美國(guó)最大的開放式MEMS 技術(shù)和制造服務(wù)提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院繼續(xù)開展戰(zhàn)略合作，并已將第三屆（2017年度）MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金頒發(fā)給該院的三位優(yōu)秀學(xué)生，以鼓勵(lì)他們?cè)贛EMS工藝技術(shù)研究與開發(fā)領(lǐng)域所做的貢獻(xiàn)，并激勵(lì)更多青年學(xué)人關(guān)注和投身MEMS制造工藝技術(shù)創(chuàng)新。官勇、賈德林和宋宇三位同學(xué)獲得了該年度的專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金。

　　作為全球領(lǐng)先的MEMS技術(shù)領(lǐng)域純晶圓代工企業(yè)，近年來IMT已與中國(guó)半導(dǎo)體生態(tài)中各類伙伴開展了廣泛而深入的合作。不僅為中國(guó)領(lǐng)先的器件設(shè)計(jì)公司代工生產(chǎn)了先進(jìn)的MEMS產(chǎn)品，還與諸多研究機(jī)構(gòu)開展了多項(xiàng)MEMS工藝研發(fā)合作，而已經(jīng)連續(xù)三年為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的學(xué)生頒發(fā)的MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，目的在于支持MEMS及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的未來之才開展創(chuàng)新，并在更廣泛的范圍內(nèi)進(jìn)一步推動(dòng)MEMS制造工藝技術(shù)頂尖人才的培養(yǎng)。

　　經(jīng)過三年的運(yùn)行和積累，IMT-北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金吸引了越來越多的學(xué)生參與。在對(duì)所有申請(qǐng)獎(jiǎng)學(xué)金的候選人進(jìn)行大量評(píng)估和答辯后，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院將2017年度獎(jiǎng)學(xué)金授予了官勇、賈德林和宋宇這三位展現(xiàn)出優(yōu)秀研究成果的學(xué)生。這三位IMT獎(jiǎng)學(xué)金獲得者的研究方向分別為硅通孔轉(zhuǎn)接板制作工藝基礎(chǔ)研究，聚酰亞胺犧牲層工藝及其在光學(xué)讀出紅外/太赫茲焦平面陣列探測(cè)器中的應(yīng)用，以及碳納米管導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的制備工藝及其在智能能量系統(tǒng)中的應(yīng)用。他們的研究成果在MEMS工藝技術(shù)方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應(yīng)用中具有發(fā)展?jié)摿颓熬啊?/p>

　　MEMS技術(shù)在我們的工作和生活中早已無處不在，包括消費(fèi)電子、汽車、航空航天、機(jī)械、化工、醫(yī)藥等在內(nèi)的眾多領(lǐng)域都已存在MEMS產(chǎn)品的身影。MEMS產(chǎn)品具備體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等諸多優(yōu)點(diǎn)。MEMS技術(shù)的持續(xù)演進(jìn)，推動(dòng)了器件制造工藝、新材料及封裝等方面的創(chuàng)新，同時(shí)激勵(lì)著IMT 和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院等領(lǐng)先的研究機(jī)構(gòu)積極開展合作，共同推進(jìn)相關(guān)制造技術(shù)的研究和開發(fā)，以應(yīng)對(duì)物聯(lián)網(wǎng)、智能化和生物科技等等領(lǐng)域內(nèi)快速發(fā)展的需求。

　　“IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的合作已有三年，很高興看到三年來同學(xué)們?cè)贛EMS技術(shù)研究方面所取得的進(jìn)步和突破，他們高質(zhì)量的論文和對(duì)創(chuàng)新的追求令我們印象深刻，”IMT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示?！半p方合作的這三年，MEMS技術(shù)在不斷向前發(fā)展，無論基礎(chǔ)性技術(shù)的演進(jìn)還是應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，都讓我們對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)的前景抱有極大的信心。在中國(guó)，集成電路產(chǎn)業(yè)也已發(fā)展到一個(gè)新的時(shí)代，技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)品開發(fā)、資本參與和國(guó)際合作等方面都已邁上一個(gè)新的臺(tái)階，IMT期待利用自己全球領(lǐng)先的 MEMS 器件加工技術(shù)服務(wù)為中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)帶來新的、更大的發(fā)展機(jī)會(huì)?！?/p>

