美國工藝設備供應商Aviza表示,它的等離子增強" title="等離子增強">等離子增強的CVD系統(tǒng)取代了另一家競爭者成為前五名高亮度" title="高亮度">高亮度LED 制造商的供應商。Aviza產(chǎn)品事業(yè)部的高級副總Kevin Crofton 表示,下訂單的是位列全球前五的高亮度LED 制造商。半導體設備供應商Aviza技術公司重拾化合物業(yè)務,憑著大量的刻蝕和CVD設備訂單" title="設備訂單">設備訂單贏得重大的勝利。Aviza的Delta i2L等離子增強型CVD(PECVD)和Omega i2L刻蝕系統(tǒng)產(chǎn)量高,正常運行時間長,可靠性好,工藝穩(wěn)定性更強;目前正在客戶的批量級廠房中,準備用于生產(chǎn)GaAs基和InGaN基LED 。
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Crofton 說,這家LED 制造商既是現(xiàn)有設備也是Aviza舊型CVD設備的客戶,不過最近一筆訂單尤為重要,原因是Omega刻蝕設備現(xiàn)在被認為是“創(chuàng)紀錄得工藝設備(PTOR)”。在沉積設備方面,Aviza是這家LED 制造商針對PE-CVD應用的新型供應商。
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這個訂單揭示了最近Aviza的策略上的變化,在DRAM這個殘酷的競爭產(chǎn)業(yè)里,他們越來越注重比如III-V族、功率半導體" title="功率半導體">功率半導體、LED 和MEMS 等需要進行薄膜生長的市場,并已初期奏效。Crofton 補充道,“僅僅在過去幾年內(nèi),我們的產(chǎn)品組合已明顯偏向這些生長市場”,據(jù)市調(diào)公司Strategies Unlimited表明,未來幾年HB-LED" title="HB-LED">HB-LED 的年增長率將達到20%。“只要這些市場仍在增長,我們將憑著獲得認可的產(chǎn)品迎頭趕上它們”。