在半導(dǎo)體設(shè)備中，如果說，光刻機(jī)是馬里亞納海溝，深入最底者寥寥，那么離子注入機(jī)則是珠峰，能征服者甚少。

　　新中國成立后，珠峰的高度，英國人測量過，法國人測量過，甚至印度人都測量過，唯獨中國人沒有測量過，新中國的英雄們?yōu)樽C明中國實力，對珠峰進(jìn)行了一次艱難的測量。這是去年上映的電影《攀登者》，對歷史的還原。

　　離子注入機(jī)這個行業(yè)面臨同樣的問題。這個在晶圓加工中占比5%左右的關(guān)鍵設(shè)備，卻長期被國外所統(tǒng)治，美國的應(yīng)用材料（Applied Materials）和亞舍利（Axcelis）合計占據(jù)全球85%-90%的市場，長期以來，國內(nèi)企業(yè)的市場份額一度近乎為0。

　　為了攀登離子注入機(jī)這座半導(dǎo)體設(shè)備的珠峰，2017年，發(fā)改委頒布的《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品和服務(wù)指導(dǎo)目錄》中將集成電路離子注入機(jī)納入目錄范圍；2018年，工信部發(fā)布的《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄》，將中束流、大束流以及高能離子注入機(jī)列入名單。這些政策的背后，是國家力求發(fā)展國產(chǎn)化的離子注入機(jī)的決心。

　　來源：凱世通官網(wǎng)

　　“攀登者”的成績

　　國內(nèi)能夠擔(dān)當(dāng)離子注入機(jī)領(lǐng)域“攀登者”角色的，當(dāng)屬萬業(yè)企業(yè)旗下的凱世通。凱世通2009年成立，2018年被萬業(yè)企業(yè)以3.98億元收購。

　　凱世通早期主要從事光伏行業(yè)的離子注入設(shè)備研發(fā)。近兩年，公司開始切入半導(dǎo)體領(lǐng)域，全力推進(jìn)“高能離子注入機(jī)關(guān)鍵技術(shù)研究及樣機(jī)驗證”的研發(fā)工作。

　　2019年，凱世通的IC離子注入機(jī)，在國內(nèi)12英寸晶圓廠和主流存儲器芯片廠進(jìn)行產(chǎn)線驗證，產(chǎn)品在束流強(qiáng)度指標(biāo)上表現(xiàn)優(yōu)異。

　　近期凱世通又傳來好消息。其生產(chǎn)的集成電路離子注入機(jī)獲得客戶批量采購，這表明國內(nèi)客戶對凱世通低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)進(jìn)入全面商用化的認(rèn)可，同時也是半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代浪潮中重要一步。

　　此次的采購方為芯來科技（紹興），采購了3臺12英寸集成電路設(shè)備，分別為低能大束流重金屬離子注入機(jī)（Sb implanter）、低能大束流超低溫離子注入機(jī)（Cold implanter）以及高能離子注入機(jī)（HE implanter），訂單金額超過1億元人民幣。

　　對于凱世通來說，這也是今年9月首臺低能大束流設(shè)備送入國內(nèi)主要芯片制造工廠后的又一大商業(yè)化進(jìn)展。

　　在這一系列商業(yè)成就的背后，是凱世通（萬業(yè)企業(yè)）對研發(fā)的大力。據(jù)萬業(yè)企業(yè)三季度報告顯示，公司研發(fā)離子注入機(jī)費用投入同比增長46.02%，未來將持續(xù)加大投資規(guī)模。

　　今年9月，凱世通成功進(jìn)入上海市2020年度集成電路科技支撐專項立項項目名單。這是繼去年“高能離子注入機(jī)關(guān)鍵技術(shù)研究與樣機(jī)驗證”項目被正式列入該計劃之后，再度獲得政府及業(yè)界專家肯定。

　　來源：凱世通官網(wǎng)

　　起底萬業(yè)企業(yè)

　　凱世通的創(chuàng)始人陳炯博士，畢業(yè)于美國哥倫比亞大學(xué)應(yīng)用物理博士學(xué)位，曾是全球知名離子注入機(jī)企業(yè)AIBT的創(chuàng)始人之一，帶領(lǐng)美國團(tuán)隊成功開發(fā)了兩代大束流離子注入機(jī)，打入先進(jìn)28nm關(guān)鍵制程集成電路制造廠商。

　　陳炯博士

　　2009年，當(dāng)他在美國硅谷與中國“02專項調(diào)研組深入交流后，51歲的陳炯博士，毅然決定回國發(fā)展。與他一同并肩作戰(zhàn)的還有另外四名同事，他們?nèi)渴鞘澜缫涣鞯碾x子注入設(shè)備專家。幾人回國后，從頭開始，打造了一個屬于中國的高端裝備品牌——凱世通。

　　作為凱世通的母公司，萬業(yè)企業(yè)依靠房地產(chǎn)起家，2018年收購凱世通切入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。同時，萬業(yè)企業(yè)還通過入股上海半導(dǎo)體裝備材料基金，投資飛凱材料、精測電子、長川科技等，以外延并購+產(chǎn)業(yè)整合的方式布局半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。

　　雖然如今國內(nèi)泛起”造芯“熱，很多企業(yè)跨界做半導(dǎo)體，但萬業(yè)企業(yè)卻與大多數(shù)跨界造芯企業(yè)有著很大不同。

　　萬業(yè)企業(yè)的最大股東是上海浦東科技投資公司，我國頂級的科技創(chuàng)投勢力之一。主要聚焦集成電路、醫(yī)療健康、航空航天和TMT等高科技產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，曾對展訊通信和銳迪科微電子發(fā)出收購要約，成功要約收購瀾起科技，收購韓國芯片設(shè)計公司Alphean Inc等。

　　萬業(yè)企業(yè)的第三大股東是大基金。2019年一季度末，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金持有萬業(yè)企業(yè)7%的股權(quán)，成為公司的大股東。

　　此次凱世通的離子注入機(jī)發(fā)等多款產(chǎn)品商用化取得重要進(jìn)展，證明萬業(yè)企業(yè)的產(chǎn)品競爭力及核心技術(shù)，已滿足主流芯片制造工藝的生產(chǎn)需求。

　　綜合來看，萬業(yè)企業(yè)有凱世通創(chuàng)始人團(tuán)隊的技術(shù)背書，以及大股東浦東科投與大基金的加持，在未來的轉(zhuǎn)型與產(chǎn)業(yè)整合之路會走得更為順暢。

　　未來可期

　　展望未來，國產(chǎn)替代潮來襲，芯片制造工廠持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，以及主流制程工藝的提升，都需要采購更多數(shù)量的半導(dǎo)體設(shè)備，這對于萬業(yè)企業(yè)來說是一個機(jī)會。

　　旗下凱世通以其技術(shù)與產(chǎn)品的獨特性，在大基金的加持下，踏著國產(chǎn)替代的東風(fēng)，一步步的躋身國內(nèi)半導(dǎo)體制造企業(yè)的供應(yīng)鏈，并有機(jī)會走向國際市場，與國際巨頭同場競技。

　　對于萬業(yè)企業(yè)來說，凱世通是其布局半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的一個切口，隨著凱世通的成功，以及萬業(yè)企業(yè)自身布局越來越多元化，其有望從一個房產(chǎn)公司轉(zhuǎn)型成為高科技產(chǎn)業(yè)，以在未來獲得更具成長性的市場空間。