目前網(wǎng)絡(luò)有一種聲音,那就是我們必須自研出EUV光刻機(jī),只要自研出EUV光刻機(jī),ASML和美國(guó)就卡不住我們的脖子了,芯片就再也不用愁了。
但真的自研出EUV光刻機(jī),我們就能夠制造出7nm芯片了么?在我看來(lái),僅靠EUV光刻機(jī),是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的,還差得遠(yuǎn)呢。
芯片制造是一個(gè)非常復(fù)雜的流程,涉及到幾十種設(shè)備,上百道工序,主要可以分為單晶硅片制造、前道工序、后道工序這三部分。
單晶硅片涉及到各種半導(dǎo)體材料,目前國(guó)內(nèi)整體半導(dǎo)體材料的自給率不足20%,特別是14nm以下的半導(dǎo)體材料自給率就更低,高度依賴國(guó)外進(jìn)口。
而前道工序更是重點(diǎn),有至少8個(gè)工序,分別是擴(kuò)散、薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入、CMP拋光、金屬化、測(cè)試。
而這里也要用到各種設(shè)備,眾多的材料,光刻機(jī)只是其中的一種設(shè)備,這些設(shè)備大多和光刻機(jī)一樣,是有精度要求的,分別要求達(dá)到7nm。
還有一些材料,也需要達(dá)到7nm,比如光刻膠,7nm及以下芯片制造需要的是EUV光刻膠,但我們自給率為0。
后道工序,這里主要涉及到的是封測(cè),相對(duì)要求會(huì)低一些,但也是有工藝精度要求的。
綜合起來(lái)看,要想芯片制造水平達(dá)到7nm,需要EDA支持7nm,半導(dǎo)體材料也是支持7nm,半導(dǎo)體設(shè)備也支持7nm……
而EUV光刻機(jī)只是其中的一種設(shè)備,就算我們突破了,美國(guó)或其它國(guó)家一樣能夠在其它設(shè)備、材料上卡住我們,因?yàn)槟壳皣?guó)產(chǎn)的半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體設(shè)備,很多在28nm甚至更成熟的工藝,達(dá)到7nm的少之又少。
目前僅是EUV光刻機(jī)卡得最為明顯,卡得最為關(guān)鍵,最為大家所知而已,并不意味著其它設(shè)備或材料不卡了,一旦EUV光刻機(jī)我們有了,美國(guó)在其它設(shè)備或材料上就會(huì)卡住我們的。
要想真正不受限的制造出7nm芯片,我們需要的是整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈崛起,達(dá)到7nm才行的,所以現(xiàn)在真不必急著進(jìn)入7nm,并且也進(jìn)入不了。
按照機(jī)構(gòu)的數(shù)據(jù),2022年28nm及以下的芯片占全球所有芯片的比例還高達(dá)75%+,所以我們現(xiàn)在的重點(diǎn)不是先進(jìn)工藝,而是全產(chǎn)業(yè)的國(guó)產(chǎn)化率,同時(shí)提升產(chǎn)能,先滿足國(guó)內(nèi)成熟工藝的需求,先解決了這些問(wèn)題,再向先進(jìn)工藝前進(jìn),這樣才走得穩(wěn)健。
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