《電子技術(shù)應(yīng)用》
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臺(tái)積電5nm制程首次曝光

2015-07-23
關(guān)鍵詞: 臺(tái)積電 10nm 7nm 5nm

       作為全球最大的代工廠,臺(tái)積電這幾年并不是很順利,但每每展望未來(lái)總是一片光明:2016年第四季度量產(chǎn)10nm,2018投產(chǎn)7nm……那么再往后呢?就是5nm了。嗯,沒(méi)錯(cuò),越往后進(jìn)步幅度就會(huì)越小,5nm之后還能不能繼續(xù)前進(jìn)都是個(gè)大問(wèn)題了。

       為了解決工藝提升中的各種復(fù)雜挑戰(zhàn),半導(dǎo)體行業(yè)早就想出了各種各樣的高招,但因?yàn)槌杀咎^(guò)于高昂,技術(shù)太過(guò)于復(fù)雜,一直都很難投入實(shí)用,比如說(shuō)極紫外光刻(EUV)。

       根據(jù)規(guī)劃, 臺(tái)積電的10nm、7nm都會(huì)用上EUV極紫外技術(shù),更遙遠(yuǎn)的5nm也會(huì)如此,而且還會(huì)加入新的多重電子束技術(shù)(multipe e-beam)。

       不過(guò),5nm還屬于長(zhǎng)期規(guī)劃,需要解決的問(wèn)題太多太多,何時(shí)投產(chǎn)尚無(wú)明確時(shí)間表,臺(tái)積電只是說(shuō)會(huì)在2014-2019年間不斷研究5nm。

       業(yè)內(nèi)人士預(yù)計(jì),10nm之后的工藝至少5年以后才能實(shí)現(xiàn),照這么預(yù)計(jì)及時(shí)7nm也得等到2020年,而按照臺(tái)積電這幾年的拖沓表現(xiàn),還真不好說(shuō)。

       Intel也在一直研究極紫外光刻和450毫米大晶圓,但多次推遲了投產(chǎn)進(jìn)度。450毫米晶圓已經(jīng)在試產(chǎn),應(yīng)該會(huì)在10nm上使用。極紫外說(shuō)不定得等7nm。

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