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國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備:先天不足,后天奮起

2018-11-09
關(guān)鍵詞: 中芯 集成電路 晶圓

中芯國際創(chuàng)始人張汝京對我國集成電路產(chǎn)業(yè)曾有過這樣的點評,“我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展最薄弱的環(huán)節(jié)就是材料和設(shè)備,但這也意味著市場機遇?!苯?jīng)過長期發(fā)展,我國企業(yè)在半導(dǎo)體應(yīng)用、封裝測試領(lǐng)域已發(fā)展到全球領(lǐng)先,擁有了完整的終端產(chǎn)業(yè)鏈,但在產(chǎn)業(yè)鏈前端環(huán)節(jié)非常薄弱。關(guān)于材料以及封裝 ,小編在前文都有提及,感興趣的朋友可以去看一下。這一篇文章,我們將著重來說半導(dǎo)體設(shè)備。

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半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最為重要的一環(huán),是生產(chǎn)部門不可或缺的生產(chǎn)資料。從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中可以看出,無論是上游設(shè)計制造,還是下游封裝測試,幾乎每一個產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)都需要相關(guān)設(shè)備的投入。半導(dǎo)體設(shè)備主要應(yīng)用于IC制造(前端設(shè)備)、IC封測(后道設(shè)備)兩大領(lǐng)域。

其中,IC制造設(shè)備又包括晶圓制造設(shè)備和晶圓加工設(shè)備。其中晶圓制造設(shè)備主要由硅片廠(如SUMCO、金瑞泓、上海新昇)進(jìn)行采購,最終產(chǎn)品為硅片;晶圓加工設(shè)備主要由代工廠(Foundry,如臺積電、中芯國際、上海長虹)或IDM企業(yè)(如Intel、Samsung)進(jìn)行采購,最終產(chǎn)品為芯片;IC封測設(shè)備通常由專門的封測廠(如日月光、Amkor、長電科技)進(jìn)行采購,包括揀選、測試、貼片、鍵合等多個環(huán)節(jié)。

半導(dǎo)體設(shè)備格局一覽

據(jù)Gartner統(tǒng)計,全球規(guī)模以上晶圓制造設(shè)備商共計58家,其中日本的企業(yè)最多,達(dá)到 21 家,占36%,其次是歐洲13家、北美10家、韓國7家,而中國大陸僅4家,分別是上海盛美、上海中微、Mattson(亦莊國投收購)和北方華創(chuàng),占比不到7%。

從半導(dǎo)體設(shè)備需求端來看,近幾年銷售額前三大地區(qū)分別是韓國、中國臺灣和大陸。從半導(dǎo)體設(shè)備銷售額情況看,從2014 年開始,北美半導(dǎo)體設(shè)備投資逐年減少,日本基本維持穩(wěn)定,整個半導(dǎo)體制造的產(chǎn)能轉(zhuǎn)移到了韓國、中國臺灣和大陸三地。另外,從這三個地區(qū)市場份額占比來看,中國大陸買家買下了全球 15%的半導(dǎo)體設(shè)備,市場份額提升了近一倍,且一直處于穩(wěn)步上升的狀態(tài)。

圖:2017全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模(單位:十億美元)

從供給側(cè)來看,半導(dǎo)體設(shè)備是一個高度壟斷的市場。根據(jù)各細(xì)分設(shè)備市場占有率統(tǒng)計數(shù)據(jù),在光刻機、PVD、刻蝕機、氧化/擴散設(shè)備上,前三家設(shè)備商的總市占率都達(dá) 90%以上,而且行業(yè)龍頭都能占據(jù)一半左右的市場,所以,要想在半導(dǎo)體裝備市場中分一杯羹,就必須在細(xì)分領(lǐng)域能夠做到全球前三。

美國處于領(lǐng)先地位

來自SEMI的最新數(shù)據(jù)顯示,北美半導(dǎo)體設(shè)備制造商3月出貨金額為24.2億美元,比2月微增0.4%,年增16.7%,創(chuàng)17年來新高。這主要得益于近兩年內(nèi)存及晶圓代工投資持續(xù)帶動。

