隨著電子產(chǎn)品的快速發(fā)展,作為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的上游,硅片的研發(fā)生產(chǎn)成為支撐整個產(chǎn)業(yè)鏈最重要、應用最廣泛的基礎功能關鍵環(huán)節(jié)。目前,國內(nèi)8英寸硅片需求約為每月70萬片,約90%需依靠進口。而近10萬片的國產(chǎn)硅片份額中,64%出自寧波的浙江金瑞泓科技股份有限公司的生產(chǎn)車間。
近日,“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(02專項)實施管理辦公室在寧波組織召開02專項正式驗收會。金瑞泓科技公司承擔的“8英寸硅片研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化及12英寸硅片關鍵技術研究”項目順利通過驗收。相關專家表示,該項目的順利驗收,標志著我國8英寸半導體硅片的大批量生產(chǎn)得以實現(xiàn),藉此有望打破國外對8英寸半導體硅片高度壟斷的局面,極大地縮小我國與國際半導體硅片行業(yè)生產(chǎn)水平間的差距。
據(jù)了解,重大專項是為了實現(xiàn)國家目標,通過核心技術突破和資源集成,在一定時限內(nèi)完成的重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關鍵共性技術和重大工程?！秶抑虚L期科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020)》確定了大型飛機等16個重大專項。這些重大專項是我國到2020年科技發(fā)展的重中之重?！皹O大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”屬于專項中的第二項,所以簡稱為“02專項”。
全面建成8英寸硅片規(guī)模化生產(chǎn)線
半導體行業(yè)龍頭順利通過專項驗收
此次項目驗收會的專家組由國家科技重大專項咨詢委專家、行業(yè)資深技術專家、知識產(chǎn)權專家、財務專家組成等17位專家組成。專家組在聽取公司報告、現(xiàn)場測試報告和現(xiàn)場考察等之后,一致認為金瑞泓科技已經(jīng)建成8英寸硅片的全系列先進生產(chǎn)線,形成月產(chǎn)8英寸硅拋光片12萬片,硅外延片5萬片能力。目前該項目共申請了國家專利52件,其中35件發(fā)明專利獲得授權。
企業(yè)所生產(chǎn)的8英寸硅片產(chǎn)品目前通過了包括華潤上華、華虹宏力、中芯國際及中航微電子等排行國內(nèi)前十名的主流集成電路制造企業(yè)的采購認證與使用,產(chǎn)品質(zhì)量達到國際先進水平。目前金瑞泓的8寸硅片已占到國產(chǎn)市場份額的64%,占國內(nèi)市場(含進口硅片)的6.3%。
承擔國家科技重大專項(02專項)的金瑞泓科技目前是國內(nèi)唯一具有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片完整產(chǎn)業(yè)鏈的半導體企業(yè),是我國半導體硅材料行業(yè)的龍頭企業(yè),在由中國半導體行業(yè)協(xié)會在2015年開始舉辦的中國半導體材料十強企業(yè)評選中,連續(xù)榮獲2015、2016年度第一名。此次專家組一致同意金瑞泓科技承擔的02專項項目通過驗收,企業(yè)負責人表示是業(yè)內(nèi)專家對公司長期以來專注于半導體硅片業(yè)務并取得重要技術成就的充分肯定。
打破國外壟斷
我國大直徑硅片產(chǎn)業(yè)化步伐有望加快
“作為集成電路制造業(yè)最大宗的關鍵材料,大尺寸硅片一直依賴進口,嚴重制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)競爭力和供應鏈安全。大尺寸半導體硅片的產(chǎn)業(yè)化,是02專項核心任務之一?！?02專項技術總師、中國科學院微電子研究所所長葉甜春如是說。
在驗收總結時,葉甜春對金瑞泓科技在02專項實施期間取得的重要技術成就給予了充分肯定,希望企業(yè)進一步加大8英寸硅片的市場開發(fā)力度,推廣相關成果應用,以更加開放包容的姿態(tài)把企業(yè)做大做強。
金瑞泓科技副總經(jīng)理吳能云表示,02專項的實施及通過驗收,使企業(yè)在國內(nèi)半導體硅片領域的領先地位進一步得到鞏固,大幅度加大我國大直徑硅片的國產(chǎn)化步伐,打破了國外對8英寸半導體硅片高度壟斷的局面。同時,專項成果的應用降低了國內(nèi)下游企業(yè)的生產(chǎn)成本,帶動了多晶硅等上游相關行業(yè)的發(fā)展,從而有力支撐了我國集成電路行業(yè)的開展。
“提升我國半導體硅片的整體水平是振興民族半導體工業(yè)、發(fā)展現(xiàn)代化信息業(yè)的重要環(huán)節(jié),02專項的實施及通過驗收,使公司更有信心與能力建設以市場為導向、以創(chuàng)新為動力、產(chǎn)、學、研、用一體化的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈,為加快推進我國集成電路的自主創(chuàng)新和可持續(xù)發(fā)展做出更大的貢獻?！眳悄茉普f。
上億元專項資金扶持
鑄就8英寸硅片“單項冠軍”
金瑞泓的硅片生產(chǎn)線包括拉晶、切割、研磨、拋光、外延等多道工藝,最終的成品硅片需要經(jīng)過幾十道工序。精密的材料對生產(chǎn)環(huán)境的要求也非常高,硅片的生產(chǎn)制造過程需要在潔凈室內(nèi)完成。企業(yè)的潔凈室內(nèi)要求每立方英尺空氣中大于等于0.1微米粒徑的灰塵數(shù)量不超過10顆,比醫(yī)院無菌室標準還高出許多。
為應對激烈的國際競爭格局,金瑞泓科技多年來聯(lián)合浙江大學硅材料國家重點實驗室,以及中電13所、55所等高校院所,攜力克服困難,致力于高端大尺寸半導體硅片國產(chǎn)化工作。憑借多方的優(yōu)勢整合,終于實現(xiàn)了8英寸半導體硅片的大批量生產(chǎn)。
據(jù)了解,金瑞泓科技承擔的02專項在研討、論證、立項過程中,寧波市積極對接國家有關部委,推動項目落地。2010年10月項目立項以來,寧波市和保稅區(qū)兩級地方政府配套經(jīng)費7423萬元按期足額到位,有效推動了項目取得階段性研究成果和順利實施,加上國家等額的專項經(jīng)費扶持,企業(yè)獲得的專項扶持資金近1.5億元。
寧波市科技局采取多種形式,對項目的研究進展情況和經(jīng)費使用情況進行督導檢查,并先后在2015年10月、2016年4月、2016年8月指導和幫助金瑞泓科技通過了02專項辦組織的現(xiàn)場檢查、現(xiàn)場測試和內(nèi)部驗收等工作,為項目順利通過正式驗收奠定了基礎。
寧波市相關負責人表示,將進一步加大集成電路產(chǎn)業(yè)扶持力度,并成立了首期規(guī)模100億元,按市場化機制運行的寧波市集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金,在積極引進骨干企業(yè)、加速企業(yè)培育、強化協(xié)同創(chuàng)新、提升專業(yè)化服務、優(yōu)化發(fā)展環(huán)境等幾方面大力培育發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè),打造國家級集成電路特色工藝產(chǎn)業(yè)基地和專用材料產(chǎn)業(yè)基地,規(guī)劃建成長三角南翼的集成電路產(chǎn)業(yè)強市?！皩幉ㄊ形磥韺楷F(xiàn)出更多像金瑞泓科技一樣具有較強行業(yè)影響力的集成電路企業(yè)?！痹撠撠熑苏f。