5月6日消息，有投資者向晶瑞電材提問(wèn)，光刻膠作為核心半導(dǎo)體材料，請(qǐng)問(wèn)公司的技術(shù)優(yōu)勢(shì)在哪里？目前的銷售情況怎么樣？

晶瑞電材回應(yīng)稱，光刻膠位居芯片制造最難材料之首，屬典型卡脖子材料，我司子公司蘇州瑞紅是國(guó)內(nèi)少有的既有規(guī)模又有利潤(rùn)的成熟光刻膠企業(yè)，銷售規(guī)模和盈利能力處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先位置，近年銷售額和利潤(rùn)均呈現(xiàn)高速增長(zhǎng)。

瑞紅公司光刻膠品類齊全，經(jīng)過(guò)三十年積累，擁有負(fù)型光刻膠系列、寬譜正膠系列、g線系列、i線光刻膠系列、KrF光刻膠系列等數(shù)十個(gè)型號(hào)產(chǎn)品，ArF光刻膠的研發(fā)工作有序開(kāi)展中。瑞紅部分產(chǎn)品占據(jù)國(guó)內(nèi)主要市場(chǎng)份額，部分產(chǎn)品進(jìn)入了頭部芯片公司。目前公司半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)品產(chǎn)銷正常，其中部分光刻膠產(chǎn)品供不應(yīng)求，公司已啟動(dòng)該類光刻膠產(chǎn)品的擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目建設(shè)。

公開(kāi)資料顯示，晶瑞電材是國(guó)內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先的微電子化學(xué)品龍頭，主要產(chǎn)品包括超凈高純?cè)噭⒐饪棠z、功能性材料、鋰電池材料等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、面板顯示、LED等泛半導(dǎo)體領(lǐng)域及鋰電池、太陽(yáng)能光伏等新能源行業(yè)。

晶瑞電材的光刻膠產(chǎn)品由其的子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)，規(guī)模生產(chǎn)光刻膠30年，產(chǎn)品序列齊全，產(chǎn)業(yè)化規(guī)模、盈利能力均處于行業(yè)領(lǐng)先水平，是國(guó)內(nèi)最早規(guī)模量產(chǎn)光刻膠的少數(shù)幾家企業(yè)之一。

根據(jù)晶瑞電材的財(cái)務(wù)總監(jiān)、董秘陳萬(wàn)鵬透露，晶瑞去年1．79億元的光刻膠收入中，有80％～85％來(lái)自半導(dǎo)體客戶。

2021年度，受益于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料滲透率加速提升、新能源汽車(chē)行業(yè)高速發(fā)展，公司主營(yíng)產(chǎn)品半導(dǎo)體級(jí)光刻膠及配套材料、高純化學(xué)品、鋰電池材料等產(chǎn)銷兩旺，同比環(huán)比均產(chǎn)生了較大增長(zhǎng)，業(yè)績(jī)?cè)鏊偈诛@著。

2021年度，晶瑞電材實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)總收入183，208．76萬(wàn)元，較上年同期增長(zhǎng)79．21％；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)20，099．66萬(wàn)元，較上年同期增長(zhǎng)161．20％。

其中，光刻膠及配套材料產(chǎn)品共計(jì)實(shí)現(xiàn)銷售27，412．34萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)53．04％，達(dá)到歷史最高水平，綜合毛利率提升了4．3個(gè)百分點(diǎn)，盈利水平得以提升。

晶瑞電材的半導(dǎo)體光刻膠布局中，i線光刻膠已經(jīng)量產(chǎn)，擁有 i 線光刻膠 100 噸／ 年，并批量出貨給國(guó)內(nèi)晶圓制造頭部企業(yè)，是目前國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家實(shí)現(xiàn)光刻膠量產(chǎn)的企業(yè)之一，其i 線光刻膠已向國(guó)內(nèi)頭部的知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨，主要客戶包括中芯國(guó)際、華虹宏力、上海積塔、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、士蘭微、合肥長(zhǎng)鑫、揚(yáng)杰科技等半導(dǎo)體行業(yè)知名企業(yè)。

