王陽(yáng)元,微納電子學(xué)家,中國(guó)科學(xué)院院士?,F(xiàn)任北京大學(xué)教授,北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院首席科學(xué)家,IEEE Life Fellow,IEE Fellow,工業(yè)和信息化部電子科學(xué)技術(shù)委員會(huì)顧問,國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展咨詢委員會(huì)副主任。研究方向?yàn)槲⒓{電子學(xué)的新器件、新工藝技術(shù)和新結(jié)構(gòu)電路。
4月22日,清華大學(xué)官宣正式成立集成電路學(xué)院。新成立的集成電路學(xué)院將瞄準(zhǔn)集成電路“卡脖子”難題,聚焦集成電路學(xué)科前沿,突破關(guān)鍵核心技術(shù),支撐我國(guó)集成電路事業(yè)的自主創(chuàng)新發(fā)展。
當(dāng)前,我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展正處于機(jī)遇與挑戰(zhàn)既同在又都有新變化的歷史時(shí)期,如何抓住機(jī)遇、應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)?
王陽(yáng)元院士在《科技導(dǎo)報(bào)》第3期發(fā)表的《掌握規(guī)律,創(chuàng)新驅(qū)動(dòng),扎實(shí)推進(jìn)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展》一文中指出:首先要清晰地認(rèn)識(shí)集成電路科學(xué)、技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)律,才能有效地利用和配置人、財(cái)、物等各種資源,使其產(chǎn)生最大價(jià)值,在滿足市場(chǎng)需求和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)的博弈中沿著正確的道路高速發(fā)展。
簡(jiǎn)要?dú)v史回顧
初始創(chuàng)業(yè)
20世紀(jì)60年代中期,首塊集成電路誕生,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)開始萌芽。
20世紀(jì)60年代中期至70年代中期是國(guó)外集成電路產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展的時(shí)期,囿于國(guó)外禁運(yùn)環(huán)境和國(guó)內(nèi)文化大革命的環(huán)境所限,我們對(duì)集成電路技術(shù)及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)律認(rèn)識(shí)不足,導(dǎo)致了中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)總體規(guī)模小、技術(shù)水平低。
1975年,第1塊以硅柵N溝道MOS集成電路技術(shù)為主體的1024位MOS動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器在北京大學(xué)研制成功,但在向全國(guó)企業(yè)成果轉(zhuǎn)移時(shí),并未取得理想結(jié)果。
在這一初始創(chuàng)業(yè)階段中,管理部門只對(duì)工廠下達(dá)集成電路生產(chǎn)量(塊數(shù))的指標(biāo),1981年之前并沒有銷售額的統(tǒng)計(jì)。
探索前進(jìn)
20世紀(jì)70年代后期,開始以不同方式對(duì)引進(jìn)國(guó)外的設(shè)備和技術(shù)進(jìn)行初步嘗試。
為了加強(qiáng)對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)導(dǎo),1982年,國(guó)務(wù)院“電子計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集成電路領(lǐng)導(dǎo)小組”成立;1987年,電子工業(yè)部微電子器件局成立。
在各有關(guān)部門的指導(dǎo)下,陸續(xù)實(shí)施了“無錫微電子工程”、“908”工程和“909”工程,集成電路生產(chǎn)技術(shù)從5 μm逐步提升到0.35 μm。
但由于企業(yè)體制、投資、市場(chǎng)以及人才等諸多因素的影響,集成電路銷售額增長(zhǎng)有限,從1981年到1999年,全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)銷售總額僅由1.1億元增長(zhǎng)到79.5億元,不足世界市場(chǎng)的1%。在這18年中,平均每年的銷售額僅增長(zhǎng)4.4億元。
