《電子技術(shù)應(yīng)用》
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中國光刻機最新供貨商!

2022-12-13
來源:是說芯語
關(guān)鍵詞: 光刻機 佳能

  作為日本老牌電子巨頭,佳能相機做得好,但光刻機做得也不差。

  就在今年年初,佳能關(guān)閉了運營32年的珠海工廠。盡管,巔峰時期,這里曾一度占了佳能全球卡片數(shù)碼相機的一半產(chǎn)量。

  到了下半年,不斷收縮中的佳能,卻大手一揮表示要投資500億日元(約25億人民幣),新建半導(dǎo)體設(shè)備工廠。以2021年數(shù)據(jù)來看,佳能光刻機均價約為:

  7857萬。

  更具體來說,去年總計銷售140臺光刻機的佳能,想要將其產(chǎn)能提高兩倍,同時,佳能還要研制一種名叫NIL的低成本高端設(shè)備,試圖在全球高端光刻機領(lǐng)域分一杯羹。

  畢竟一臺最最基礎(chǔ)的EUV光刻機就要超過1億元,還是美刀。

  故事似乎有些反常?

  目前,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)都處于周期底部,就連長期供不應(yīng)求的臺積電,也準備于今年關(guān)閉4臺EUV光刻機,鼓勵員工多休息。對于擴產(chǎn)、購買光刻機的意愿更是一降再降。

  那么問題來了,晶圓廠們都不愿擴產(chǎn)了,佳能為何在此時增加光刻機產(chǎn)能?

  01

  佳能擴產(chǎn),意在中國

  項莊舞劍,意在沛公;佳能擴產(chǎn),意在中國。

  這么說,原因主要有二:

  第一,雖然全球產(chǎn)能過剩,但中國芯片仍在擴張,需要光刻機。

  首先來看看中國芯片企業(yè)的數(shù)量。

  企查查搜索芯片,一年內(nèi)成立的企業(yè)有63017家;成立1-2年的企業(yè)有45511家;成立2-3年的有20678家。盡管中國芯片產(chǎn)業(yè)沒有按照摩爾定律發(fā)展,但是企業(yè)數(shù)量卻按照摩爾定律在穩(wěn)步推進。企業(yè)多了,實力不一定成正比增加,但對光刻機的需求,一定會暴漲。

  其次看看企業(yè)愿意付出的代價。

  在2021年史無前例大缺芯中,一臺三十年前佳能的二手光刻機身價暴漲17倍,2014年售價不到10萬美元,卻足足被炒作賣到了170萬美元。盡管這臺光刻機僅適用于4至8英寸的晶圓,只能用于350nm的技術(shù)。

  第二,中國光刻機產(chǎn)業(yè)的自主化還有一段距離。

  目前,要生產(chǎn)7nm以下先進芯片制程,極紫外線光刻機(EUV)是必選項。但全球范圍內(nèi),僅阿斯麥一家具備EUV光刻機的生產(chǎn)能力。

  那我們距離EUV的距離有多遠呢?

  目前國內(nèi)最先進的光刻機來自上海微電子,其最先進的光刻機是一款代號SSA600/20的DUV設(shè)備,只能用于90nm芯片的生產(chǎn)。而90nm,是臺積電兩千年前后就已經(jīng)量產(chǎn)的芯片制程。

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  因此,擴產(chǎn)中的中國芯片事業(yè),迫切需要補上光刻機的短板。

  02

  為什么是佳能?

  全球范圍內(nèi),能做光刻機的企業(yè)不少,為什么是佳能?

  最直接的原因是,佳能更容易繞過長臂管轄。

  當前,全球的光刻機主要可以分為兩類,EUV與DUV。簡單來說,EUV主要用于7nm及更先進的制程,在這個市場中,來自荷蘭的阿斯麥一家獨大。而在14nm以及更成熟的制程中,則主要使用的是DUV設(shè)備,這一市場則由阿斯麥以及來自日本的佳能、尼康三分天下。

  由于歷史的原因,在光刻機的生產(chǎn)中,阿斯麥采用全球分工,尤其是光刻機的核心零部件光源主要來自美國,因此會受到更多的美國長臂管轄,而日本企業(yè)更多采用垂直一體化的生產(chǎn)模式,相對來說受限較小。

  一邊是山高皇帝遠的美國管轄,一邊是不斷增長的中國市場,孰輕孰重,佳能自然早有結(jié)論。

  政治原因之外,于佳能而言,借助中國市場,實現(xiàn)光刻機產(chǎn)業(yè)的“彎道超車”,則是另一重它的隱秘“芯事”。

  根據(jù)爆料,佳能計劃開發(fā)的該新一代設(shè)備很可能就是2021年成功研發(fā)的米壓印光刻(NIL)的升級版。

  所謂NIL技術(shù),是將三維結(jié)構(gòu)的掩膜壓在晶圓的感光材料上,同時照射光線完成一次性轉(zhuǎn)印,被稱為是最有前景的光刻技術(shù)之一。

