三星電子副會長李在镕(Lee Jae-yong)今年10月出訪歐洲、拜會艾司摩爾(ASML)執(zhí)行長Peter Wennink等人后,傳出Wennink也禮尚往來,于上周訪問三星,希望能促成極紫外光(EUV)光刻機的合作案。
Business Korea 12月1日報道,Wennink 等ASML 高層上周訪問了三星半導(dǎo)體廠,討論EUV 光刻設(shè)備的供給與發(fā)展合作案。業(yè)界內(nèi)部人士相信,三星要求ASML 供應(yīng)更多EUV 光刻設(shè)備,雙方并討論開發(fā)新一代EUV 設(shè)備的合作事宜。
身為全球唯一一家EUV 設(shè)備制造商的ASML,目前對臺積電的供貨量高于三星。三星希望跟ASML 合組科技聯(lián)盟,取得更多新一代EUV 光刻設(shè)備。ASML 也有跟三星投資合作的必要,因為新一代EUV 設(shè)備需要大量研發(fā)資金。
三星希望投資高數(shù)值孔徑(high-numerical aperture,High-Na)EUV 設(shè)備的開發(fā)案,這種設(shè)備可改善半導(dǎo)體微制程所需的電路解析度,一臺設(shè)備要價4.5億美元(接近30億元人民幣),是目前款式的2-3 倍。ASML 計劃2023 年年中推出設(shè)備原型,三星希望趕在臺積電之前取得設(shè)備,爭取技術(shù)領(lǐng)先。
不過,三星一名內(nèi)部人士透露,雙方并未在會議上達(dá)成投資決定。ASML 高層只是應(yīng)李在镕10 月份的邀請前來三星訪問。ASML 高層也拜訪SK 海力士(SK Hynix)總裁李錫熙(Lee Seok-hee),消息顯示他們討論了要如何擴大供應(yīng)EUV 設(shè)備、促進(jìn)合作。