規(guī)范發(fā)展
自2000年起,在改革開放的大環(huán)境中,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)開始步入規(guī)范發(fā)展的軌道。
其標(biāo)志性事件一是2000年6月24日《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路發(fā)展若干政策的通知(國(guó)發(fā)〔2000〕18號(hào))》發(fā)布,二是“中芯國(guó)際”以及一批符合集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)律的企業(yè)陸續(xù)建立。
2003年,《半導(dǎo)體國(guó)際》雜志載文評(píng)價(jià):“中芯國(guó)際把中國(guó)與全球權(quán)威者的差距由原來的4至5代縮小到僅剩1至2代。”
1999—2009年,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)平均每年銷售額增長(zhǎng)103億元,集成電路加工技術(shù)達(dá)到了65 nm。
高速發(fā)展
從2009年起,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)步入高速發(fā)展階段。
2011年1月28日《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)進(jìn)一步鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策的通知(國(guó)發(fā)〔2011〕4號(hào))》的發(fā)布和2014年“國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司”的成立是最重要的驅(qū)動(dòng)力。
同時(shí),《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006—2020年)》中實(shí)施的“核心電子器件、高端通用芯片及基礎(chǔ)軟件產(chǎn)品”專項(xiàng)(01專項(xiàng))和“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(xiàng)(02專項(xiàng))的作用也逐步顯現(xiàn)。
2009—2019年,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)平均每年銷售額增長(zhǎng)645.3億元,是上一個(gè)10年平均增長(zhǎng)額的6.3倍。
2019年,中芯國(guó)際的14 nm加工技術(shù)已經(jīng)投入批量生產(chǎn)。
這10年間,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額的年平均增長(zhǎng)率為21.04%,是同期世界半導(dǎo)體市場(chǎng)年平均增長(zhǎng)率6.18%的3.4倍。
1981—2019年中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展
需說明的是,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額的統(tǒng)計(jì)是設(shè)計(jì)業(yè)、制造業(yè)和封裝業(yè)三業(yè)銷售額的疊加,其中對(duì)集成電路產(chǎn)品銷售額存在重復(fù)統(tǒng)計(jì)的部分;而WSTS統(tǒng)計(jì)的半導(dǎo)體市場(chǎng)僅對(duì)集成電路產(chǎn)品銷售額進(jìn)行統(tǒng)計(jì),且僅限于對(duì)總部所在地企業(yè)銷售的集成電路產(chǎn)品進(jìn)行統(tǒng)計(jì)。
因此,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額不是在世界集成電路市場(chǎng)中真正的“占比”,只是一個(gè)相對(duì)比值。
如果真正按照WSTS的統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)和統(tǒng)計(jì)渠道進(jìn)行統(tǒng)計(jì),即僅對(duì)企業(yè)總部所在地(國(guó)家或地區(qū))的企業(yè)及其產(chǎn)品銷售額進(jìn)行統(tǒng)計(jì),2019年中國(guó)大陸企業(yè)集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額僅占世界市場(chǎng)的5%,是真實(shí)的、與國(guó)際接軌的“占比”。