KrF（248nm深紫外）光刻膠產(chǎn)品分辨率達(dá)到了0．25～0．13μm的技術(shù)要求，已通過(guò)部分重要客戶測(cè)試，KrF光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中，計(jì)劃2022年形成批量供貨。同 時(shí)為加快KrF光刻膠的量產(chǎn)，公司新購(gòu)入了尼康KrF S207光刻機(jī)及配套設(shè)備。

國(guó)內(nèi)主要光刻膠企業(yè)

光刻膠又稱“光致抗蝕劑”，是光刻成像的承載介質(zhì)，其作用是利用光化學(xué)反應(yīng)的原理將光刻系統(tǒng)中經(jīng)過(guò)衍射、濾波后的光信息轉(zhuǎn)化為化學(xué)能量，進(jìn)而完成掩模圖形的復(fù)制。

一定程度上來(lái)說(shuō)，光刻出的電路圖案越精密，就代表著芯片性能越好。采用不同的光刻光線，對(duì)應(yīng)地需要搭配不同的光刻膠。目前，根據(jù)不同的光波長(zhǎng)，光刻膠大致可以分為G線、I線、KrF、ArF、EUV這幾類。

一直以來(lái)，半導(dǎo)體光刻膠都屬于光刻膠高端產(chǎn)品，由于國(guó)內(nèi)光刻膠領(lǐng)域起步較晚，技術(shù)嚴(yán)重落后等原因，導(dǎo)致我國(guó)半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的光刻膠需求主要由外資企業(yè)來(lái)滿足，日美廠商占據(jù)了約87％的份額，國(guó)內(nèi)光刻膠產(chǎn)品進(jìn)口比例高達(dá)九成。

在如此惡劣的環(huán)境下，國(guó)內(nèi)依舊誕生了一批優(yōu)質(zhì)光刻膠企業(yè)。

彤程新材

彤程新材成立于2008年，電子化學(xué)品業(yè)務(wù)主要涵蓋半導(dǎo)體光刻膠及配套試劑、顯示面板光刻膠和電子級(jí)酚醛樹(shù)脂。

2020年，彤程新材通過(guò)外延并購(gòu)實(shí)現(xiàn)光刻膠業(yè)務(wù)布局，其子公司北京科華和北旭電子分別為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠和面板光刻膠領(lǐng)先企業(yè)。其中，北京科華是唯一被SEMI列入全球光刻膠八強(qiáng)的中國(guó)光刻膠公司，其研發(fā)進(jìn)度國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，KrF光刻膠實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。北旭電子是國(guó)內(nèi)首家TFT光刻膠制造商，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)整體占有率近20％。

同時(shí)，彤程新材積極向光刻膠上游布局，發(fā)揮產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同優(yōu)勢(shì)。通過(guò)建立電子級(jí)酚醛樹(shù)脂生產(chǎn)線，著力研發(fā)G／I線光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠生產(chǎn)所需的樹(shù)脂。

此外，彤程新材加速光刻膠產(chǎn)能拓展?jié)M足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求，先后規(guī)劃1．1萬(wàn)噸半導(dǎo)體、平板顯示用光刻膠及2萬(wàn)噸相關(guān)配套試劑項(xiàng)目，并建設(shè)年產(chǎn)5000噸電子級(jí)酚醛樹(shù)脂生產(chǎn)線。

此外，彤程新材還建立了光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和電子級(jí)樹(shù)脂研發(fā)平臺(tái)，不斷深入電子化學(xué)品布局。彤程新材客戶涵蓋國(guó)內(nèi)主流廠商，包括中芯國(guó)際、上海華力微電子、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華潤(rùn)上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電、華燦光電等。目前是全球領(lǐng)先的新材料綜合服務(wù)商。

南大光電

南大光電成立于2000年，是專業(yè)從事先進(jìn)前驅(qū)體材料、電子特氣、光刻膠及配套材料三類半導(dǎo)體材料產(chǎn)品生產(chǎn)、研發(fā)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。

自2017年起，南大光電先后承擔(dān)國(guó)家“02專項(xiàng)”高分辨率光刻膠與先進(jìn)封裝光刻膠產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目和ArF光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。歷經(jīng)3年，南大光電已制備出國(guó)產(chǎn)自主可控的ArF光刻膠產(chǎn)品， 滿足產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)條件。

