晶圓代工龍頭臺積電位于南科的3 納米新廠于去年11 月底上梁,締造另一個(gè)先進(jìn)制程里程碑。設(shè)備供應(yīng)鏈近日透露,臺積電3 納米新廠規(guī)劃在今年7~8 月開廠,相關(guān)供應(yīng)商須在今年中以前備妥機(jī)臺、準(zhǔn)備進(jìn)機(jī),供應(yīng)鏈透露,3 納米于試產(chǎn)階段(2021 下半年)即有約一個(gè)月2 萬至3 萬片,量產(chǎn)首年平均月產(chǎn)能約5.5 萬片,到了2023 年以后,將達(dá)到10.5 萬片。
根據(jù)臺積電先前表示,3 納米預(yù)計(jì)2022 下半年量產(chǎn),當(dāng)年產(chǎn)能預(yù)估將超過60 萬片12 吋晶圓。供應(yīng)鏈透露,目前3 納米準(zhǔn)備離開RD 階段、進(jìn)入mini-line,一如往常,將由蘋果搶下頭香,臺積電也火力全開大力支持。而AMD也有望隨后跟上,且英特爾也有合作方案在進(jìn)行。
供應(yīng)鏈亦透露,3 納米制程將依循7 納米(7 納米、7 納米加強(qiáng)版、6 納米)、5 納米(5 納米、5 納米加強(qiáng)版、4 納米)的「家族模式」,客戶在同一制程節(jié)點(diǎn)可沿用既有設(shè)計(jì)基礎(chǔ)架構(gòu),達(dá)到100% 的IP 兼容,可加速產(chǎn)品創(chuàng)新及上市速度。目前臺積電也在規(guī)劃2.5 納米(或稱3+)制程,推估2023下半年量產(chǎn)。
業(yè)界人士表示,3 納米對臺韓晶圓代工雙雄來說是關(guān)鍵一役,兩強(qiáng)戰(zhàn)術(shù)大不相同。三星將直接采用GAA(環(huán)繞式閘極結(jié)構(gòu)),而臺積電3 納米則選擇沿用FINFET(鰭式場效應(yīng)晶體管)架構(gòu),到了2 納米才導(dǎo)入GAA技術(shù)為基礎(chǔ)的MBCFET 架構(gòu),他認(rèn)為,在既有架構(gòu)上求突破,以減少制程變動(dòng),相對具備成本效益。
他進(jìn)一步指出,3 納米雖然沿用FINFET,但技術(shù)層次、投資金額均較過去高出許多,挑戰(zhàn)也不小,因此臺積電在產(chǎn)能規(guī)劃也比5納米更為積極,除反映出大客戶需求旺盛外,也希望客戶可以在3 納米世代停留久一些,為下一代2 納米做好充足準(zhǔn)備。
此外管競爭對手三星在努力完善流程,試圖追趕臺積電,但鑒于目前臺積電已經(jīng)很好的掌握了EUV并取得了良好的進(jìn)展,這種趨勢在可預(yù)見的未來不太可能改變。(參考閱讀:同樣的EUV光刻機(jī),為什么只有臺積電能實(shí)現(xiàn)高量產(chǎn)?獨(dú)門絕技:一萬片晶圓落塵數(shù)只有幾顆?。?/p>
業(yè)內(nèi)消息人士指出,臺積電目前提供的5nm制程之后的大規(guī)模制程的生產(chǎn)路線圖被認(rèn)為如下:(注:在5nm +和3nm之間,計(jì)劃插入4nm工藝,作為第三代5nm工藝,但是批量生產(chǎn)時(shí)間未知。)
5nm:2020年開始量產(chǎn)(在臺南最先進(jìn)的“ Fab 18”工廠生產(chǎn))
5nm+:計(jì)劃于2021年開始批量生產(chǎn)
3nm:計(jì)劃于2022年開始批量生產(chǎn)(臺南工廠建成,設(shè)備于2021年投入生產(chǎn),風(fēng)險(xiǎn)生產(chǎn)計(jì)劃開始)
3nm+:計(jì)劃于2023年開始批量生產(chǎn)
2nm:計(jì)劃于2024年開始批量生產(chǎn)(工藝開發(fā),新竹工廠建設(shè),風(fēng)險(xiǎn)生產(chǎn)計(jì)劃于2023年開始)
1nm:正在研發(fā)中(在新竹總部附近,一個(gè)名為“ TSMC的貝爾實(shí)驗(yàn)室”的大型研發(fā)中心正在建設(shè)中。)