2019年世界半導(dǎo)體企業(yè)(區(qū)域劃分)銷售額占市場(chǎng)總額的比例 數(shù)據(jù)來源:WSTS
鑒于中國(guó)消費(fèi)和中國(guó)制造對(duì)集成電路的巨大需求,2009年起,中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模超過美洲、歐洲、日本而成為世界第一大市場(chǎng)。
2019年,中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模為1446億美元(實(shí)際消費(fèi)部分),占世界市場(chǎng)的35%。
2019年世界半導(dǎo)體市場(chǎng)的區(qū)域分布 數(shù)據(jù)來源:WSTS
如此巨大的集成電路市場(chǎng),使得中國(guó)進(jìn)口集成電路總額逐年增長(zhǎng),成為進(jìn)口額第一的產(chǎn)品。
中國(guó)集成電路進(jìn)口額 數(shù)據(jù)來源:中國(guó)海關(guān)
2019年,中國(guó)集成電路進(jìn)口額為3055.5億美元,而中國(guó)實(shí)際“消費(fèi)”的集成電路市場(chǎng)額為1446億美元,兩者的差額正是中國(guó)作為第一制造大國(guó)的需求,即1609.5億美元的進(jìn)口集成電路隨著各種整機(jī)電子信息產(chǎn)品又出口到世界各地,并未成為中國(guó)實(shí)際消費(fèi)集成電路市場(chǎng)的組成部分。
現(xiàn)狀與存在的問題
國(guó)際環(huán)境
自2016年美國(guó)政府換屆開始,美國(guó)對(duì)中國(guó)的和平崛起采取了全面的打壓和圍剿政策。
包括在貿(mào)易中高筑關(guān)稅壁壘,在系統(tǒng)層面阻撓中國(guó)5G產(chǎn)品進(jìn)入美國(guó)和其盟友的市場(chǎng),在應(yīng)用層面要求下架抖音(TikTok)和微信(WeChat),在制造層面不允許臺(tái)積電等代工企業(yè)為華為麒麟芯片加工并將中芯國(guó)際列入黑名單,在產(chǎn)品層面斷供高端集成電路(處理器、存儲(chǔ)器),在設(shè)備方面利用“瓦森納協(xié)議”禁止ASML公司向中國(guó)出口EUV設(shè)備等。
這種“美國(guó)優(yōu)先”的思想源于美國(guó)對(duì)世界資源的占有和掠奪。以用電為例,2020年上半年,美國(guó)居民人均每月用電342度(美國(guó)能源署數(shù)據(jù)),而中國(guó)居民人均每月用電為63.5度(國(guó)家統(tǒng)計(jì)局?jǐn)?shù)據(jù))。
美國(guó)前總統(tǒng)奧巴馬于2010年4月15日在白宮接受澳大利亞電視臺(tái)專訪時(shí)說:“如果十幾億的中國(guó)公民有著和澳大利亞和美國(guó)居民一樣的生活方式,那么世界將處于非常悲慘的境地,地球會(huì)無法承受?!?/p>
當(dāng)我們沒有的時(shí)候,對(duì)方封鎖市場(chǎng),讓我們得不到最先進(jìn)的技術(shù)和設(shè)備;當(dāng)我們萌芽的時(shí)候,對(duì)方擠占市場(chǎng),摧毀幼苗,將新技術(shù)、新產(chǎn)品扼殺在搖籃之中;當(dāng)我們強(qiáng)大的時(shí)候,對(duì)方設(shè)立門檻,不允許在世界市場(chǎng)中分一杯羹,不能形成有效的外循環(huán)。
這就是美國(guó)阻遏中國(guó)發(fā)展的邏輯,為此,必須丟掉幻想,唯有自強(qiáng)才能徹底改變被他人制約的命運(yùn)。
美國(guó)對(duì)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的打壓握有兩個(gè)“殺手锏”:一是EDA軟件,二是材料和設(shè)備(特別是EUV曝光機(jī))。
對(duì)付這兩個(gè)“殺手锏”,我們唯有正面迎戰(zhàn),才能撕開封鎖的“鐵幕”,正如毛主席所言:“以斗爭(zhēng)求和平則和平存,以妥協(xié)求和平則和平亡。”
有3個(gè)成功案例佐證:
一是2018年5月上海中微半導(dǎo)體的刻蝕機(jī)進(jìn)入了臺(tái)積電供應(yīng)鏈,美國(guó)馬上放松了對(duì)刻蝕機(jī)的出口控制;
二是MOCVD設(shè)備被全球兩大供應(yīng)商(Axitron、Vecco)壟斷,當(dāng)上海中微半導(dǎo)體將國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備推向市場(chǎng)時(shí),兩大供應(yīng)商將原價(jià)2000萬元人民幣的設(shè)備降價(jià)至600萬元人民幣,妄圖將上海中微半導(dǎo)體擠出國(guó)內(nèi)外市場(chǎng);
三是筆者親身經(jīng)歷的事件,1984年,中法兩國(guó)時(shí)任總理簽署了協(xié)議,中國(guó)采購(gòu)法國(guó)的程控交換機(jī),法國(guó)提供集成電路設(shè)計(jì)工具EDA源程序,而美國(guó)借助“巴黎統(tǒng)籌委員會(huì)”要求禁止法國(guó)出口EDA工具。