　　“自2015年與IMT形成戰(zhàn)略關(guān)系以來，雙方在開發(fā)新的MEMS制造工藝及技術(shù)方面展開了卓有成效的合作并已經(jīng)從中獲益。過去的三年，MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金已經(jīng)授予了8位學(xué)生和1個(gè)學(xué)生團(tuán)隊(duì)，激勵(lì)了同學(xué)們?nèi)ド钊胩剿鱉EMS制造工藝技術(shù)創(chuàng)新，并通過所開展的研究在相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)做出了實(shí)際貢獻(xiàn)。”北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院王瑋教授表示，“通過與IMT這樣全球領(lǐng)先的MEMS制造服務(wù)公司合作，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院進(jìn)一步加快了對(duì)MEMS技術(shù)的研究進(jìn)程，雙方將共同推動(dòng)MEMS新技術(shù)、新工藝的誕生，并為行業(yè)培養(yǎng)更多的優(yōu)秀工藝研發(fā)人才?！?/p>

　　關(guān)于IMT（Innovative Micro Technology ）

　　IMT是全球領(lǐng)先的MEMS技術(shù)和晶圓制造服務(wù)商，擁有多樣化的工藝和客戶。IMT成立于2000年，專門生產(chǎn)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件。IMT擁有占地130,000平方英尺的生產(chǎn)廠，其中有一間30,000平方英尺、等級(jí)為100的無塵室/晶圓廠，是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圓廠之一。IMT提供MEMS量產(chǎn)，以及從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)過程的制造服務(wù)。IMT服務(wù)的企業(yè)分布在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域，包括繼電器、醫(yī)療診斷、給藥、生物醫(yī)學(xué)、微流體、顯示屏、慣性導(dǎo)航、光學(xué)通信、印刷、夜視儀、紅外發(fā)射器、電話/DSL切換、射頻器件、電源管理、各類傳感器及相關(guān)領(lǐng)域。IMT將始終與各公司密切合作，共同研發(fā)和制造基于MEMS技術(shù)的新型產(chǎn)品。更多信息，請(qǐng)?jiān)L問www.imtmems.com。

　　關(guān)于北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院

　　北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院（IME/Peking University）是中國(guó)頂級(jí)的微電子/納米電子科技研究和教育基地。其特點(diǎn)是擁有一套完整的教學(xué)、培訓(xùn)和研究體系，并配有各種先進(jìn)設(shè)施。該研究院的雄厚實(shí)力反映在其水平優(yōu)異、數(shù)量充足的教職員工隊(duì)伍上： 30 位教授、4 位教授級(jí)高級(jí)工程師、22 位副教授、10 位高級(jí)工程師、10 位講師和工程師。他們中有很多人是公認(rèn)的微電子學(xué)專家，包括舉世聞名的科學(xué)家王陽(yáng)元院士和黃如院士。該院還有三個(gè)配有先進(jìn)研究條件的國(guó)家級(jí)或省部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，研究條件與世界上其他著名大學(xué)不相上下。該院每年招收本科生約 70 人，碩士生和博士生 50 余人。

　　北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院集成微納系統(tǒng) (MEMS) 中心成立于 1996 年，是微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的一部分。其包含對(duì)硅基微納加工技術(shù)、微納傳感器與執(zhí)行器和微納系統(tǒng)集成技術(shù)的基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究。近五年來，在頂級(jí)會(huì)議和期刊（如 IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS、Small、Lab Chip、JMEMS 和 JMM）上發(fā)表了 150 余篇高質(zhì)量研究論文。該中心還致力于促進(jìn)其研究成果的產(chǎn)業(yè)化。例如，F(xiàn)irst MEMS 有限公司通過應(yīng)用該中心的MEMS技術(shù)批量生產(chǎn)了壓力傳感器，由此為中國(guó)大陸帶來了創(chuàng)新。有關(guān)更多詳細(xì)信息，請(qǐng)?jiān)L問www.ime.pku.edu.cn。