美國半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展起源于二戰(zhàn)后期,由于軍用計算機的帶動,造就了最初的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),在之后的二三十年中,美國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)步發(fā)展,奠定了其半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的堅實基礎(chǔ)。

來自北美的設(shè)備商主要包括:應(yīng)用材料,泰瑞達(dá)、Axcelis Technologies,KLA-Tencor,Lam Research,Kulicke & Soffa、Nanometrics,Rave,Rudolph Technologies,Ultratech,Ushio等。

雖然在所有半導(dǎo)體設(shè)備廠商和市場中,美國跟隨在日本和歐洲之后,處于第三的位置。但就晶圓處理設(shè)備而言,其實力非常強勁,在全球晶圓處理設(shè)備供應(yīng)商前5名中,美國就占據(jù)了3席,分別是排名第一的應(yīng)用材料(AMAT),市占率19%左右;第二的Lam Research,市占率13%左右;以及排名第5的KLA-Tencor,市占率6%左右。

具體而言,晶圓處理設(shè)備中,幾個主要工序的設(shè)備也都基本處于行業(yè)龍頭的高度壟斷之中。其中,在PVD領(lǐng)域,應(yīng)用材料公司占據(jù)了近 85%的市場份額,CVD占30%;刻蝕設(shè)備方面,Lam Research最多,市占率達(dá)53%,而KLA-Tencor在半導(dǎo)體光學(xué)檢測領(lǐng)域,全球市占居冠。在各個領(lǐng)域中,前三大巨頭的市場份額相加均超過70%,整個市場呈現(xiàn)強者恒強、高度壟斷的狀態(tài)。

應(yīng)用材料可以說是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司了,產(chǎn)品橫跨CVD、 PVD、刻蝕、CMP、RTP等除光刻機外的幾乎所有半導(dǎo)體設(shè)備。應(yīng)用材料2017財年營收為145.3億美元,其中,半導(dǎo)體設(shè)備收入95.2億美元。

半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)技術(shù)壁壘非常高,隨著制程越來越先進(jìn),對半導(dǎo)體設(shè)備的性能和穩(wěn)定性提出了越來越高的要求,需要投入大量的研發(fā)資金。應(yīng)用材料公司一直保持著在研發(fā)上的高投入,其30%的員工為專業(yè)研發(fā)人員,擁有近12000 項專利,平均每天申請4個以上的新專利。正是這種持續(xù)的高研發(fā)投入,促成了應(yīng)用材料的內(nèi)部創(chuàng)新,構(gòu)成了較高的技術(shù)壁壘,使其自1992年以來一直保持著世界最大半導(dǎo)體設(shè)備公司的地位。

中國市場現(xiàn)狀

據(jù)Semi預(yù)測,2018年中國的設(shè)備銷售增長率將創(chuàng)新高,為49.3%,達(dá)到113億美元,中國大陸將緊隨韓國,成為世界第二大半導(dǎo)體設(shè)備需求市場。

圖:中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模(單位:十億美元)

2017~2020年,中國大陸將有26座新晶圓廠投產(chǎn),成為全球新建晶圓廠最積極的地區(qū),整個投資計劃占全球新建晶圓廠高達(dá) 42%,成為全球新建投資最大的地區(qū)。目前,中國12英寸晶圓廠共有22座,其中在建11座,規(guī)劃中1座;8英寸晶圓廠18座,其中在建5座。

在這樣大興土木的行業(yè)背景下,對半導(dǎo)體設(shè)備的需求和投資必然巨大。粗略計算,已經(jīng)公布的半導(dǎo)體產(chǎn)線投資金額將超過1000億美元。按照行業(yè)規(guī)律,在總投資中80%用于設(shè)備投資,從而可計算出設(shè)備投資額為800 億美元。

在晶圓廠設(shè)備構(gòu)成中,光刻機占比最大,占39%,其次是沉積設(shè)備,占比為 24%,刻蝕設(shè)備第三,占比為14%,材料制備占比8%,表面處理設(shè)備和安裝設(shè)備分別占比2%,其他設(shè)備占比11%。