目前，南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品已經(jīng)成功通過(guò)武漢新芯的使用認(rèn)證，成為通過(guò)產(chǎn)品驗(yàn)證的第一家國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠企業(yè)，目前，南大光電建有ArF光刻膠產(chǎn)品大規(guī)模生產(chǎn)線，將形成年產(chǎn)25噸ArF（干式／浸沒(méi)式）光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品性能可以滿足90 nm－14 nm集成電路制造的要求。

上海新陽(yáng)

上海新陽(yáng)成立于1997年，二十年來(lái)，上海新陽(yáng)經(jīng)過(guò)持續(xù)不斷地研發(fā)創(chuàng)新，形成了擁有完整自主可控知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子電鍍和電子清洗兩大核心技術(shù)。

緊密?chē)@兩大核心技術(shù)，上海新陽(yáng)開(kāi)發(fā)研制出140多種電子電鍍與電子清洗系列功能性化學(xué)材料，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路制造、3D－IC先進(jìn)封裝、IC傳統(tǒng)封測(cè)等領(lǐng)域，滿足芯片銅制程90－28 nm工藝技術(shù)要求，相關(guān)產(chǎn)品已成為多家集成電路制造公司28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的基準(zhǔn)材料，成為中國(guó)半導(dǎo)體功能性化學(xué)材料和應(yīng)用技術(shù)與服務(wù)的知名品牌。

此外，上海新陽(yáng)已立項(xiàng)研發(fā)集成電路制造用高分辨率193 nmArF光刻膠及配套材料與應(yīng)用技術(shù)，其KrF厚膜光刻膠2021年開(kāi)始實(shí)現(xiàn)少量銷售，預(yù)計(jì)2022年可實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)；ArF干法光刻膠尚在認(rèn)證當(dāng)中，在2022年可實(shí)現(xiàn)少量銷售，2023年開(kāi)始量產(chǎn)，其合肥第二生產(chǎn)基地項(xiàng)目正在按計(jì)劃建設(shè)當(dāng)中。

徐州博康

徐州博康成立于2010年，深耕光刻材料領(lǐng)域十余年，實(shí)現(xiàn)了從單體、光刻膠專用樹(shù)脂、光酸劑及終產(chǎn)品光刻膠的國(guó)產(chǎn)化自主可控的供應(yīng)鏈，目前已開(kāi)發(fā)全球在用的KrF及ArF光刻膠單體種類的80％左右，是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域少有的垂直一體化企業(yè)。

2021年徐州博康產(chǎn)能切換及光刻產(chǎn)品技術(shù)與工藝不斷突破，光刻膠單體收入同比增長(zhǎng)19．48％，光刻膠收入同比增長(zhǎng)177％。

目前徐州博康A(chǔ)rF光刻膠有6款，品種涵蓋65nm，55nm、40nm、28nm及以下的關(guān)鍵層工藝以及LOGIC，3DNAND，DRAM等應(yīng)用領(lǐng)域。其中，應(yīng)用于通孔工藝的ArF濕法光刻膠，已經(jīng)能夠應(yīng)用至40nm／28nm工藝節(jié)點(diǎn)，是我國(guó)第一款國(guó)產(chǎn)化的ArF濕法通孔光刻膠。目前，有4款A(yù)膠正在客戶端進(jìn)行導(dǎo)入測(cè)試。KrF光刻膠有13種，目前有8款K膠正在客戶端進(jìn)行導(dǎo)入測(cè)試。I線光刻膠有11種，產(chǎn)品種類涵蓋高能注入、抗刻蝕等關(guān)鍵層工藝以及PAD、lift－off等應(yīng)用領(lǐng)域。

結(jié)語(yǔ)

對(duì)于國(guó)內(nèi)企業(yè)來(lái)說(shuō)，在光刻膠行業(yè)取得良好的發(fā)展，是突破美國(guó)對(duì)于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的封鎖的絕佳機(jī)會(huì)?，F(xiàn)在國(guó)內(nèi)的光刻膠企業(yè)雖然在中低端光刻膠領(lǐng)域有所進(jìn)展，但在高端光刻膠領(lǐng)域明顯存在差距，后續(xù)能否在該領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，還有待觀望。