五十多年來，摩爾定律一直是半導(dǎo)體行業(yè)的指導(dǎo)原則。在過去幾十年里，英特爾為了推動(dòng)技術(shù)進(jìn)步持續(xù)創(chuàng)新，這些創(chuàng)新使晶體管密度，性能和能效得以不斷提高。盡管今天有很多聲音預(yù)測(cè)摩爾定律將要消亡，但筆者并不認(rèn)同這個(gè)觀點(diǎn)。
從最簡(jiǎn)單的角度講，摩爾定律是指每一代工藝都會(huì)使芯片上的晶體管倍增。多年來，晶體管密度的這種指數(shù)增長(zhǎng)一直保持著顯著的一致性，但是在此過程中發(fā)生了兩件事：我們?nèi)绾螌?shí)現(xiàn)這些密度的增長(zhǎng)以及我們?nèi)绾卧诋a(chǎn)品級(jí)別上獲得的收益。無論是更高的頻率，更低的功耗還是更多的功能集成在芯片上，摩爾定律都經(jīng)過了調(diào)整和發(fā)展，可以滿足從大型機(jī)到移動(dòng)電話等各代技術(shù)的需求。隨著我們進(jìn)入無限數(shù)據(jù)和人工智能的新時(shí)代，這種發(fā)展將繼續(xù)。
未來十年，哪些創(chuàng)新將推動(dòng)摩爾定律？我相信可以將它們歸為兩大類： 整體擴(kuò)展 和 系統(tǒng)擴(kuò)展。單片比例縮放可稱為“經(jīng)典”摩爾定律縮放，著重于在提高晶體管性能的同時(shí)減小晶體管特征尺寸和工作電壓。系統(tǒng)擴(kuò)展性的提高是通過小芯片，封裝和高帶寬芯片到芯片互連技術(shù)的進(jìn)步幫助我們整合新型異構(gòu)處理器的收獲。
英特爾正在大力投資研究以支持這兩種載體。在最近舉行的全球頂級(jí)半導(dǎo)體工藝技術(shù)人員的年度聚會(huì)上，即舊金山的IEDM，英特爾工程師提交了近20篇論文，論證了為推動(dòng)下一代摩爾定律所做的開創(chuàng)性工作。以下是這些令人興奮的技術(shù)選擇的簡(jiǎn)要概述。
整體縮放：新的維度
當(dāng)前的英特爾處理器基于稱為FinFET的晶體管結(jié)構(gòu)，其中柵極在三個(gè)側(cè)面圍繞鰭形通道。隨著英特爾工藝節(jié)點(diǎn)的發(fā)展，他們使鰭片更高，更窄，從而減少了達(dá)到給定性能水平所需的鰭片數(shù)量。盡管FinFET還能延續(xù)壽命，但在不久的將來，該行業(yè)將過渡到一種新型的晶體管架構(gòu)：全能柵極（GAA）FET，其中柵極環(huán)繞所有通道。GAAFET具有多種潛在的實(shí)現(xiàn)方式，從細(xì)的納米線到寬的納米帶。它們的共同點(diǎn)是能夠?qū)⒏嗟母咝阅芫w管封裝到給定的區(qū)域中，從而減小了設(shè)計(jì)人員用來構(gòu)建新處理器的標(biāo)準(zhǔn)單元的寬度。
除了這種新的晶體管體系結(jié)構(gòu)以外，另一種驅(qū)動(dòng)單元面積縮放的方法是通過垂直堆疊晶體管器件?，F(xiàn)代半導(dǎo)體是由稱為NMOS和PMOS的負(fù)電荷和正電荷晶體管的互補(bǔ)對(duì)構(gòu)成的。通過在PMOS器件頂部上單片堆疊NMOS器件，可以顯著降低標(biāo)準(zhǔn)單元的高度，反之亦然。這可以通過堆疊FinFET，GAAFET或什至兩者的組合來實(shí)現(xiàn)。
上圖：用于摩爾定律延續(xù)的晶體管結(jié)構(gòu)和架構(gòu)。
晶體管器件的單片堆疊不僅可以提供更高的密度。這是在單個(gè)硅基板上集成多種材料的強(qiáng)大方法，可顯著提高性能，并為具有獨(dú)特功能的全新產(chǎn)品類別打開大門。在IEDM上，Intel的工程師展示了兩種創(chuàng)新的單片集成方法。
在第一個(gè)示例中，我們的團(tuán)隊(duì)在更傳統(tǒng)的硅FinFET NMOS器件層之上堆疊了基于鍺的GAAFET PMOS器件層。鍺是一種與硅具有許多相似特性的元素，但是由于與硅一起制造可能具有挑戰(zhàn)性，因此鍺在半導(dǎo)體芯片中的使用受到限制。但是，由于其晶格的結(jié)構(gòu)，在晶體管通道中使用鍺可以顯著提高PMOS器件的開關(guān)速度，PMOS器件的工作速度通常比其互補(bǔ)NMOS器件慢。整體處理使我們能夠制造出具有創(chuàng)紀(jì)錄性能的基于鍺的PMOS器件，然后將其堆疊在基于硅的NMOS器件之上。
上圖：（a）通過Ge GAA PMOS（頂部器件層）和Si FinFET NMOS（底部器件層）的順序異構(gòu)集成實(shí)現(xiàn)的經(jīng)過完全處理的3D CMOS晶體管結(jié)構(gòu)的示意圖和（b）橫截面。