據(jù)此,可以計算出,2017-2019年國內(nèi)集成電路光刻設(shè)備市場空間為312億美元,沉積設(shè)備市場空間為192億美元,刻蝕設(shè)備市場空間為112億美元,材料制備設(shè)備市場空間為64億美元。

我國與先進(jìn)國際水平相比仍然存在較大差距
未來幾年,我國對半導(dǎo)體設(shè)備的需求量巨大。中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)雖然在近年內(nèi)呈現(xiàn)出了高增長態(tài)勢,但是畢竟發(fā)展時間有限,與美、日等國家比起來還是存在明顯差距。

2008 年之前我國半導(dǎo)體設(shè)備基本全靠進(jìn)口,因此國家設(shè)立了國家科技重大專項——極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝科技項目(簡稱 02專項)研發(fā)國產(chǎn)化設(shè)備。但是,由于設(shè)備制造對技術(shù)和資金需求要求比較高,只有北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、上海微電子等少數(shù)重點企業(yè)能夠承擔(dān) 02專項研發(fā)工作,整個行業(yè)集中度相對較高。

雖然在02專項的支持下,我國半導(dǎo)體設(shè)備實現(xiàn)了從無到有,但相比國內(nèi)龐大的市場規(guī)模而言,自給率不足15%。

即使在發(fā)展水平相對較高的 IC 封裝測試領(lǐng)域,我國與先進(jìn)國際水平相比仍然存在較大差距。尤其是單晶爐、氧化爐、 CVD 設(shè)備、磁控濺射鍍膜設(shè)備、 CMP 設(shè)備、光刻機、涂布/顯影設(shè)備、 ICP 等離子體刻蝕系統(tǒng)、探針臺等設(shè)備市場幾乎被國外企業(yè)所占據(jù)。

我國本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)不算少,但總體不強,銷售額占比在國內(nèi)市場還不足15%,在國際市場幾乎為 0。究其原因,還是技術(shù)上的落后。

目前,國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備處于局部有所突破,但整體較為落后的狀態(tài)。尤其與國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭應(yīng)用材料、 ASML、LAM Research、KLA-Tencor等相比,國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備公司的實力仍然偏弱,絕大部分企業(yè)無法達(dá)到國際上已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn)的10nm工藝,部分企業(yè)突破到28nm或14nm工藝,但在使用的穩(wěn)定性上與國際巨頭差距較大,較難大批量進(jìn)入量產(chǎn)線,也較難進(jìn)入國際代工巨頭的生產(chǎn)線。

雖然我國整體上與國際領(lǐng)先水平存在一定的差距,但也不乏表現(xiàn)相對突出的設(shè)備企業(yè),如設(shè)備制造龍頭北方華創(chuàng)、在刻蝕機領(lǐng)域做出突破的中微半導(dǎo)體、封測領(lǐng)域龍頭長川科技、從事高純工藝系統(tǒng)的至純科技以及國內(nèi)單晶生長設(shè)備稀缺標(biāo)的晶盛機電等。

國內(nèi)半導(dǎo)體知名廠商

北方華創(chuàng)

作為國內(nèi)上市設(shè)備公司龍頭,涉及半導(dǎo)體設(shè)備、真空設(shè)備、鋰電設(shè)備和電子元器件等四大類產(chǎn)品,半導(dǎo)體設(shè)備覆蓋等離子刻蝕設(shè)備、PVD、CVD、氧化爐等生產(chǎn)線核心設(shè)備。北方華創(chuàng)的28nm PVD設(shè)備已中芯國際生產(chǎn)線投入使用,在14nm制程的刻蝕、退火和CVD的設(shè)備也已進(jìn)入工藝驗證階段,深度受益建廠潮。

