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高性能二維半導體新材料展現出優(yōu)異性能

2017-04-10
關鍵詞: 半導體 材料 信息 納米

半導體材料是電子信息產業(yè)的基石。目前,隨著晶體管特征尺寸的縮小,由于短溝道效應等物理規(guī)律和制造成本的限制,主流硅基材料與CMOS(互補金屬氧化物半導體)技術正發(fā)展到10納米工藝節(jié)點而很難提升,摩爾定律可能終結。

因此,開發(fā)新型高性能半導體溝道材料和新原理晶體管技術,是科學界和產業(yè)界近20年來的主流研究方向之一。在眾多CMOS溝道材料體系中,相比于一維納米線和碳納米管,高遷移率二維半導體的器件加工與傳統(tǒng)微電子工藝兼容更好,同時其超薄平面結構可有效抑制短溝道效應,被認為是構筑后硅時代納電子器件和數字集成電路的理想溝道材料。

然而,現有二維材料體系(石墨烯、拓撲絕緣體、過渡金屬硫族化合物、黑磷等)無法同時滿足超高遷移率、合適帶隙、環(huán)境穩(wěn)定和可批量制備的現實要求,開發(fā)符合要求的高性能二維半導體新材料體系迫在眉睫。

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新型穩(wěn)定的超高遷移率二維半導體材料BOX及晶體管示意圖

近日,北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授課題組與合作者首次發(fā)現一類同時具有超高電子遷移率、合適帶隙、環(huán)境穩(wěn)定和可批量制備特點的全新二維半導體(硒氧化鉍,Bi2O2Se),在場效應晶體管器件和量子輸運方面展現出優(yōu)異性能。

彭海琳課題組基于前期對拓撲絕緣體(Bi2Se3,Bi2Te3)等二維量子材料的系統(tǒng)研究,提出用輕元素部分取代拓撲絕緣體中的重元素,以降低重元素的自旋-軌道耦合等相對論效應,進而調控其能帶結構,消除金屬性拓撲表面態(tài),獲得高遷移率二維半導體。

經過材料的理論設計和數年的實驗探索,該課題組發(fā)現了一類全新的超高遷移率半導體型層狀氧化物材料Bi2O2Se,并利用化學氣相沉積(CVD)法制備了高穩(wěn)定性的二維Bi2O2Se晶體。基于理論計算和電學輸運實驗測量,證明Bi2O2Se材料具有合適帶隙(~0.8eV)、極小的電子有效質量(~0.14m0)和超高的電子遷移率。

系統(tǒng)的輸運測量表明:CVD制備的Bi2O2Se二維晶體在未封裝時的低溫霍爾遷移率可高于20000cm2/V·s,展示了顯著的SdH量子振蕩行為;標準的Bi2O2Se頂柵場效應晶體管展現了很高的室溫表觀場效應遷移率(~2000cm2/V·s)和霍爾遷移率(~450 cm2/V·s)、很大的電流開關比(>106)以及理想的器件亞閾值擺幅(~65mV/dec)。

二維Bi2O2Se這些優(yōu)異性能和綜合指標已經超過了已有的一維和二維材料體系。Bi2O2Se這種高遷移率半導體特性還可能拓展到其他鉍氧硫族材料(BOX:Bi2O2S、Bi2O2Se、Bi2O2Te)。結合其出色的環(huán)境穩(wěn)定性和易于規(guī)模制備的特點,超高遷移率二維半導體BOX材料體系在構筑超高速和低功耗電子器件方面具有獨特優(yōu)勢,有望解決摩爾定律進一步向前發(fā)展的瓶頸問題,給微納電子器件帶來新的技術變革,具有重要的基礎科學意義和實際應用價值。

  首先,因為可以使用相同的軟件開發(fā)視覺系統(tǒng)和運動系統(tǒng),設計者不需要熟悉多種編程語言或環(huán)境,因此降低了開發(fā)復雜性。第二,消除了以太網網絡上的潛在性能瓶頸,因為現在數據僅在單個應用中的環(huán)路之間傳遞,而不是在物理層之間傳遞。

  這使得整個系統(tǒng)的運行具有確定性,因為一切共享相同的過程。當將視覺直接引入控制回路中時,例如在視覺伺服應用中,這是特別有價值的。這里,視覺系統(tǒng)在運動期間連續(xù)捕獲致動器和目標零件的圖像,直到運動完成。這些捕獲的圖像用于提供關于運動成功的反饋。有了這一反饋,設計人員可以提高現有自動化的精度和精密度,而無需升級到高性能運動硬件。

