5月31日,蘇州源卓光電科技有限公司(下稱“源卓光電”)宣布完成B輪戰(zhàn)略融資,本次投資方包括中金資本旗下的中金傳化基金、聯(lián)通中金基金、比亞迪股份、華潤(rùn)資本、中電基金、清源投資、中南弘遠(yuǎn)、中匯金。

源卓光電成立于2016年10月,法定代表人張雷,主要從事將LED、激光光源技術(shù)和數(shù)字光學(xué)處理(DLP)技術(shù)結(jié)合應(yīng)用于PCB&FPC、FPD、LED、太陽(yáng)能、晶圓、IC封裝及高精密絲網(wǎng)印刷等領(lǐng)域,研發(fā)、生產(chǎn)各類數(shù)字光學(xué)(Digital-Step-Scan,簡(jiǎn)稱DiSS)設(shè)備及關(guān)聯(lián)部件、裝置。

源卓光電身處光刻機(jī)行業(yè),目前已經(jīng)成功量產(chǎn)1μm、10μm、20μm、50μm等線寬精度的數(shù)字光刻機(jī)。公司核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)在原有的激光直接成像技術(shù)(LDI)基礎(chǔ)上已研發(fā)出可匹配菲林/掩膜版曝光機(jī)性價(jià)比的新一代數(shù)碼曝光技術(shù)(DiSS),為印刷線路板(PCB&FPC) 、半導(dǎo)體(IC FAB)及類半導(dǎo)體(MEMS、LED、生物芯片和微光學(xué))、平板顯示(FPD、TFT-LCD、OLED)及觸屏(TP)、絲網(wǎng)印刷(Screen Printing)產(chǎn)業(yè)曝光工序的全面智能和清潔環(huán)保生產(chǎn)奠定基礎(chǔ),同時(shí)為客戶提供取代傳統(tǒng)曝光機(jī)(菲林/掩膜版曝光機(jī))且更加精密、經(jīng)濟(jì)、高效、智能環(huán)保的數(shù)碼曝光機(jī)方案。

源卓光電此前曾于2019年8月30日和2020年1月6日分別完成A輪和A+輪融資,A輪融資1．2億元,投資方為中南弘遠(yuǎn)和清源投資,A+輪融資金額尚未披露,投資方為中南弘遠(yuǎn)和元禾原點(diǎn),中南弘遠(yuǎn)參與了當(dāng)前源卓光電所有輪次的融資。

光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈(來(lái)源:方正證券)

集成電路和芯片生產(chǎn)的步驟一般包括IC設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝和測(cè)試,其中晶圓制造是最關(guān)鍵的一項(xiàng),對(duì)生產(chǎn)設(shè)備要求極高。根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù),晶圓廠70%的投資都是用于生產(chǎn)設(shè)備的購(gòu)置,生產(chǎn)設(shè)備中的70%是晶圓制造設(shè)備,封裝和測(cè)試設(shè)備約占25%。

晶圓制造的流程也較為復(fù)雜,需要經(jīng)過(guò)擴(kuò)散、薄膜生長(zhǎng)、光刻、刻蝕、離子注入、拋光和金屬化七個(gè)步驟,要用到的設(shè)備包括擴(kuò)散爐、薄膜沉積設(shè)備、光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、清洗機(jī)等。而光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備是最為核心的部分,成本分別占晶圓制造設(shè)備投資的30%、25%、25%,技術(shù)壁壘也非常高,通常被歐美和日本的巨頭企業(yè)控制。

光刻機(jī)目前經(jīng)歷了五次迭代,分別為接觸/接近式光刻機(jī)(g-line、i-line)、掃描投影光刻機(jī)(KrF)、浸入式光刻機(jī)(ArF)、極紫外式光刻機(jī)(EUV),目前行業(yè)內(nèi)使用的大多是第四代浸入式光刻機(jī),其制程節(jié)點(diǎn)最高可達(dá)7納米,但是在7納米之后必須使用目前最頂級(jí)的EUV光刻機(jī),其制程節(jié)點(diǎn)為7-3納米。

