《電子技術(shù)應(yīng)用》
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歐陸2604控制器在分子外延(MBE)設(shè)備上的應(yīng)用
摘要: 歐陸2604控制器在分子外延(MBE)設(shè)備上的應(yīng)用設(shè)備現(xiàn)狀用改造方案簡(jiǎn)述:原美國(guó)MBE設(shè)備中的溫控表型號(hào)為歐陸的905D,由于該型號(hào)的表歐陸公司已經(jīng)停產(chǎn),而且維修費(fèi)用較高甚至不能維修;所以此方案考慮用歐陸的2604完全替換原905D,用一臺(tái)新的計(jì)算機(jī)替換原計(jì)算機(jī),在新計(jì)算機(jī)上安裝Windows2000操作系統(tǒng),在新計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)原905D的溫度控制編程功能。
Abstract:
Key words :

歐陸2604控制器在分子外延(MBE)設(shè)備上的應(yīng)用

 

設(shè)備現(xiàn)狀用改造方案簡(jiǎn)述:
原美國(guó)MBE設(shè)備中的溫控表型號(hào)為歐陸的905D,由于該型號(hào)的表歐陸公司已經(jīng)停產(chǎn),而且維修費(fèi)用較高甚至不能維修;所以此方案考慮用歐陸的2604完全替換原905D,用一臺(tái)新的計(jì)算機(jī)替換原計(jì)算機(jī),在新計(jì)算機(jī)上安裝Windows2000操作系統(tǒng),在新計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)原905D的溫度控制編程功能。改造后還可保留原設(shè)備,以備在新設(shè)備出現(xiàn)問題時(shí)還可用原來(lái)的設(shè)備完全替換。
1. 改造工程包括以下各項(xiàng):
1.1 用歐陸2604替換原905D溫控表,共6塊,每塊2604帶雙回路PID控制。
1.2 增加一臺(tái)工業(yè)計(jì)算機(jī),用于對(duì)新增加溫控表2604的溫度控制和原系統(tǒng)中7路擋板的控制。
1.3 對(duì)原905D溫控表控制盒進(jìn)行改裝,完成新老表的更換,增加必要通訊連接器,完成新2604溫度控制系統(tǒng)的要求并對(duì)適應(yīng)新上位系統(tǒng)的通訊要求。
1.4 在2604上進(jìn)行組態(tài)設(shè)置,實(shí)現(xiàn)溫控回路的控制,實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)聯(lián)鎖動(dòng)作的控制,保持原系統(tǒng)的保護(hù)要求。
1.5 真空度的interlock進(jìn)每個(gè)2604的DI板,每個(gè)溫控回路在interlock動(dòng)作時(shí)進(jìn)行強(qiáng)制125℃的給定。
1.6 對(duì)原擋板控制盒進(jìn)行改裝,必要時(shí)新舊系統(tǒng)能進(jìn)行切換操作。
1.7 對(duì)各新加溫控表和新加工控機(jī)進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)聯(lián)結(jié),實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)總線控制。
1.8 在新增工控機(jī)上進(jìn)行組態(tài)編程,實(shí)現(xiàn)對(duì)2604的自動(dòng)及手動(dòng)操作,實(shí)現(xiàn)對(duì)各擋板的手自動(dòng)操作。
1.9 完成必要的電氣線路改造,適應(yīng)新的系統(tǒng)要求。
2. 改造后實(shí)現(xiàn)功能
2.1 由2604代替原905D,實(shí)現(xiàn)溫度控制。
2.2 在新工控機(jī)上代替原計(jì)算機(jī)完成順序控制程序的輸入。
2.3 程序控制功能和原有功能相同,編程界面和簡(jiǎn)便性與原有編程界面相當(dāng)。
2.4 擋板控制及動(dòng)作聯(lián)鎖在工控機(jī)上實(shí)現(xiàn)。
2.5 真空聯(lián)鎖信號(hào)既進(jìn)2604做聯(lián)鎖也進(jìn)工控機(jī)做擋板動(dòng)作的聯(lián)鎖。
2.6 在上位機(jī)里對(duì)每塊2604進(jìn)行通訊狀態(tài)檢查,如果通訊失敗在上位做報(bào)警。
2.7 對(duì)2604的每個(gè)溫度做歷史記錄查詢功能。
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