近日，有韓媒報(bào)道，中芯國際董事長周子學(xué)日前在韓國訪問時(shí)表示，ASML與中芯國際之間的光刻機(jī)供應(yīng)問題已解決。對(duì)此，中芯國際發(fā)布官方聲明表示，韓媒發(fā)布涉EUV報(bào)道違背事實(shí)，純屬捏造。
圖片源自中芯國際
中芯國際官方聲明：
近日，《BusinessKorea》等韓國媒體發(fā)布報(bào)道，“引用”中芯國際董事長周子學(xué)博士在韓國參會(huì)時(shí)對(duì)EUV（極紫外光刻機(jī)）事宜的表態(tài)。中芯國際對(duì)此鄭重聲明，此類報(bào)道違背事實(shí)，純屬捏造。周董事長僅參加了本月“中韓工商領(lǐng)袖和前高官對(duì)話”內(nèi)部會(huì)議環(huán)節(jié)，期間并未接受任何媒體采訪，在發(fā)言中也從未提及EUV事宜。
對(duì)于杜撰及傳播謠言的媒體和個(gè)人，公司表示強(qiáng)烈譴責(zé)，將保留訴諸法律追責(zé)的權(quán)利。
特此聲明。
中芯國際集成電路制造有限公司
2019年12月9日
ASML斷供中芯國際問題難解
就在上個(gè)月，業(yè)界就收到了荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商ASML將暫時(shí)停止向中芯國際供應(yīng)EUV（極紫外光刻機(jī)）的消息。
作為世界上最重要的半導(dǎo)體供應(yīng)商，ASML生產(chǎn)的光刻機(jī)是芯片制造過程中最重要的設(shè)備之一，目前全世界主要的光刻機(jī)均為ASML獨(dú)家研發(fā)，在市場(chǎng)上無法找到其他替代品。
光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，它的作用是掃描曝光芯片晶圓，刻蝕集成電路。光刻機(jī)精度越高，就能生產(chǎn)出尺寸更小、功能更強(qiáng)大的芯片。而EUV（極紫外光刻機(jī)），則是以波長為10－14納米的極紫外光作為光源的光刻技術(shù)，對(duì)材料進(jìn)行加工的高級(jí)光刻機(jī)。尤其是尺寸小于5納米的芯片晶圓，只能用EUV（極紫外光刻機(jī)）生產(chǎn)?？梢哉f，極紫外線光刻機(jī)是芯片生產(chǎn)工具，是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，對(duì)芯片工藝有著決定性的影響。
在業(yè)界爆出ASML斷供中芯國際一事時(shí)，有消息稱是因?yàn)楣饪虣C(jī)牽涉到全球最高端工藝芯片技術(shù)的生產(chǎn)，因此需要拿到政府發(fā)放的出口執(zhí)照和核準(zhǔn)，而公司在2019年7月之前就已經(jīng)提出申請(qǐng)，但出口執(zhí)照一直未發(fā)放從而被動(dòng)的導(dǎo)致無法將EUV（極紫外光刻機(jī)）準(zhǔn)時(shí)交付給中芯國際，同時(shí)還強(qiáng)調(diào)無法確定具體的交付時(shí)稱。
對(duì)此，業(yè)內(nèi)有消息人士透露：“ASML是為了避免因供應(yīng)最先端設(shè)備給中國、因而刺激到美國，因此決定暫時(shí)中止交貨”。消息人士還補(bǔ)充表示：“但與此同時(shí)，ASML不想讓中國客戶感到不安，因?yàn)槟抢锸瞧湓鲩L最快的市場(chǎng)。”
高端芯片研發(fā)被“卡脖子”
斷供一事對(duì)中芯國際來說無疑是損失巨大。早在2018年中芯國際就宣布以1．2億美元向ASML訂購了EUV（極紫外光刻機(jī)），為其研發(fā)7nm以下工藝做準(zhǔn)備，原本預(yù)計(jì)2019年交付，如今接近年底也遲遲未見光刻機(jī)的蹤影。
據(jù)悉，目前中芯國際以9nm的量產(chǎn)為主，大部分集中在中低端芯片領(lǐng)域。隨著高端芯片技術(shù)的崛起，芯片尺寸逐漸進(jìn)入7nm時(shí)代。在7nm 及以下制程中，EUV光刻機(jī)是最重要的生產(chǎn)設(shè)備。ASML 延遲交付EUV光刻機(jī)，將對(duì)中芯國際先進(jìn)制程的研發(fā)造成重大影響。
目前，全球知名半導(dǎo)體廠商中，三星、臺(tái)積電、格羅方德、聯(lián)電都已經(jīng)從ASML購買到了光刻機(jī)設(shè)備。在芯片研發(fā)工藝上，臺(tái)積電的7nm工藝已經(jīng)成熟且被許多廠商采用，5nm工藝也進(jìn)入量產(chǎn)階段，最快將于2020年第一季度量產(chǎn)，臺(tái)積電還開始了3nm工藝的研發(fā)進(jìn)程，甚至計(jì)劃在2024年實(shí)現(xiàn)2nm工藝的量產(chǎn)。而三星的進(jìn)展同樣迅速，不僅開始了7nm芯片的量產(chǎn)，在近日曝光的三星芯片代工計(jì)劃中，5nm／4nm工藝芯片都將接踵而至。斷供事件會(huì)嚴(yán)重影響中芯國際高端芯片進(jìn)程，追趕三星臺(tái)積電的難度也會(huì)加大。
在ASML去年的營收占比中，中韓兩國的市場(chǎng)份額超過一半。中國市場(chǎng)占據(jù)了ASML將近20％的營收，僅次于韓國市場(chǎng)的35％，美國市場(chǎng)占據(jù)了ASML營收的16％。隨著國內(nèi)芯片廠商群體的日益壯大，ASML定然也不想失去這龐大的中國市場(chǎng)。如今，雖然我國芯片研發(fā)制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展雖快，但與世界尖端還有著一定的距離，尤其是在核心設(shè)備環(huán)節(jié)任重而道遠(yuǎn)。