全球光刻機(jī)主要企業(yè)只有ASML、尼康(Nikon)、佳能(Canon)三家,占據(jù)了全球90%以上的市場(chǎng)。荷蘭的ASML擁有目前最核心的技術(shù),壟斷了EUV光刻機(jī)全球的份額,2019年在ArF和KrF光刻機(jī)的市占率也分別高達(dá)88%和71%。

國(guó)內(nèi)光刻機(jī)企業(yè)與上述公司技術(shù)水平差距較大,上海微電子作為行業(yè)龍頭,其產(chǎn)品包括ArF、KrF和i-line,目前能達(dá)到90納米制程,并稱將于2021-2022年交付第一臺(tái)國(guó)產(chǎn)28納米浸入式光刻機(jī),但國(guó)內(nèi)還未出現(xiàn)能滿足芯片行業(yè)需求的企業(yè)。

2020年全球電動(dòng)汽車銷量300萬(wàn)輛,中國(guó)銷量超過(guò)136萬(wàn)輛,已經(jīng)成為全球最大的新能源汽車市場(chǎng),而動(dòng)力電池、電機(jī)和電控是新能源汽車的關(guān)鍵核心技術(shù),新能源汽車的發(fā)展也將帶動(dòng)電池產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)。

比亞迪從2003年開(kāi)始拓展汽車業(yè)務(wù),2009年進(jìn)入新能源汽車領(lǐng)域,據(jù)汽車工業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)最新數(shù)據(jù),2020年1-10月,上汽集團(tuán)(600104．SH)新能源汽車銷量為19．2萬(wàn)輛,為行業(yè)第一,比亞迪的新能源汽車銷量為13．65萬(wàn)輛,超過(guò)特斯拉的9．2萬(wàn)輛排名市場(chǎng)第二。

根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù),2020年我國(guó)動(dòng)力鋰電池市場(chǎng)前三名企業(yè)裝機(jī)量占行業(yè)整體73．13%,前十名則高達(dá)91．17%?？傮w競(jìng)爭(zhēng)呈金字塔格局,塔頂是寧德時(shí)代和比亞迪兩大巨頭,2020年寧德時(shí)代市占率為48．06%,比亞迪14．91%。

投資聯(lián)動(dòng)效應(yīng)

目前芯片短缺已經(jīng)成為全球性的問(wèn)題。高盛最新的研究報(bào)告指出,全球多達(dá)169個(gè)行業(yè)在一定程度上受到芯片短缺的打擊,包括鋼鐵產(chǎn)品、混凝土生產(chǎn)等眾多行業(yè),芯片價(jià)格也隨著市場(chǎng)的供求不平衡而一路飆升,據(jù)央視財(cái)經(jīng)消息,今年某款德國(guó)芯片價(jià)格相比去年已經(jīng)漲了五倍。

六月初,為防止新冠疫情蔓延,馬來(lái)西亞開(kāi)始第二次近乎全面封鎖,馬來(lái)西亞是全球第七大半導(dǎo)體出口中心,全球超過(guò)50家半導(dǎo)體公司在馬來(lái)西亞有投資,此次封鎖有可能進(jìn)一步加劇芯片短缺的問(wèn)題。

芯片是整車生產(chǎn)尤其是新能源汽車的核心組成部分,在新能源汽車及其技術(shù)支持的動(dòng)力電池行業(yè)都有較高行業(yè)地位的比亞迪,投資光刻機(jī)公司的動(dòng)因顯而易見(jiàn)。因?yàn)閲?guó)內(nèi)與國(guó)際技術(shù)水平的差距,在芯片技術(shù)上被“卡脖子”非常嚴(yán)重,芯片供應(yīng)不足導(dǎo)致整車的出廠速度也在下降,國(guó)際汽車制造商協(xié)會(huì)(OICA)數(shù)據(jù)顯示2020年全球汽車產(chǎn)量同比下降16%,倒退至十年前水平,汽車工業(yè)協(xié)會(huì)表示今年一季度芯片短缺致使國(guó)內(nèi)汽車產(chǎn)量下降5%-8%,比亞迪此舉意在向產(chǎn)業(yè)鏈最上游發(fā)展,支持國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)的進(jìn)步,解決最根本的問(wèn)題。

