《電子技術(shù)應(yīng)用》
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基于MXT9030的微電容加速度計系統(tǒng)搭建
2015年電子技術(shù)應(yīng)用第2期
姚庭偉,陳祥發(fā),柴宏玉
北京時代民芯科技有限公司西安分部,陜西 西安710119
摘要: 闡述了三明治式電容微加速度計的工作原理,并在此基礎(chǔ)上介紹了一種具體的三明治式微加速度計的設(shè)計:采用一種通用的電容讀取電路MXT9030實(shí)現(xiàn)對電容式微加速度傳感器的信號檢測,通過微控制器的控制,調(diào)節(jié)MXT9030電路的內(nèi)部參數(shù),使加速度計系統(tǒng)具有良好的線性度及靈敏度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該設(shè)計可滿足較大范圍內(nèi)的電容差分信號輸入,并具有良好的檢測靈敏度和線性度。
Abstract:
Key words :

  摘  要: 闡述了三明治式電容微加速度計的工作原理,并在此基礎(chǔ)上介紹了一種具體的三明治式微加速度計的設(shè)計:采用一種通用的電容讀取電路MXT9030實(shí)現(xiàn)對電容式微加速度傳感器的信號檢測,通過微控制器的控制,調(diào)節(jié)MXT9030電路的內(nèi)部參數(shù),使加速度計系統(tǒng)具有良好的線性度及靈敏度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該設(shè)計可滿足較大范圍內(nèi)的電容差分信號輸入,并具有良好的檢測靈敏度和線性度。

  關(guān)鍵詞微電容加速度計MEMS;MXT9030;微控制器

0 引言

  加速度計又稱比力傳感器,是一種以牛頓慣性定律為理論基礎(chǔ)的慣性器件,用來測量運(yùn)載體的加速度值。加速度計作為慣導(dǎo)系統(tǒng)的關(guān)鍵元件之一,在軍事、航空、航天等多個方面得到了廣泛的應(yīng)用。

  MEMS器件以其微型化的優(yōu)勢,在汽車、電子、家電、機(jī)電等行業(yè)和軍事領(lǐng)域越來越突顯出廣闊的應(yīng)用前景,尤其是近些年來隨著航天和武器裝備技術(shù)的不斷發(fā)展,更加要求電子系統(tǒng)小型化、低成本和高可靠。

  電容式加速度計是一種典型的MEMS器件,主要由敏感質(zhì)量塊和檢測電路兩部分組成。敏感質(zhì)量塊所承受的加速度能使其產(chǎn)生位移,導(dǎo)致電容大小發(fā)生變化,檢測電路能將檢測到的電容變化轉(zhuǎn)換成電壓變化,從而將被測非電學(xué)的加速度信號轉(zhuǎn)換成電信號。由于微加速度計結(jié)構(gòu)的微型化,其電容總量一般在幾十個皮法內(nèi),電容變化量則更小,因此要求檢測電路必須具有非常高的靈敏度才能準(zhǔn)確地檢測出該信號。本文所述的一種電容式微加速度計具有典型的三明治結(jié)構(gòu)(如圖1),采用北京時代民芯科技有限公司的電容檢測芯片MXT9030作為檢測電路的主要組成部分,并使用微控制器配合來實(shí)現(xiàn)對該芯片的內(nèi)部參數(shù)的調(diào)節(jié)和配置,使加速度計整體系統(tǒng)能夠達(dá)到最佳工作狀態(tài)。

1 差分電容檢測原理


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  如圖1所示,在微加速度計中,M是面積為S敏感質(zhì)量塊,與上、下固定電極構(gòu)成差分電容。

  當(dāng)外部加速度為0時,質(zhì)量塊位于中間平衡位置,與上、下極板間的原始距離均為d0,塊-板間電容C1=C2=C0=0S/d0;當(dāng)有加速度作用于加速度計時,敏感質(zhì)量塊偏離平衡位置,產(chǎn)生位移?駐d,C1≠C2。假設(shè)產(chǎn)生向上的位移,則有:

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  由于結(jié)構(gòu)應(yīng)力和靜電力反饋,質(zhì)量塊位移較小,?駐d遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于d0,忽略高次項(xiàng)可得:

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  通過式(3)檢測出差分電容C,就可得到加速度信號的大小和方向。

  為檢測加速度,通常在上、下固定極板上分別施加互補(bǔ)(相位相差180°)的高頻方波信號VS,Vout1、Vout2分別表示上、下極板與M間的輸出信號,綜合以上幾個公式,可得知上、下極板間輸出的交流感應(yīng)信號Vout:

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  接口電路將敏感質(zhì)量塊上的交流電壓信號放大,經(jīng)解調(diào)電路解調(diào)后,由濾波電路輸出一個與加速度一致的電壓信號。

  2 微弱電容信號檢測電路

  本文設(shè)計的微弱電容信號檢測電路的功能框圖如圖2所示。

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  MXT9030是一種高精度的電容-電壓轉(zhuǎn)換電路,對輸入信號可進(jìn)行數(shù)字可編程調(diào)節(jié)與補(bǔ)償。該電路主要用于差分電容傳感器、微機(jī)械壓力傳感器、流體傳感與控制、便攜式傳感器等傳感器應(yīng)用領(lǐng)域。

