《電子技術(shù)應(yīng)用》
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日本供應(yīng)商:中國難以掌握EUV技術(shù),也無法開發(fā)尖端芯片技術(shù)

2022-05-23
來源:半導(dǎo)體行業(yè)觀察
關(guān)鍵詞: JSR 中國 芯片制造 光刻膠

  JSR 是全球最大的半導(dǎo)體生產(chǎn)關(guān)鍵材料供應(yīng)商之一,其首席執(zhí)行官最近表示,盡管中國推動自給自足,但缺乏行業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施將使中國“非常難以”開發(fā)領(lǐng)先的芯片制造技術(shù)。

  日本半導(dǎo)體公司的美國主管埃里克約翰遜((Eric Johnson))在接受采訪時(shí)也表示,他預(yù)計(jì)芯片行業(yè)的供應(yīng)瓶頸將持續(xù)到 2023 年。

  美國對制造最先進(jìn)芯片所需技術(shù)的出口限制促使中國大力投資發(fā)展自己的半導(dǎo)體供應(yīng)鏈。

  但約翰遜表示,中國將難以掌握基于極紫外或極紫外光刻技術(shù)的復(fù)雜芯片制造技術(shù)。

  “我認(rèn)為中國也很想發(fā)展自己的 EUV 能力,以及這些東西的生態(tài)系統(tǒng)。坦率地說,我認(rèn)為他們很難做到這一點(diǎn),”約翰遜說。

  半導(dǎo)體是從智能手機(jī)到洗衣機(jī)等產(chǎn)品必不可少的產(chǎn)品,已成為華盛頓和北京之間競爭的焦點(diǎn)。周五,喬·拜登 (Joe Biden) 開始了他作為美國總統(tǒng)的首次亞洲之行,他參觀了位于韓國的三星芯片工廠,并強(qiáng)調(diào)了他確保半導(dǎo)體供應(yīng)鏈安全的愿望。

  EUV 光刻是一種要求很高的工藝,它使用光將微小的集成電路蝕刻到硅晶片上。

  即使中國“得到了一篇關(guān)于這種化學(xué)物質(zhì)究竟是什么的論文。. . 但如何實(shí)現(xiàn)純度、精度和可重復(fù)性制造,這都會很難”,Johnson 說?!笆虑闆]那么簡單,他們也沒有供應(yīng)鏈來支持?!保ㄔ模篍ven if China “got a paper onexactly what the chemistries were...to manufacture that at the purities, and the precision, and reproducibilityis really tough”, Johnson said. “It’s not that simple and they don’t have the supply chain to support that either.”)

  總部位于東京的 JSR 是光刻膠的領(lǐng)先供應(yīng)商,光刻膠是用于將電路圖案轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體晶圓上的薄層材料。分析師表示,它擁有全球約 30% 至 40% 的用于制造先進(jìn)芯片的光刻膠市場,其客戶包括三星、臺灣臺積電和美國英特爾。

  中國是世界上最大的芯片進(jìn)口國,并一直在大力投資半導(dǎo)體計(jì)劃,作為其計(jì)劃的一部分,中國原本計(jì)劃要求到 2025 年,關(guān)鍵技術(shù)的最重要組件實(shí)現(xiàn) 70% 的自給自足。但約翰遜表示,“領(lǐng)先的能力需要數(shù)十年的時(shí)間和大量資金才能開發(fā)出來。. . 你真的需要像 iPhone 這樣的應(yīng)用程序來為這些東西買單”。

  不過,約翰遜強(qiáng)調(diào),北京正在積極投資同樣重要的不太先進(jìn)的芯片制造技術(shù),中國是 JSR 增長戰(zhàn)略的重要組成部分。

  他說,他希望在能夠“尊重”和“負(fù)責(zé)任地”為中國客戶提供服務(wù)與“對美國政府的關(guān)切和保護(hù)日本利益的關(guān)切保持敏感”之間取得平衡?!叭藗兊凸懒酥袊卸嗌贆C(jī)會不依賴于那些非常領(lǐng)先的能力,”他說。

  約翰遜表示,損害全球經(jīng)濟(jì)的全球芯片供應(yīng)瓶頸要到明年才能解決。“新產(chǎn)能上線只是需要時(shí)間,而新產(chǎn)能可能要到今年年底或明年才會真正開始產(chǎn)生影響,”約翰遜說。

  他說,他預(yù)計(jì)該行業(yè)要滿足對汽車用半導(dǎo)體的需求將特別“成問題”,因?yàn)樗鼈兪褂玫男酒惶冗M(jìn),利潤較低,因此吸引的投資較少。

  日本JSR:全球 ArF 光刻膠龍頭

  日本合成橡膠公司(JSR)成立于 1957年,聚焦四大主業(yè):合成橡膠(收入占比 38%)、數(shù)碼解決方案(31%)、塑料(20%)與生命科學(xué)(11%),其中數(shù)碼解決方案涵蓋光刻材料、化學(xué)機(jī)械拋光 CMP 材料等。目前公司光刻膠全球市占率 13%(其中 ArF 光刻膠位居第一)2000-2019 財(cái)年公司收入及凈利潤復(fù)合增速為 3.9%和 12.7%。2019財(cái)年綜合毛利率近 30%,凈利率近 5%,公司研發(fā)投入占營收的 5%。

