日前，奧迪威在德國慕尼黑電子展（electronica 2022）發(fā)布PMUT技術(shù)產(chǎn)品——MEMS傳感器" target="_blank">超聲波傳感器AW101，與此同時，國內(nèi)線上同步發(fā)布。

　　【慕尼黑展會現(xiàn)場】

　　線上發(fā)布會邀請了中山大學(xué)物理學(xué)院余向陽教授，奧迪威總經(jīng)理張曙光先生等作為技術(shù)交流嘉賓，圍繞PMUT技術(shù)產(chǎn)品“MEMS超聲波傳感器AW101”進行了分享。

　　MEMS超聲波傳感器：AW101

　　MEMS超聲波傳感器AW101是將壓電薄膜作為功能薄膜與硅基MEMS（微機電）相集成的新一代超聲波傳感器產(chǎn)品，通過晶圓級MEMS微納工藝制造，單個芯片兼具超聲波發(fā)射（Tx）與接收（Rx）復(fù)用功能。

　　【AW101產(chǎn)品外觀】

　　AW101特點

　　AW101產(chǎn)品封裝尺寸為 4.2*4.5*2 mm，多物體探測距離＞1m。

　　【AW101尺寸圖對比】

　　AW101工藝

　　AW101產(chǎn)品采用薄膜生長、刻蝕、一體化封裝等MEMS制造技術(shù)，通過全自動設(shè)備生產(chǎn)，實現(xiàn)全自動封裝測試；產(chǎn)品可用SMT工藝回流貼裝，生產(chǎn)效率高，且保障產(chǎn)品一致性及可靠性。

【AW101制造工藝】

　　AW101性能

　　MEMS超聲波傳感器AW101可作為收發(fā)一體使用，在5Vop電壓時，聲壓達到98dB以上。AW101的視場廣至180°全景覆蓋，支持180°/45°定制調(diào)節(jié)。

　　更多優(yōu)勢

　　1、低壓驅(qū)動低功耗遠距離探測

　　AW101可實現(xiàn)低壓驅(qū)動低功耗聲壓發(fā)射，在空氣中實現(xiàn)遠距離傳播，適合中長距離的障礙物探測。

　　2、陣列化多頻工作

　　AW101由于超小尺寸、一致性高等特點，可以在狹小的空間內(nèi)設(shè)置更多形態(tài)頻率陣列（如雙頻率陣列），為應(yīng)用整機提供可重構(gòu)工作模式。

　　3、封裝可靠性高

　　AW101具備IP67防護等級，可用于室內(nèi)室外工業(yè)等復(fù)雜環(huán)境。

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