  MXT9030是一種適用于差分電容傳感器的可編程信號轉(zhuǎn)換器件,模擬信號通道對傳感器信號進(jìn)行放大,并為零位、跨距、零位漂移、跨距漂移和傳感器線性誤差提供數(shù)字校正,通過設(shè)置芯片上的寄存器值實(shí)現(xiàn)。MXT9030的內(nèi)部工作原理圖如圖3所示。

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  從圖3中可以看到,電容CS1、CS2的電荷量依靠C-V轉(zhuǎn)換器進(jìn)行讀出,具體過程是通過發(fā)送方波到C1和C2上作為驅(qū)動,然后讀出從CM中轉(zhuǎn)移出來的電荷量以進(jìn)行下一步處理。引腳REF在默認(rèn)情況下與輸出放大器相連接,產(chǎn)生的VREF作為內(nèi)部參考,它的值必須接近(VDD+VSS)/2。

  具體工作流程如下:MXT9030是基于模擬信號通道并通過數(shù)字控制來實(shí)現(xiàn)電容信號到電壓信號的轉(zhuǎn)換,通過電路中的配置參數(shù)實(shí)現(xiàn)對非線性和偏置等誤差的調(diào)整補(bǔ)償。電容到電壓的轉(zhuǎn)換由兩個階段完成,第一個階段是電容-電壓的轉(zhuǎn)換階段,系統(tǒng)通過對寄存器COFF、CCOMP的設(shè)置來實(shí)現(xiàn)偏置的補(bǔ)償,通過寄存器CNOM、CDEN實(shí)現(xiàn)非線性的補(bǔ)償;第二階段是增益放大階段,其中增益的設(shè)置通過寄存器GAINH,GAINL來控制,并通過對寄存器ROFF的設(shè)置實(shí)現(xiàn)精細(xì)偏置校準(zhǔn)。當(dāng)CS1=CS2時,輸出電壓等于內(nèi)部參考電壓VREF(VOFF為0)。因此可以依據(jù)VOUT-VREF的值來檢測CS1,CS2是否相等。此外,MXT9030提供一個兩線數(shù)字接口用于對其內(nèi)部寄存器的讀與寫。該接口為雙向的,MXT9030總是從屬設(shè)備。SCK引腳用于時鐘,SDA引腳是雙向引腳用于傳輸數(shù)據(jù)。在開始傳輸數(shù)據(jù)之前有一個開始條件(讀和寫命令),即當(dāng)SCK總是高電平時,SDA有一個從高電平到低電平的下降沿。

3 微控制器


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  微控制器選擇的是北京時代民芯科技有限公司的MXT430電路,其原理如圖4所示。微控制器采用低功耗設(shè)計和16位精簡指令結(jié)構(gòu),具有5種低功耗模式;CPU內(nèi)置16位寄存器及常數(shù)發(fā)生器,能夠?qū)崿F(xiàn)最高的代碼效率;鎖頻環(huán) FLL+和數(shù)控振蕩器使得微處理器能在6微秒內(nèi)從低功耗模式快速切換到工作模式;該微控制器配置有兩個內(nèi)置16位定時器、一個比較器、一個SCAN接口模塊、96段LCD驅(qū)動器和48個I/O引腳。

  MXT430可與傳感器構(gòu)成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),捕獲模擬信號并轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號,處理數(shù)字信號并傳送到主系統(tǒng)中。

4 應(yīng)用分析

  本電路輸出電壓與待測電容的關(guān)系為:

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  將傳感器電容值和微控制器配置參數(shù)代入以上公式,即可求出電路的最終輸出。其中,VM為C-V轉(zhuǎn)換后得到的電壓輸出,VOFF為偏置電壓,VREF為參考電壓,CCOMP為非線性補(bǔ)償電容。

  本文搭建的加速度計系統(tǒng)進(jìn)行了兩方面的測試,一是在靜態(tài)條件下,MEMS傳感器受到加速度為0 g,通過改變MXT9030電路的寄存器參數(shù)配置,查看電路輸出值,結(jié)果顯示各配置字有效地調(diào)節(jié)了電路參數(shù),電路功能正常;二是對量程為±60 g的加速度計系統(tǒng)進(jìn)行動態(tài)測試,測試儀器為離心機(jī),在不同加速度條件下測量電路輸出值,然后對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,得到各階系數(shù)及殘差,如表1所示。

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  該實(shí)驗(yàn)表明,MXT9030電路用于電容差分信號檢測,可檢測電容范圍大,可調(diào)整參數(shù)多,能對傳感器誤差進(jìn)行較大程度的補(bǔ)償,而且電路轉(zhuǎn)換精度高,可靠性強(qiáng)。

5 結(jié)論

  本文采用高精度電容讀取電路MXT9030對差分電容信號進(jìn)行檢測,微控制器MXT430對其寄存器進(jìn)行配置,前端為量程±60 g的三明治式電容MEMS加速度傳感器。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,MXT9030電路輸入范圍大,可調(diào)余地廣,性能穩(wěn)定,與電容性MEMS傳感器的適配性強(qiáng)。


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