軟件,2005年,泰瑞達公司在系統(tǒng)整合芯片的元件測試市場中,市占率最高。

  國內(nèi)外知名企業(yè)如Motorola, Philips Semiconductor, Texas Instrument, Cisco, 3Com,中芯國際,ChipPac, 華為,貝嶺等皆為公司客戶。

  美商泰瑞達Teradyne(TER)歷史沿革:

  1960 - Alex d’Arbeloff 和 Nick DeWolf創(chuàng)立Teradyne;

  1961 - 發(fā)布第一個產(chǎn)品——二極管測試儀(D133),由 Raytheon Company出售;

  1966 - Teradyne發(fā)布第一款電腦控制芯片測試儀——J259;

  1969 - Teradyne 在收購Triangle Systems后建立Teradyne Dynamic Systems;

  1970 - Teradyne登陸紐交所,發(fā)行42萬股,股票代碼:TER;

  1973 - Teradyne 在芝加哥建立 Teradyne Central來開發(fā)電信測試系統(tǒng);

  1973 - Teradyne發(fā)布全球第一款用戶線測試系統(tǒng)——4TEL;

  1979 - Teradyne發(fā)布A300 Analog LSI測試系統(tǒng),同年營業(yè)額突破1億美金大關(guān);

  1980 - Teradyne發(fā)布第一款電路/電路板功能測試系統(tǒng)組合——L200;

  1981 - Teradyne發(fā)布第一款超大規(guī)模集成電路不停機測試系統(tǒng)——J941;

  1986 - Teradyne發(fā)布第一款模擬超大規(guī)模集成電路測試系統(tǒng)——A500;

  1988 - Teradyne發(fā)布第一款使用電子表格程序設(shè)計的基于PC的電路板測試儀——Z1800-Series.

  1990 - Teradyne執(zhí)行全公司的全面質(zhì)量管理舉措;

  1993 - Teradyne的4TEL電信測試系統(tǒng)獲得來自Deutsche Telekom的6300萬美元大單;

  1996 - Teradyne 發(fā)布第一款基于VXI的在線測試系統(tǒng)——Spectrum 8800-系列生產(chǎn)測試平臺(Manufacturing Test Platform);

  1996 - 發(fā)布Marlin Memory Test 系統(tǒng);

  1997 - Teradyne制造第一款可實時轉(zhuǎn)移的結(jié)構(gòu)到功能測試系統(tǒng)——J973;

  1997 - Teradyne發(fā)布第一款System-On-A-Chip測試系統(tǒng)——Catalyst;

  1998 - Teradyne發(fā)布——J750,一個低成本設(shè)備的大批量測試解決方案;

  2000 - Teradyne Japan Division發(fā)布新一代圖像傳感器測試系統(tǒng)——IP-750;

  2004 - Teradyne發(fā)布為復(fù)雜的SOC器件提供高靈活性、高工作量以及高混合的測試系統(tǒng)——FLEX;

  2006 - Teradyne將總部搬到馬薩諸塞州North Reading;

  2008 - Teradyne收購Eagle Test 和 Nextest Systems;

  2011 - Teradyne 收購 LitePoint;

  2015 - Teradyne 收購 Danish company Universal Robots。

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       九、Hitachi High-Technologies

  日立全球先端科技為全球半導(dǎo)體設(shè)備大廠。主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體設(shè)備、電子顯微鏡、液晶面板相關(guān)設(shè)備,F(xiàn)PD設(shè)備包括包括Array、Cell、Module、彩色濾光片之制程設(shè)備,包含玻璃基板表面檢查設(shè)備、曝光機、濕制程設(shè)備。.等及醫(yī)療分析設(shè)備。

  公司還提供鋼制品、非鐵金屬產(chǎn)品、綜合性樹脂產(chǎn)品、光通訊材料、石油化學(xué)產(chǎn)品等工業(yè)材料。

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  十、尼康

  Nikon 成立于1917年,是總部設(shè)在日本東京,主要分四個事業(yè)領(lǐng)域,分別精密設(shè)備公司、映像公司、儀器公司及其他(包括CMP裝置事業(yè)、測量機事業(yè)、望遠(yuǎn)鏡事業(yè)等)。

  精密設(shè)備事業(yè)部是提供積體電路曝光機和掃描儀,用于在大規(guī)模積體電路制造;影像產(chǎn)品事業(yè)部提供的數(shù)位相機、膠卷相機及零件,包括可互換鏡頭、閃光燈、膠片掃描儀等;儀器事業(yè)部提供顯微鏡、測量儀器、半導(dǎo)體檢測設(shè)備。

  其他還有提供運動光學(xué)產(chǎn)品,如望遠(yuǎn)鏡、單筒/雙筒望遠(yuǎn)鏡、雷射測距儀等。

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  行業(yè)專家莫大康認(rèn)為,發(fā)展設(shè)備業(yè)之所以最為困難,除了資金、人才等問題,最關(guān)鍵是使用量太少。


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