中微半導(dǎo)體

于2004年由尹志堯博士代領(lǐng)的海歸人才創(chuàng)辦,尹志堯博士曾在美國應(yīng)用材料公司任職13年,專注于等離子體刻蝕設(shè)備的研發(fā)。中微是國內(nèi)技術(shù)最領(lǐng)先的高端芯片設(shè)備企業(yè),也是國家大基金成立后投資的首個企業(yè)。其推出的芯片介質(zhì)刻蝕設(shè)備已打入全球頂級企業(yè)臺積電的7nm、10nm量產(chǎn)線,并占據(jù)了中芯國際50%以上的新增采購額。2015年,美國商務(wù)部更因中微作提供的“有相當(dāng)數(shù)量和同等質(zhì)量”的刻蝕機產(chǎn)品,取消對華出口刻蝕設(shè)備的限制。公司未來將有望達(dá)成跳躍式增長,并有朝一日成長為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一把利劍。

長川科技

始終專注于半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域,主要產(chǎn)品包括檢測機和分選機,主要客戶包括華天科技、長電科技、士蘭微等封測與制造企業(yè),并受到國家大基金入股,封測設(shè)備龍頭地位得到認(rèn)可。公司已經(jīng)掌握了高精度電壓電流源控制測量技術(shù)、大電流電源高能脈沖控制與測試技術(shù)等核心技術(shù),擁有著能與歐美抗衡的技術(shù)水平。公司2017年營收1.80億,同比增長44.86%,歸母凈利潤5,096萬,同比增長23.05%,且具有資本平臺價值,值得重點關(guān)注。

盛美半導(dǎo)體

最初成立于美國硅谷的盛美半導(dǎo)體,在2007年引進(jìn)國內(nèi)落地張江,主要生產(chǎn)清洗設(shè)備、鍍銅設(shè)備等產(chǎn)品,其掌握的超聲波清洗技術(shù)克服了芯片制程發(fā)展所帶來的工藝?yán)щy,產(chǎn)品進(jìn)入了中芯國際、韓國海力士等知名半導(dǎo)體制造廠商,并獲得了“02專項”的扶持。盛美于當(dāng)?shù)貢r間2017年11月3日在納斯達(dá)克IPO上市,成為國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)軍海外市場的一員。

沈陽拓荊

成立于2010年,是由海外技術(shù)專家于2010年4月組建的高新技術(shù)企業(yè),致力于研究和生產(chǎn)世界領(lǐng)先的極大規(guī)模集成電路行業(yè)專用薄膜設(shè)備,公司已形成12英寸PECVD、ALD、3D NAND三大系列產(chǎn)品,并且先后兩次承擔(dān)國家科技重大專項,獲得國家大基金大力支持。2013年,公司12英寸PECVD通過中芯國際產(chǎn)品線測試,2017年10月,拓荊設(shè)備在北京中芯國際量產(chǎn)突破百萬MOVE。公司產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)基地基地最大產(chǎn)能可達(dá)350套設(shè)備,年產(chǎn)值約50億元。

國際知名廠商

一、應(yīng)用材料

按維基百科,應(yīng)用材料公司是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備和服務(wù)供應(yīng)商。應(yīng)用材料公司創(chuàng)建于1967年,公司總部位于美國加利福尼亞州圣克拉拉。應(yīng)用材料公司1984年進(jìn)入中國,目前在上海,北京,天津,蘇州,無錫等地有辦事處或倉庫,在西安設(shè)有太陽能開發(fā)中心。

應(yīng)用材料公司的主要產(chǎn)品為芯片制造相關(guān)類產(chǎn)品,例如原子層沉積,物理氣相沉積,化學(xué)氣相沉積,電鍍,侵蝕,離子注入,快速熱處理,化學(xué)機械拋光,測量學(xué)和硅片檢測等。應(yīng)用材料公司每年的研究經(jīng)費達(dá)到約10億美元。

二、ASML

阿斯麥公司(臺譯:艾司摩爾控股公司)ASML Holding NV(NASDAQ:ASML、Euronext:ASML)創(chuàng)立于1984年,前稱ASM Lithography Holding N.V.,于2001年改為現(xiàn)用名,是一家半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計、制造及銷售公司。

公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備的設(shè)計、制造及銷售,ASML公司主要專精于晶片制造微縮影設(shè)備之設(shè)計制造與整合,積體電路生產(chǎn)流程中,其關(guān)鍵的制程技術(shù)則是微縮影(lithography)技術(shù)將電路圖影像投射在晶片上之曝光。業(yè)務(wù)范圍遍及全球,生產(chǎn)與研發(fā)單位則分別位于美國康乃狄克州、加州,臺灣以及荷蘭。