6月7日,比亞迪宣布5月新能源汽車銷量為3．28萬(wàn)輛,去年同期為1．13萬(wàn)輛,同比增長(zhǎng)143．41%,為了維持這個(gè)增長(zhǎng),芯片問(wèn)題的解決也是勢(shì)在必行。

除了源卓光電外,比亞迪還于2020年9月9日參與了導(dǎo)航芯片及產(chǎn)品制造商華大北斗的A+輪融資,并于2020年10月19日對(duì)其進(jìn)行戰(zhàn)略投資,該公司主要從事導(dǎo)航定位芯片、算法及產(chǎn)品的自主設(shè)計(jì)、研發(fā)、銷售及相關(guān)業(yè)務(wù),主要生產(chǎn)了HD80系列、HD90系列等產(chǎn)品,產(chǎn)品可應(yīng)用于汽車、物聯(lián)網(wǎng)等專用終端市場(chǎng),同時(shí)提供芯片及其應(yīng)用方案。

5月31日完成源卓光電投資當(dāng)天,比亞迪股份發(fā)布公告稱,子公司比亞迪半導(dǎo)體計(jì)劃分拆于深交所創(chuàng)業(yè)板上市,比亞迪已經(jīng)展現(xiàn)其對(duì)于半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的重視程度,此次布局光刻機(jī)業(yè)務(wù)可能會(huì)為其補(bǔ)齊整車芯片方面的短板,建立完整的整車上下游供應(yīng)鏈提供重要支撐。

3月15日,上汽集團(tuán)在證券交易所互動(dòng)平臺(tái)上表示,上汽集團(tuán)確實(shí)受到芯片短缺的影響,公司通過(guò)加強(qiáng)全球供應(yīng)鏈協(xié)同等措施盡量減小影響。就在3月10日,芯旺微電子宣布完成B輪融資,投資方上海恒旭為上汽集團(tuán)旗下母基金管理公司。

為了應(yīng)對(duì)芯片短缺問(wèn)題,上汽集團(tuán)早前已經(jīng)開(kāi)始布局,2017年就與邊緣人工智能芯片技術(shù)全球領(lǐng)先的公司地平線機(jī)器人達(dá)成合作,并于2019年4月12日參與了黑芝麻智能科技(上海)有限公司(下稱“黑芝麻”)的B輪投資,黑芝麻的核心業(yè)務(wù)為基于人工智能的圖像處理和計(jì)算圖像的解決方案以及基于控光技術(shù)、圖像處理和深度學(xué)習(xí)的嵌入式感知平臺(tái),值得注意的是,蔚來(lái)資本于2018年1月領(lǐng)投了黑芝麻智能的A+輪融資。

無(wú)獨(dú)有偶,華為最近開(kāi)始向光刻機(jī)領(lǐng)域進(jìn)行布局,6月5日有消息稱中科院微電子所控股的北京科益虹源光電技術(shù)公司(下稱“科益虹源”)注冊(cè)資本日前發(fā)生了變化,注冊(cè)資金從1．2億元增加到2．02億元,引入了2位股東,其中華為旗下的哈勃投資占股4．76%,成為第七大股東,中科院微電子所持股26．6%。

科益虹源的主營(yíng)業(yè)務(wù)是光刻機(jī)核心技術(shù)中的光源系統(tǒng),是國(guó)內(nèi)第一、全球第三的193nm ArF準(zhǔn)分子激光器企業(yè),而科益虹源也是上海微電子的光源系統(tǒng)供應(yīng)商,在28納米國(guó)產(chǎn)浸入式光刻機(jī)的研發(fā)上上海微電子也會(huì)與科益虹源共同完成。

2020年的4月,科益虹源集成電路光刻光源制造及服務(wù)基地項(xiàng)目開(kāi)始動(dòng)工進(jìn)入到建設(shè)階段。該項(xiàng)目總投資金額為5億元,建筑面積達(dá)到了1．2萬(wàn)平方米,根據(jù)計(jì)劃該公司將會(huì)具備年產(chǎn)RS222型光刻準(zhǔn)分子激光器、光刻用準(zhǔn)分子激光器、405光纖耦合頭等各類設(shè)備30臺(tái)左右的生產(chǎn)線。