  相比EUV,NIL主要有兩大優(yōu)勢。

  第一,NIL更省錢。眾所周知,EUV設(shè)備就是一臺吞金獸,光購買價款就超過了一臺波音客機,還有一年超一千萬度的耗電量。而NIL不僅設(shè)備投資僅有EUV的40%,耗電量更是僅有10%。

  第二,技術(shù)更加獨立自主。傳統(tǒng)光刻機市場中,DUV自主并不罕見,但到了EUV階段,則需要來自美國的光源、德國的鏡片、英國的真空腔,舉全球之力完成。但是對NIL技術(shù)來說,主要技術(shù)以及零件來源是日本的佳能,鎧俠以及大日本印刷株式會社(DNP),并早在2017年就開始在日本三重縣四日市的鎧俠工廠內(nèi)研發(fā)NIL量產(chǎn)。因此技術(shù)上并不受美國的長臂管轄。

  當然,這些目前也僅僅只是佳能的官方宣傳,而且主要被用在存儲芯片的生產(chǎn)。

  03

  不可忽視的日本半導(dǎo)體實力

  一直以來,對于中國芯片產(chǎn)業(yè)鏈的安全,我們常常將其與全面國產(chǎn)畫上等號。但必須承認的是,我們的芯片產(chǎn)業(yè)鏈安全,是分兩步走的:

  第一步,左手去美化,右手全球化,減少美系設(shè)備、美系技術(shù)對我們的制約。

  第二步,加快關(guān)于芯片設(shè)備、軟件等上游環(huán)節(jié)的研發(fā),實現(xiàn)國產(chǎn)。

  顯然,拉近與佳能在內(nèi)的日本企業(yè)的距離,正是我們走第一步的重要一環(huán)。畢竟,日本企業(yè)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上的實力不可小覷,全球半導(dǎo)體設(shè)備TOP20供應(yīng)商中,有11家來自日本。

  拆開各個環(huán)節(jié)來看,可以發(fā)現(xiàn):

  在光刻機領(lǐng)域,除了佳能之外,日本尼康同樣是DUV領(lǐng)域的代表性玩家,并在3D芯片堆疊的封裝光刻機等細分領(lǐng)域做到了全球領(lǐng)先。

  再比如,除去光刻之外,一顆芯片的制造還需要許多其他環(huán)節(jié)的配合。半導(dǎo)體前7道工藝環(huán)節(jié)按照設(shè)備產(chǎn)線投資,可以分為“三大四小”七個環(huán)節(jié),光刻、刻蝕、沉積這三大是重中之重。

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  三大之中,除了光刻機可以直接決定芯片的尺寸之外,刻蝕、沉積設(shè)備同樣也決定著芯片的制程良率。甚至在7nm芯片的DUV時代,刻蝕機的投入一度超過光刻機,成為采購占比最高的芯片設(shè)備。

  而日本的東京電子,正是一個從刻蝕到沉積,再到涂布多個領(lǐng)域四面開花的全能選手。尤其在涂布設(shè)備環(huán)節(jié),東京電子的市占率高達九成,幾近壟斷。體現(xiàn)在營收上,東京電子是2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備廠商營收的TOP3,僅次于美國的應(yīng)用材料和荷蘭的ASML。

  設(shè)備之外,在芯片的上游材料方面,日本同樣打滿全場:譬如,在氟聚酰亞胺領(lǐng)域,日本企業(yè)的占比高達90%。但日本的材料實力,可不只一個小小的氟聚酰亞胺,在19種芯片生產(chǎn)必備材料中,日本在其中的14種都處于行業(yè)領(lǐng)先,乃至壟斷地位。

  尾聲

  關(guān)于中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),總會有一種觀點認為,我們成為了一座孤立無援的孤島。但果真如此嘛?

  一個最近的小切口,可以幫助我們更好的了解事情的全貌。

  政客不斷層層施壓的當下,在今年上海的第五屆進博會上,被美國點名的全球大型半導(dǎo)體及設(shè)備企業(yè)們踴躍參加:

  阿斯麥表示,為了滿足在華業(yè)務(wù)的日益增長,阿斯麥中國團隊人數(shù)近年來穩(wěn)定增加。

  美籍的英特爾、超威半導(dǎo)體、高通、泛林、科磊等半導(dǎo)體巨頭也亮相其中,直言“可推進新一代半導(dǎo)體技術(shù)的突破”。

  而最近被美國屢屢點名,不能對中國出口A100、H100等高性能芯片的英偉達,則干脆選擇“偷梁換柱”,推出了“中國特制版”先進計算芯片A800,既符合美國新的出口管制規(guī)定,同時也讓那些對A100、H100有需求的中國企業(yè),找到了低配平替。

  毫無疑問,在一場所有人都身不由己的芯片政治中,政客要的是權(quán)利,企業(yè)要的是盈利,即使千難萬險,他們?nèi)詴x擇用腳投票。

  


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