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統(tǒng)一頻率與電容測量的石英晶體靜電容方法

石英晶體諧振器(以下簡稱為石英晶體)作為一種性能優(yōu)良的頻率基準和時鐘源在電子領域有著廣泛應用。石英晶體的中間測試在石英晶體的生產中是處于微調和封裝之間的工序,要求對石英晶體的基本電參數(shù)進行測量,以保證產品最終質量。在石英晶體的中間測試中,需要測量串聯(lián)諧振頻率、串聯(lián)諧振電阻、負載諧振頻率、負載諧振電阻、靜電容、動電容、頻率牽引靈敏度和DLD等參數(shù)。其中,靜電容C0主要由石英晶體兩端所鍍銀膜決定,表征了石英晶體的靜態(tài)特性,與石英晶體的串聯(lián)諧振頻率和負載諧振頻率等應用指標密切相關。根據靜電容和其它參數(shù)的關系,還可以計算出負載諧振電阻、動電容、頻率牽引靈敏度和DLD等參數(shù)的值,這在實際測量中是經常采用的方法。靜電容的測量是石英晶體中間測試的重要內容。目前,IEC(國際電工委員會)所推薦的石英晶體測量的標準方法是π網絡零相位法。在該方法中,未規(guī)定測量靜電容的標準方法。若采用諧振法、交流電橋法等常用方法來測量靜電容,會增加整個測量系統(tǒng)的復雜性,并且對諧振頻率的測量產生不利影響。本課題提出了一種基于π網絡零相位法的測量石英晶體靜電容的新方法,并據此設計制作了實驗測量系統(tǒng)。

發(fā)表于:1/4/2011