在第二個(gè)示例中，另一個(gè)團(tuán)隊(duì)使用單片集成在NMOS器件層的頂部堆疊了標(biāo)準(zhǔn)的硅PMOS器件層，該層利用了由氮化鎵制成的溝道-一種被廣泛認(rèn)為是用于功率傳輸和傳輸?shù)淖罴巡牧系幕衔?。射頻（RF）應(yīng)用，例如下一代5G前端模塊。這些類型的芯片當(dāng)前以獨(dú)立單元的形式構(gòu)建，但是這種新技術(shù)可以允許RF功能與標(biāo)準(zhǔn)的基于硅的處理器完全集成。
系統(tǒng)擴(kuò)展：超越晶體管
繼續(xù)推動(dòng)摩爾定律的擴(kuò)展，需要集成制造過程各個(gè)方面的改進(jìn)，而不僅僅是晶體管級(jí)。幾十年來，行業(yè)中許多人都把封裝簡(jiǎn)單地視為最后的制造步驟，即在處理器和母板之間進(jìn)行電氣連接的地方。但是，近年來情況發(fā)生了巨大變化。
十年前，SoC集成的重點(diǎn)是在與高性能CPU相同的芯片中實(shí)現(xiàn)GPU和I / O功能。將來，先進(jìn)的封裝技術(shù)將用于將不同類型的處理器鏈接在一起，而不會(huì)強(qiáng)迫它們共享單個(gè)制造材料或工藝節(jié)點(diǎn)。
至少在最初，這種類型的分解似乎與摩爾定律要實(shí)現(xiàn)的目標(biāo)相反，但是通過將每種類型的處理器與其自己最適合的晶體管邏輯和設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)進(jìn)行匹配，可以實(shí)現(xiàn)性能和密度的提高。通常，將單片式芯片分離成較小的小芯片所產(chǎn)生的負(fù)面影響要?jiǎng)龠^負(fù)面因素。實(shí)際上，Moore在1965年的原始論文中指出，“用較小的功能（分別包裝和互連）構(gòu)建大型系統(tǒng)可能被證明更經(jīng)濟(jì)?！?/p>
英特爾已經(jīng)部署了EMIB（嵌入式多管芯互連橋）和Foveros等技術(shù)，以二維和三維方式連接小芯片，例如將HBM放置在CPU和GPU之間（例如在EMIB的Kaby Lake G中），或連接英特爾即將面世的Lakefield處理器中使用的10nm計(jì)算芯片與22nm I / O芯片直接位于其下方。他們還計(jì)劃通過一項(xiàng)稱為Co-EMIB的技術(shù)將Foveros和EMIB結(jié)合在一起，該技術(shù)通過EMIB連接多個(gè)3D Foveros芯片，從而使Intel能夠制造出比任何單片處理器都大得多的標(biāo)線片尺寸的芯片，并可以擴(kuò)展芯片設(shè)計(jì)比以前廣泛得多。
英特爾已經(jīng)超越了Co-EMIB，朝著稱為Omni-Directional Interconnect的新標(biāo)準(zhǔn)邁進(jìn)。使用諸如硅通孔之類的現(xiàn)有方法將芯片堆疊在彼此之上的問題之一是，您可以通過如此細(xì)小的導(dǎo)線推動(dòng)的功率有限。ODI使用更厚的通孔進(jìn)行供電，同時(shí)在部署3D面對(duì)面接合時(shí)提供與Foveros相同的功能。
ODI可用于以多種配置連接小芯片，包括其中一個(gè)芯片被部分掩埋并充當(dāng)其他兩個(gè)芯片之間，完全掩埋甚至兩個(gè)稍微重疊的芯片之間的橋梁的場(chǎng)景，而在它們之間使用ODI可以使芯片更厚電源支柱，可以將芯片緊密地封裝在一起。
集成3D處理器堆棧的能力提出了另一種提高硅密度的方法，該方法與“經(jīng)典”（專門針對(duì)晶體管的摩爾定律概念）完全脫鉤。隨著EUV的推出，傳統(tǒng)的單片比例縮放將繼續(xù)在7nm處進(jìn)行，然后在5nm及以后進(jìn)行，但這并不是Intel期望在密度和性能上不斷進(jìn)行代代改進(jìn)的唯一領(lǐng)域。
推動(dòng)英特爾未來摩爾定律擴(kuò)展的改進(jìn)不僅是由工藝節(jié)點(diǎn)的縮小或光刻技術(shù)的改進(jìn)所驅(qū)動(dòng)，而是由參與設(shè)計(jì)過程不同部分的多個(gè)工程團(tuán)隊(duì)之間的協(xié)作所驅(qū)動(dòng)。在這里，英特爾作為集成設(shè)備制造商（IDM）的獨(dú)特地位是一個(gè)優(yōu)勢(shì)。由于英特爾生產(chǎn)自己的產(chǎn)品，因此設(shè)計(jì)英特爾處理器未來版本的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)與將要制造這些部件的工廠工程師之間有著密切的合作。我們可以選擇調(diào)整體系結(jié)構(gòu)以更好地匹配流程節(jié)點(diǎn)的功能，或者微調(diào)節(jié)點(diǎn)以匹配我們要在給定體系結(jié)構(gòu)中提供的功能。
無可否認(rèn)，我們?cè)谛袠I(yè)中面臨著重大挑戰(zhàn)，但是摩爾定律的未來將值得期待。