眾所周知,目前全球光刻機(jī)龍頭是ASML,拿下了全球80%以上的份額,沒有誰能夠和ASMLPK,真正的一家獨(dú)大。
而越高級(jí)的光刻機(jī),ASML的份額越高,比如EUV光刻機(jī),ASML的份額為100%,全球僅他一家能夠生產(chǎn)。
DUV光刻機(jī)中,最先進(jìn)的浸潤(rùn)式的DUV光刻機(jī),ASML的份額也接近100%,只有干式DUV光刻機(jī)等,才有尼康、佳能的份。
一直以來,中國(guó)大陸是ASML的重要客戶之一,曾經(jīng)一度貢獻(xiàn)的營(yíng)收排到了第一名。不過大家也都清楚,ASML受美國(guó)禁令的限制,無法將最先進(jìn)的光刻機(jī)賣到中國(guó)來,只能賣點(diǎn)低端一點(diǎn)的光刻機(jī)。
2022年,按照ASML的財(cái)報(bào)顯示,ASML從中國(guó)市場(chǎng)獲得21.6億歐元的營(yíng)收,銷售了大約100臺(tái)DUV光刻機(jī),也就是說平均每一臺(tái)DUV光刻機(jī),售價(jià)約為2100萬歐元,1億多元人民幣。
而2023年,ASML預(yù)計(jì)從中國(guó)市場(chǎng)獲得22億歐元收入,和去掉基本相當(dāng),那么意味著DUV光刻機(jī)的銷售量,大約還是在100臺(tái)左右。
不過這100臺(tái)DUV光刻機(jī),依然是低端的光刻機(jī),只含ArF光刻機(jī),也就是干式光刻機(jī),至于浸潤(rùn)式ArFi光刻機(jī)、EUV光刻機(jī)這兩種最先進(jìn)的,是不能對(duì)中國(guó)出貨的。
如上圖所示,目前ASML能夠?qū)χ袊?guó)大陸出貨的,只能是ArF光刻機(jī),而ArFi這種浸潤(rùn)式光刻機(jī),可以最小制程達(dá)到7nm的,是不能出貨了。因?yàn)槊绹?guó)的目標(biāo)是鎖死我們的芯片工藝制程在14nm的。
而目前國(guó)產(chǎn)的光刻機(jī),也是ArF光刻機(jī),不過精度還只停留在90nm,暫時(shí)還無法替代ASML的光刻機(jī)。
但只要國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)邁入浸潤(rùn)式,也就是ArFi后,基本上我們對(duì)ASML的光刻機(jī)就不再需要的,因?yàn)榻?rùn)式最高可以實(shí)現(xiàn)7nm。
當(dāng)然,從ArF跨入到ArFi,看起來只有一代,但這一代也許幾年,也許十幾年都不一定跨得過,所以大家要有心理準(zhǔn)備,做好長(zhǎng)期奮戰(zhàn)的準(zhǔn)備。
另外就是,之前ASML賣給國(guó)內(nèi)的浸潤(rùn)式光刻機(jī),還是可以用的,畢竟現(xiàn)在中芯的14nm工藝,就用上了浸潤(rùn)式的ArFi光刻機(jī)。
至于曾經(jīng)買的浸潤(rùn)式光刻機(jī),現(xiàn)在能不能用于10nm、7nm,我也不知道,只有中芯自己才清楚,但我估計(jì)就算能,也不會(huì)對(duì)外公開,原因大家懂的。
原文標(biāo)題 : ASML今年預(yù)計(jì)賣100臺(tái)光刻機(jī)給中國(guó),但不是最先進(jìn)的那兩種
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