阿斯麥公司在世界14個國家和地區(qū)有50個子公司和生產(chǎn)據(jù)點,主要產(chǎn)品是用來生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備光刻機,在世界同類產(chǎn)品中有90%的市占率。

三、Tokyo Electron

東京電子 ( Tokyo Electron ,8035.JP)成立于1963年,為全球第三大半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商,提供給半導(dǎo)體與平面顯示器產(chǎn)業(yè)。

半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,包括涂布機、電漿蝕刻系統(tǒng)、熱加工系統(tǒng)、單晶片沉積系統(tǒng)、清洗系統(tǒng),用于晶圓生產(chǎn)流程,還提供晶圓探針系統(tǒng)。平板顯示器生產(chǎn)設(shè)備,包括平面顯示鍍膜機、平面電漿蝕刻,及電漿體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)用于薄膜矽太陽能電池。

四、Lam Research

Lam Research Corporation成立于1980年,總部位于美國加州,是一家向全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供晶圓制造設(shè)備和服務(wù)的供應(yīng)商。

公司主要設(shè)計、制造、行銷、維修及服務(wù)使用于積體電路制造的半導(dǎo)體處理設(shè)備,此外,還提供單晶圓清潔技術(shù)的多樣組合。

五、KLA-Tencor

科磊半導(dǎo)體(或:科天半導(dǎo)體、美商科磊股份有限公司)KLA-Tencor Corporation(NASDAQ:KLAC)創(chuàng)立于1975年,總部位于美國加州米爾皮塔斯,全職雇員5,880人,是全球前十大IC設(shè)備生產(chǎn)廠商,擁有晶圓檢測與光罩檢測系統(tǒng)。

KLA-Tencor Corporation是一家從事半導(dǎo)體及相關(guān)納米電子產(chǎn)業(yè)的設(shè)計、制造及行銷制程控制和良率管理解決方案商,其產(chǎn)品包括晶片制造、晶圓制造、光罩制造、互補式金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)和圖像感應(yīng)器制造、太陽能制造、LED制造,資料儲存媒體/讀寫頭制造、微電子機械系統(tǒng)制造及通用/實驗室應(yīng)用等。

此外,科磊半導(dǎo)體公司還提供翻新的KLA-Tencor工具,連同其KT認(rèn)證計畫予客戶制造更大的設(shè)計規(guī)則裝置及產(chǎn)品支援服務(wù)。公司產(chǎn)品應(yīng)用于許多其他行業(yè),包括LED,資料儲存和太陽能等產(chǎn)業(yè),以及一般材料的研究。

六、DNS(Dainippon Screen,迪恩仕)

SCREEN 集團專職研究開發(fā)各項半導(dǎo)體設(shè)備、液晶生產(chǎn)設(shè)備及專業(yè)級印刷設(shè)備,其集團公司包含全世界共有數(shù)十個服務(wù)據(jù)點,足跡遍及臺灣、日本、美國、歐洲、中國大陸、韓國、新加坡等地。

迪恩仕總部位于日本。從印前、印刷及相關(guān)設(shè)備到電子產(chǎn)業(yè),迪恩士已在各個領(lǐng)域擴大了其業(yè)務(wù)范圍。 在“發(fā)展思路”的公司的原則指導(dǎo)下,以核心圖像處理技術(shù)為杠桿,不斷努力開創(chuàng)著新的業(yè)務(wù)和產(chǎn)品。

迪恩仕現(xiàn)在正在發(fā)展和生產(chǎn)印刷領(lǐng)域及世界領(lǐng)先的高科技領(lǐng)域的印刷技術(shù)數(shù)字化設(shè)備,如電子領(lǐng)域的半導(dǎo)體制造設(shè)備,F(xiàn)PDs (平板顯示器)和印刷電路板。