  自 90 年代起,JSR 將注意力集中在了電子產(chǎn)品材料及半導(dǎo)體材料方面,先后在北美、歐洲、韓國、中國臺灣、中國大陸等地區(qū)設(shè)立了光刻膠及平板材料工廠,并逐步推出了新一代的光刻膠產(chǎn)品。

  進(jìn)入 21 世紀(jì)后,JSR 的光刻膠技術(shù)得到了進(jìn)一步的突破。2004 年通過沉浸式 ArF 首次實(shí)現(xiàn)了 32nm 分辨率;隨后 2006 年又與 IBM 進(jìn)行合作,實(shí)現(xiàn)了30nm 的線寬。2011 年 JSR 與 SEMATECH 共同研制了用于 15nm 工藝的 EUV光刻膠;2015 年 JSR 與IMEC 簽署合作意向書,并于次年設(shè)立了一家合資企業(yè)(EUV RMQC),進(jìn)一步推動公司 EUV 光刻膠的研發(fā)進(jìn)程。

  JSR 的光刻膠業(yè)務(wù)市場占有率長期位于世界前列。截至 2019 年末,公司在全球光刻膠領(lǐng)域的市場占有率約為 13%,位居第三,僅次于 KrF 光刻膠龍頭東京應(yīng)化(27%)與 EUV 光刻膠龍頭美國陶氏化學(xué)(17%)。在 ArF 光刻膠市場,JSR 的全球市占率約為 24%,位居第一;在 KrF 光刻膠市場,JSR 全球市占率約為 18%,位居第三。

  在去年九月,日本半導(dǎo)體材料制造商 JSR 表示,它將收購總部位于俄勒岡州的 Inpria,著眼于后者在尖端芯片制造化學(xué)品方面的專業(yè)知識。

  據(jù)相關(guān)報(bào)道,在 2017 年和 2020 年,JSR 參與了 Inpria 的融資, 并擁有公司 21% 的流通股。通過此次交易,JSR 將收購剩余股份,Inpria 將成為 JSR Corporation 的全資子公司。此次收購的執(zhí)行取決于多項(xiàng)條件,包括收到監(jiān)管許可,預(yù)計(jì)將于 2021 年 10 月底完成。

  JSR 首席執(zhí)行官埃里克約翰遜周五在網(wǎng)上告訴記者,他打算讓 Inpria 在 2022 財(cái)年實(shí)現(xiàn)盈利。

  JSR 已經(jīng)運(yùn)營了 60 多年,制造范圍廣泛的功能材料,最近將其業(yè)務(wù)和未來擴(kuò)張重點(diǎn)放在其數(shù)字解決方案上,其中包括半導(dǎo)體材料和生命科學(xué)業(yè)務(wù),這兩項(xiàng)業(yè)務(wù)的目標(biāo)都是推動增長,非常適合利用公司在技術(shù)創(chuàng)新方面的優(yōu)勢。JSR 計(jì)劃利用在大批量制造、質(zhì)量控制、供應(yīng)商管理和客戶參與方面數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn),進(jìn)一步加強(qiáng)其支持和支持 IC 行業(yè)的能力。

  自2007年成立以來,Inpria一直致力于開發(fā)基于金屬的EUV光刻膠。其主要產(chǎn)品主要由氧化錫組成,使用EUV曝光系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了世界上最高分辨率。此外,金屬基光刻膠在干蝕刻過程中的圖案轉(zhuǎn)移性能方面優(yōu)于傳統(tǒng)光刻膠,非常適合半導(dǎo)體量產(chǎn)工藝。

  隨著此次收購的完成,JSR 將把 Inpria 的金屬基光刻膠添加到JSR的光刻膠產(chǎn)品組合中,作為一家支持我們客戶當(dāng)前和未來技術(shù)的先進(jìn)材料公司,無縫地提供價(jià)值。

  “芯片制造商高度重視 Inpria 的技術(shù),我認(rèn)為我們正走在一條有希望實(shí)現(xiàn)盈利的道路上,”JSR 常務(wù)官 Tadahiro Suhara 說。Inpria 在光刻膠領(lǐng)域享有盛譽(yù),包括用于極紫外光刻的光刻膠。光刻膠用于在硅片上印刷電路。隨著半導(dǎo)體變得越來越小,芯片制造商一直需要更復(fù)雜的產(chǎn)品。

  JSR 還希望在金屬氧化物光刻膠方面利用 Inpria 的技術(shù),該技術(shù)專為生產(chǎn)下一代半導(dǎo)體而設(shè)計(jì)。JSR 和其他日本公司在光刻膠領(lǐng)域擁有全球約 90% 的份額。

  Johnson 表示,全球光刻膠市場將在未來十年翻一番,并補(bǔ)充說,持續(xù)積極的投資將是 JSR 保持技術(shù)優(yōu)勢的關(guān)鍵。



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