kla-tencor" title="kla-tencor">kla-tencor.com/">KLA-Tencor 公司（納斯達克" title="納斯達克">納斯達克股票代碼：KLAC）今天發(fā)布其最新的探針式表面輪廓測量系統(tǒng) P-6?，該系統(tǒng)針對科學研究與生產(chǎn)環(huán)境（例如，光電太陽能電池制造）提供一組獨特的先進功能組合。P-6 系統(tǒng)受益于在先進半導體輪廓儀系統(tǒng)上開發(fā)的測量技術(shù)，但卻采用了較小與較經(jīng)濟的桌面型機臺設(shè)計，可接受最大至
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KLA-Tencor 的成長與新興市場集團副總裁 Jeff Donnelly 表示：“我們對 P-6 探針系統(tǒng)的推出感到振奮，該系統(tǒng)將為科學與太陽能客戶提供在應用方面的最佳功能組合。對于太陽能市場，P-6 擁有在開發(fā)階段提高太陽能電池效率，以及監(jiān)控生產(chǎn)制程" title="制程">制程質(zhì)量所需的分辨率、掃描質(zhì)量和自動控制能力?！?/SPAN>?
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融合 KLA-Tencor 的自動化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能，P-6 探針式輪廓儀充分承襲了最佳技術(shù)與效能的傳統(tǒng)： ?
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·????????????? 低噪聲基底可改善表征微小表面特征的測量靈敏度?
·????????????? 小于 6 埃的步進高度可重復性，確保了嚴苛的制程控制?
·????????????? 150 毫米 X-Y 樣本載臺可實現(xiàn)覆蓋整個基底的單一測量?
·????????????? 2D" title="2D">2D 應力測量與分析可將缺陷降至最低并提升良率?
·????????????? 功能強大且容易使用的分析軟件，提供高階應用的靈活性?
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P-6 輪廓儀已通過主要太陽能產(chǎn)品制造商 BP Solar 的合格認證。BP Solar 技術(shù)副總裁 Eric Daniels 表示：“我們對 KLA-Tencor 的 P-6 系統(tǒng)的評估證明，它對于多種表面測量應用系統(tǒng)的一系列制程條件具有高靈敏性，其中包括 ARC 薄膜、導線觸點及前表面紋理結(jié)構(gòu)。對于支持我們的技術(shù)開發(fā)與生產(chǎn)改善，P6 將發(fā)揮重要價值。”?
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P-6 系統(tǒng)將于 2008 年 7 月 15 至 17 日在舊金山舉辦的 InterSolar 北美展會第 9252 號 KLA-Tencor 展臺上展出。?
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關(guān)于 KLA-Tencor： KLA-Tencor 是專為半導體和相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供制程控制及良率" title="良率">良率管理解決方案的全球領(lǐng)先供應商。該公司總部設(shè)在美國加州的密爾必達市，銷售及服務網(wǎng)遍布全球。KLA-Tencor 躋身于標準普爾 500 強公司之一，并在納斯達克全球精選市場上市交易，其股票代碼為 KLAC。有關(guān)該公司的更多信息，請參觀網(wǎng)站 http://www.kla-tencor.com。?