  現在提出了一個問題:這個系統(tǒng)是什么樣子?如果設計人員將要使用能滿足機器視覺系統(tǒng)所需的計算和控制需求的系統(tǒng),并要與其他系統(tǒng)(如運動控制、HMI和I/O)無縫連接,那么他們需要使用具備所需性能的硬件架構,以及每個這些系統(tǒng)所需的智能和控制能力。

  這種系統(tǒng)的一個很好的選擇是:使用將處理器和FPGA與I/O相結合的異構處理架構。已經有很多行業(yè)投資這種架構,包括美國Xilinx公司的Zynq全可編程SoC(將ARM處理器與Xilinx 7系列FPGA架構相結合),以及英特爾數十億美元收購Altera等。

  對于視覺系統(tǒng),使用FPGA特別有益,這主要是因為其固有的并行性。算法可以分開,運行數千種不同的方式,并且可以保持完全獨立。另外,這種架構的好處不僅僅體現在視覺方面,其對運動控制系統(tǒng)和I/O也大有裨益。處理器和FPGA可用于執(zhí)行高級處理、計算和制定決策。設計人員幾乎可以通過模擬和數字I/O、工業(yè)協議、定制協議、傳感器、致動器和繼電器等,連接到任何總線上的任何傳感器。此架構還滿足了其他要求,如時序和同步以及業(yè)務挑戰(zhàn)(如提高生產率)。每個人都希望更快地開發(fā)產品,這種架構消除了對大型專業(yè)設計團隊的需要。

  不幸的是,雖然這種架構提供了很多性能和可擴展性,但是實現它的傳統(tǒng)方法需要專業(yè)知識,特別是在使用FPGA時。這為設計者帶來了巨大風險,并有可能導致使用該架構不切實際甚至不可能。然而,使用集成軟件(如NI LabVIEW),設計人員可以通過提取低級復雜性,并將所需的所有技術集成到單一開發(fā)環(huán)境中,來提高生產率,降低風險。

  理論是一回事,將其付諸實踐是另一回事。Master Machinery是臺灣一家生產半導體加工設備的公司(見圖4)。這種特定的設備使用機器視覺、運動控制和工業(yè)I/O的組合,將芯片從硅晶片上取下并封裝。這是能使用圖1中的分布式架構的機器示例,每個子系統(tǒng)可以單獨開發(fā),然后通過網絡集成在一起。

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  圖4:使用中央集權的、以軟件為中心的方法,Master Machinery公司將其主機控制器、機器視覺和運動系統(tǒng)、I/O和HMI全部集成到單個控制器中,性能是競爭對手的10倍。

  行業(yè)內這種機器每小時的產量大約為2000個零件。但是Master Machinery公司采取了不同的方法。他們設計了中央集權的、以軟件為中心的架構,并將主機控制器、機器視覺和運動系統(tǒng)、I/O和HMI全部集成到單獨的控制器中,所有都采用LabVIEW編程。除了不需要單個子系統(tǒng)實現成本節(jié)約之外,這種方法還具備性能優(yōu)勢,其每小時大約能生產20000個零件,是競爭產品的10倍。

  Master Machinery公司成功的關鍵因素之一是能夠將多個子系統(tǒng)組合在單個軟件堆棧中,特別是機器視覺和運動控制系統(tǒng)。使用這種統(tǒng)一的方法,Master Machinery公司不但簡化了設計機器視覺系統(tǒng)的方式,而且還簡化了如何設計整個系統(tǒng)。

  機器視覺是一項復雜的任務,需要大量的處理能力。隨著摩爾定律繼續(xù)增加處理元件(如CPU、GPU和FPGA)的性能,設計人員可以使用這些組件來開發(fā)高度復雜的算法。設計人員還可以使用此技術來提高設計中其他組件的設計性能,特別是在運動控制和I/O領域。

  隨著所有這些子系統(tǒng)性能的提高,用于開發(fā)這些機器的傳統(tǒng)分布式架構將面臨壓力。將這些任務整合到單個控制器中,運行在單個軟件環(huán)境下,消除了設計過程中的瓶頸,使設計人員可以專注于創(chuàng)新,而不必擔心實施問題。


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