4月14日消息，Intel前任CEO帕特·基辛格已經(jīng)找到了新工作！本人親自宣布，已經(jīng)加盟xLight擔(dān)任執(zhí)行董事長(zhǎng)。

xLight是一家半導(dǎo)體行業(yè)創(chuàng)業(yè)公司，主要業(yè)務(wù)室面向EUV極紫外光刻機(jī)，開(kāi)發(fā)基于直線(xiàn)電子加速器的自由電子激光(FEL)技術(shù)光源系統(tǒng)，可顯著降低成本。

目前的ASML EUV光刻機(jī)使用的是激光等離子體EUV光源(LPP)，依賴(lài)超高功率的高能激光脈沖，因此整個(gè)系統(tǒng)極為龐大、復(fù)雜，而產(chǎn)生的EUV光源功率有限，這也是其成本、價(jià)格高昂的核心原因，單價(jià)超過(guò)1.5億美元。

因此，美國(guó)、中國(guó)、日本等都在積極研究替代方案，F(xiàn)EL自由電子激光器就是廣為看好的EUV光源，包括振蕩器、自放大自發(fā)輻射兩大技術(shù)路線(xiàn)。

它可以產(chǎn)生超過(guò)10kW功率的EVU光源功率，可同時(shí)滿(mǎn)足10臺(tái)光刻機(jī)的需要，而且不會(huì)產(chǎn)生錫滴碎片而污染環(huán)境。

其實(shí)，ASML早在十年前就考慮過(guò)FEL EUV光源路線(xiàn)，但最終認(rèn)為風(fēng)險(xiǎn)偏高，而走向了LPP EUV光源。

有關(guān)研究顯示，10kW功率的FEL EUV光源的建設(shè)成本約為4億美元，每年運(yùn)營(yíng)成本4000萬(wàn)美元。

相比之下，250W功率的LPP EUV光源的建設(shè)成本約為2000萬(wàn)美元，每年運(yùn)營(yíng)成本1500萬(wàn)美元。

算下來(lái)，EFL路線(xiàn)的建設(shè)成本只有LPP路線(xiàn)的1/2，運(yùn)營(yíng)成本更是1/15，綜合成本約為1/3。

基辛格加盟的xLight公司，正在研發(fā)基于ERL(能量回收直線(xiàn)加速器)的FEL EUV光源系統(tǒng)，可提供1000W的功率，四倍于ASML，從而將單塊晶圓光刻成本降低約50％，而且單個(gè)光源系統(tǒng)就能支持20臺(tái)光刻機(jī)，壽命也長(zhǎng)達(dá)30年。

xLight FEL EUV光源系統(tǒng)的另一個(gè)好處，就是兼容現(xiàn)有的ASML EUV光刻機(jī)，可以直接整合，預(yù)計(jì)2028年可接入ASML光刻機(jī)，并開(kāi)始生產(chǎn)晶圓。

xLight公司規(guī)模不大，但是團(tuán)隊(duì)在光刻和加速器領(lǐng)域擁有豐富經(jīng)驗(yàn)，包括來(lái)自斯坦福直線(xiàn)加速器等的資深研究人士，首席科學(xué)家Gennady Stupakov博士曾在去年拿到IEEE核能和等離子體科學(xué)學(xué)會(huì)粒子加速器科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)。