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12億美元!中芯與ASML達(dá)成新的設(shè)備采購(gòu)協(xié)議,會(huì)有EUV光刻機(jī)嗎?

2021-03-04
來源:芯智訊
關(guān)鍵詞: 中芯 ASML EUV光刻機(jī)

  3月3日晚間,中芯國(guó)際通過港交所發(fā)布公告,宣布公司已于2021年2月1日,就購(gòu)買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥(ASML)產(chǎn)品與ASML上海公司簽訂了經(jīng)修訂和重述的采購(gòu)協(xié)議,根據(jù)購(gòu)買的ASML產(chǎn)品定價(jià)計(jì)算,該協(xié)議購(gòu)買ASML產(chǎn)品的總代價(jià)約為12億美元(約合人民幣77.6億元)。

  根據(jù)該協(xié)議,中芯國(guó)際將先行向ASML支持30%的預(yù)付款,余款將于產(chǎn)品交付時(shí)支付。

  從采購(gòu)金額來看,12億美金夠買十多臺(tái)先進(jìn)的DUV光刻機(jī),即便是1.2億美金一臺(tái)的EUV光刻機(jī),也能賣個(gè)10臺(tái)左右。

  根據(jù)公告顯示,ASML批量采購(gòu)協(xié)議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長(zhǎng)至從2018年1月1日至2021年12月31日。中芯國(guó)際根據(jù)批量采購(gòu)協(xié)議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間就購(gòu)買用于生產(chǎn)晶圓的ASML產(chǎn)品與ASML集團(tuán)簽訂購(gòu)買單。

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  也就是說,此次的協(xié)議是此前采購(gòu)協(xié)議(2018年1月1日至2020年12月31日)的延長(zhǎng),延長(zhǎng)至2021年12月31日。換句話來說就是,這是一個(gè)覆蓋了2018-2021年三年間的采購(gòu)協(xié)議,并且公告顯示,在2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間,已經(jīng)在執(zhí)行購(gòu)買協(xié)議。

  所以,這個(gè)12億美元的采購(gòu)并不是全新的采購(gòu)訂單,只是之前簽訂的采購(gòu)協(xié)議的延期和重新修改,之前已經(jīng)完成了部分的采購(gòu)。

  而且,這個(gè)采購(gòu)協(xié)議里可能還包含了之前2018年采購(gòu)的那臺(tái)至今未交付的EUV光刻機(jī)的訂單的延期。

  早在2018年5月,中芯國(guó)際就向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)最新型的EUV光刻機(jī),原計(jì)劃在2019年初交付。但是由于美國(guó)方面的阻撓,ASML一直未能收到荷蘭政府頒發(fā)新的許可證,這也導(dǎo)致了ASML一直無法向中芯國(guó)際交付EUV光刻機(jī)。

  不過由于中芯國(guó)際訂購(gòu)的EUV光刻機(jī)遲遲無法拿到許可,該訂單也有可能已經(jīng)取消或替換成了等價(jià)的DUV光刻機(jī),畢竟在美國(guó)的阻撓下,今年年內(nèi)可能還是難以實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)的交付。

  此前,ASML的CFO在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中表示:如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對(duì)AMSL的整體意義,ASML將能夠從荷蘭向中國(guó)客戶(包括中芯國(guó)際)提供DUV光刻系統(tǒng),且無需出口許可證。不過,如果涉及直接從美國(guó)運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng),ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。

  即便中芯國(guó)際未來能夠拿到EUV光刻機(jī),由于美國(guó)的禁令,限制對(duì)于中芯國(guó)際供應(yīng)10nm及以下工藝所需的美系半導(dǎo)體設(shè)備,這也使得中芯難以對(duì)7nm以下制程實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)突破,畢竟半導(dǎo)體生產(chǎn)并不只是靠光刻機(jī)就行的。未來,中芯國(guó)際可能還是要依靠與國(guó)產(chǎn)及非美系設(shè)備廠商在先進(jìn)制程上的協(xié)作來突破。

  

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