在這種形勢(shì)下,中國(guó)決定以在產(chǎn)業(yè)中實(shí)用為指向,以企業(yè)為集中國(guó)內(nèi)人力資源的基地,發(fā)揮舉國(guó)體制的優(yōu)勢(shì)進(jìn)行攻關(guān)。
在攻關(guān)隊(duì)伍的建設(shè)中,引進(jìn)國(guó)外專家為總設(shè)計(jì)師,筆者臨危受命擔(dān)任全國(guó)集成電路計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(ICCAD)專家委員會(huì)主任,以“不破樓蘭終不還”的信念、“咬定青山不放松”的毅力,和全國(guó)118名專家學(xué)者一起開發(fā)出了中國(guó)第1部采用軟件工程方法自行開發(fā)集成的、具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的、功能齊全的大型ICCAD系統(tǒng),并命名為“熊貓系統(tǒng)”。
就在“熊貓系統(tǒng)”獲得國(guó)家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)不久,美國(guó)EDA三巨頭——Cadence、Synopsys、Mentor全都迫不及待地進(jìn)入了中國(guó)市場(chǎng)。
國(guó)內(nèi)環(huán)境
在共產(chǎn)黨的堅(jiān)強(qiáng)領(lǐng)導(dǎo)下,中國(guó)具有舉國(guó)之力辦大事的政治優(yōu)勢(shì),這一點(diǎn)在抗擊新冠病毒流行的“戰(zhàn)疫”中得到充分體現(xiàn)。國(guó)內(nèi)有著良好的發(fā)展集成電路的政治環(huán)境。
黨的第十九屆五中全會(huì)提出,“堅(jiān)定不移建設(shè)制造強(qiáng)國(guó)、質(zhì)量強(qiáng)國(guó)、網(wǎng)絡(luò)強(qiáng)國(guó)、數(shù)字中國(guó)”,“發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)”,“加快數(shù)字化發(fā)展”。
2020年8月4日,國(guó)務(wù)院印發(fā)的《新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》中強(qiáng)調(diào),集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)是信息產(chǎn)業(yè)的核心,是引領(lǐng)新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的關(guān)鍵力量。
為進(jìn)一步優(yōu)化集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境,深化產(chǎn)業(yè)國(guó)際合作,提升產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和發(fā)展質(zhì)量,制定出臺(tái)財(cái)稅、投融資、研究開發(fā)、進(jìn)出口、人才、知識(shí)產(chǎn)權(quán)、市場(chǎng)應(yīng)用、國(guó)際合作等8個(gè)方面政策措施。
進(jìn)一步創(chuàng)新體制機(jī)制,鼓勵(lì)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)發(fā)展,大力培育集成電路領(lǐng)域和軟件領(lǐng)域企業(yè)。
此外,在經(jīng)濟(jì)方面,中國(guó)是世界第二大經(jīng)濟(jì)體,有著可靠的對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的投資能力。
而且中國(guó)現(xiàn)在是世界第一制造大國(guó),有較為完整的生產(chǎn)鏈,有廣泛的能夠融入世界市場(chǎng)的生態(tài)鏈。
在大學(xué)教育方面,增設(shè)了“集成電路科學(xué)與工程”為一級(jí)學(xué)科,擴(kuò)充了培養(yǎng)集成電路科技人才的平臺(tái)。
在“天時(shí)、地利、人和”的環(huán)境下,面對(duì)西方霸凌主義者的挑戰(zhàn),我們有信心、有能力加速發(fā)展中國(guó)的集成電路產(chǎn)業(yè)。
產(chǎn)業(yè)能力
1)設(shè)計(jì)能力
中國(guó)內(nèi)陸的集成電路設(shè)計(jì)業(yè)已經(jīng)超越中國(guó)臺(tái)灣地區(qū),成為全球第二大設(shè)計(jì)業(yè)聚集地,其銷售額占全球集成電路設(shè)計(jì)業(yè)的比重由2004年的3.56%提升到2019年的42.99%。
