CINNO Research產(chǎn)業(yè)資訊，住友精密日前研發(fā)出一種薄膜加工技術(shù)，可用于自動駕駛汽車等使用的傳感器（感知器），可制造傳感器性能最大為本公司現(xiàn)有技術(shù)2倍的MEMS（壓電式微機(jī)電系統(tǒng)）。這種薄膜加工技術(shù)在MEMS基板的硅片上生成單晶PZT（鋯鈦酸鋅）薄膜，從而可將壓電薄膜的FOM（性能指數(shù)）提高到行業(yè)最高的40-50范圍。

　　如果能夠大量搭載高性能MEMS，將會極大改善自動駕駛的各種傳感能力，使其操控的安全性和功能得到進(jìn)一步提升。這種通過材料和制造技術(shù)的創(chuàng)新來提高性能和降低成本的方式，可能成為未來創(chuàng)造市場增長的關(guān)鍵。

　　住友精密此次研發(fā)的薄膜加工技術(shù)，其產(chǎn)能按照硅片換算為每年幾百片。從10月開始住友精密將為客戶供應(yīng)樣品，并在2022年4月開始接受訂單。長期計(jì)劃是將產(chǎn)能提高至每年幾千片。

　　壓電式MEMS利用超小型反射鏡進(jìn)行激光照射，搭載有檢測車輛和障礙物之間距離的感知元件等。薄膜對MEMS的性能有很大影響。此類型的MEMS中使用的PZT薄膜通常為多晶薄膜，但此次住友精密研發(fā)出了提高FOM的單晶薄膜技術(shù)。通常PZT薄膜的FOM只有20-30左右。住友精密經(jīng)過3年的內(nèi)部研發(fā)，成功地生成了過去難以制造的具有優(yōu)化晶體結(jié)構(gòu)、無缺陷的單晶結(jié)構(gòu)膜。

　　根據(jù)對薄膜的不同需求，住友精密研發(fā)了將傳感器性能提高至2倍和1.5倍的2種產(chǎn)品。執(zhí)行器（機(jī)械運(yùn)動）的性能與傳感器的性能相反，因此分別降低至0.6倍和0.8倍的最低范圍內(nèi)。住友精密的該項(xiàng)技術(shù)對應(yīng)6英寸和8英寸硅片。雖然成膜的成本將增加至2倍，但將會通過提高生產(chǎn)效率來實(shí)現(xiàn)降低成本的目標(biāo)。這項(xiàng)薄膜加工技術(shù)將被用于自動駕駛汽車傳感器、飛行機(jī)器人（無人機(jī)）、自動導(dǎo)引車（AGV）、高清復(fù)印機(jī)、醫(yī)療用超聲波診斷設(shè)備和高安全性認(rèn)證系統(tǒng)等方面。

　　住友精密針對市場有望實(shí)現(xiàn)MEMS需求增長而持續(xù)開拓市場，計(jì)劃在2024年4月期的一年內(nèi)，將薄膜加工相關(guān)業(yè)務(wù)的銷售額提高到2021年的2.6倍，即13億日元（約人民幣7600萬元）。根據(jù)矢野研究所的數(shù)據(jù)顯示， ADAS（自動駕駛用傳感器）的全球市場銷售額規(guī)模預(yù)計(jì)將在2019年的水平增長1.8倍，在2025年達(dá)到24808億日元（約人民幣1459.38億元）。