迪恩仕科技提供各領(lǐng)域之半導(dǎo)體晶圓設(shè)備,包含洗凈、蝕刻、顯影/涂布等制程用途,其中洗凈設(shè)備于半導(dǎo)體業(yè)界具有極高之市占率,同時隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)進(jìn)步不斷推陳出新設(shè)備產(chǎn)品。

七、Advantest

ADVANTEST公司1954年成立于日本東京,主要從事大規(guī)模集成電路自動測試設(shè)備及電子測量儀器的研發(fā)、制造、銷售和服務(wù)。

半個多世紀(jì)以來,公司憑借其優(yōu)秀的經(jīng)營理念和尖端的技術(shù),已成為全球最大的集成電力自動測試設(shè)備供應(yīng)商之一,并在美國、歐洲、亞洲成立了多個子公司,就近向半導(dǎo)體行業(yè)提供完善的整體解決方案,及一流的售后服務(wù)。

ADVANTEST公司的產(chǎn)品主要分為集成電路自動測試設(shè)備和電子測量儀器兩大部分。集成電路自動測試設(shè)備的產(chǎn)品包裹SoC測試系統(tǒng)、Memory測試系統(tǒng)、混合信號測試系統(tǒng)、LCD Driver測試系統(tǒng)、動態(tài)機械手等; 電子測量儀器產(chǎn)品則包括頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀等。近二十年來,作為半導(dǎo)體測試設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè),ADVANTEST公司的產(chǎn)品銷售額和市場占有率在全球同行業(yè)中的排名一直數(shù)一數(shù)二,并在近幾年ATE測試設(shè)備的市場份額最新排名中依然榮居榜首。

八、Teradyne

美商泰瑞達(dá)Teradyne, Inc.(NYSE:TER)創(chuàng)立于1960年,總部位于美國馬薩諸塞州North Reading,全職雇員3,900人,是一家生產(chǎn)電子與通訊產(chǎn)品所需的自動化測試器材與相關(guān)軟件的自動測試設(shè)備公司。

美商泰瑞達(dá)(Teradyne)是一家自動測試機臺的制造商(Automatic Test Equipment,ATE),產(chǎn)品包括半導(dǎo)體測試系統(tǒng)、電路板與電話線與網(wǎng)路所需的軟件,2005年,泰瑞達(dá)公司在系統(tǒng)整合芯片的元件測試市場中,市占率最高。

國內(nèi)外知名企業(yè)如Motorola, Philips Semiconductor, Texas Instrument, Cisco, 3Com,中芯國際,ChipPac, 華為,貝嶺等皆為公司客戶。

九、Hitachi High-Technologies

日立全球先端科技(HHT,8036.JP)為全球半導(dǎo)體設(shè)備大廠。主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體設(shè)備、電子顯微鏡、液晶面板相關(guān)設(shè)備,F(xiàn)PD設(shè)備包括包括Array、Cell、Module、彩色濾光片之制程設(shè)備,包含玻璃基板表面檢查設(shè)備、曝光機、濕制程設(shè)備..等及醫(yī)療分析設(shè)備。

公司還提供鋼制品、非鐵金屬產(chǎn)品、綜合性樹脂產(chǎn)品、光通訊材料、石油化學(xué)產(chǎn)品等工業(yè)材料。

十、尼康

Nikon (7731.JP)成立于1917年,是總部設(shè)在日本東京,主要分四個事業(yè)領(lǐng)域,分別精密設(shè)備公司、映像公司、儀器公司及其他(包括CMP裝置事業(yè)、測量機事業(yè)、望遠(yuǎn)鏡事業(yè)等)。

精密設(shè)備事業(yè)部是提供積體電路曝光機和掃描儀,用于在大規(guī)模積體電路制造;影像產(chǎn)品事業(yè)部提供的數(shù)位相機、膠卷相機及零件,包括可互換鏡頭、閃光燈、膠片掃描儀等;儀器事業(yè)部提供顯微鏡、測量儀器、半導(dǎo)體檢測設(shè)備。 其他還有提供運動光學(xué)產(chǎn)品,如望遠(yuǎn)鏡、單筒/雙筒望遠(yuǎn)鏡、雷射測距儀等。


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