但是,由于所設(shè)計(jì)產(chǎn)品多為中低檔芯片,因此中國(guó)設(shè)計(jì)業(yè)的產(chǎn)品在2019年全球芯片市場(chǎng)的占比(按價(jià)值計(jì)算)僅為10.3%。
在中國(guó)大陸市場(chǎng)所用的1446億美元的芯片當(dāng)中,國(guó)產(chǎn)芯片的占比僅為29.5%,即逾70%的芯片為國(guó)外產(chǎn)品。
2)制造能力
2019年,中國(guó)擁有4英寸以上晶片集成電路生產(chǎn)線199條,其中12英寸生產(chǎn)線有28條(全球121條),8英寸生產(chǎn)線有35條。
2019年中國(guó)半導(dǎo)體生產(chǎn)線裝機(jī)產(chǎn)能分布數(shù)據(jù)來源:魏少軍在2020全球CEO峰會(huì)上的報(bào)告《人間正道是滄?!P(guān)于大變局下的戰(zhàn)略定力》
2019年,中芯國(guó)際作為中國(guó)最大的代工模式企業(yè),在世界半導(dǎo)體代工市場(chǎng)的占有率為5.1%,營(yíng)收為31.16億美元,在全球排名第5,其營(yíng)收額不足排名第一臺(tái)積電357.74億美元的1/10。
營(yíng)收額中,90 nm工藝以下的占50.7%,65 nm工藝的占27.3%。
中芯國(guó)際14 nm工藝已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)階段,2020年年底,7 nm工藝已完成開發(fā)。2019年,中芯國(guó)際的資本支出為21億美元,約為三星電子資本支出的1/10。
同是代工企業(yè)的華虹半導(dǎo)體公司,2019年在世界半導(dǎo)體代工市場(chǎng)的占有率為1.5%,在全球代工企業(yè)中排名第7,其65/55 nm射頻與BCD特色工藝平臺(tái)達(dá)到世界先進(jìn)水平,14 nm的FinFET工藝已實(shí)現(xiàn)全線貫通。
2019年,武漢長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限公司開始進(jìn)入小批量生產(chǎn)階段;2020年,在128層3D-NAND(快閃存儲(chǔ)器)技術(shù)上取得突破,達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
合肥長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司在2018年進(jìn)入量產(chǎn)階段,產(chǎn)品為19 nm、8 GB的第四代雙倍數(shù)據(jù)速率同步動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DDR4)。
3)封裝能力
中國(guó)封測(cè)企業(yè)的代表是長(zhǎng)電科技、通富微電和天水華天,三者在世界排名中分別為第3、第6和第7。
2019年,長(zhǎng)電科技營(yíng)收額為235.3億元,在世界封測(cè)市場(chǎng)中的占有率為15%。
4)設(shè)備能力
部分刻蝕機(jī)、大部分離子注入機(jī)、擴(kuò)散氧化和清洗設(shè)備可以由國(guó)產(chǎn)設(shè)備供給。
產(chǎn)業(yè)短板
1)高端芯片對(duì)外依存度高。
進(jìn)口微處理器/控制器(占世界半導(dǎo)體產(chǎn)品市場(chǎng)11%)的金額從2014年的1052.2億美元增長(zhǎng)到2019年的1437.7億美元,增加了385.5億美元,增長(zhǎng)比例為36.6%。
進(jìn)口半導(dǎo)體存儲(chǔ)器(占世界半導(dǎo)體產(chǎn)品市場(chǎng)26%)的金額從2014年的542.8億美元增長(zhǎng)到2019年的947.0億美元,增加了404.2億美元,增長(zhǎng)比例為74.5%。
2)高端材料與設(shè)備自給率較低,在40~45 nm節(jié)點(diǎn)接近50%,在28 nm節(jié)點(diǎn)為30%,在7~14 nm節(jié)點(diǎn)僅為5%。
電子氣體及金屬有機(jī)物源(MO)對(duì)外依存度超過80%,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的拋光液國(guó)產(chǎn)化率小于10%,濺射靶材大部分需要進(jìn)口,用于大生產(chǎn)的300mm的硅片至今主要依靠進(jìn)口。
3)EDA軟件尚難以與“三巨頭”抗衡,成系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)EDA軟件市場(chǎng)份額不足5%。
4)缺少能夠在世界市場(chǎng)中獨(dú)樹一幟的IDM型大企業(yè)。
5)人才,尤其是高端的、具有綜合管理能力的人才嚴(yán)重不足。