近日,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)向上海新陽提問,公司由于研發(fā)euv光刻膠的打算?krf光刻膠何時(shí)批量生產(chǎn)?
上海新陽方面回應(yīng)道:公司KrF光刻膠已有小批量訂單,暫無EUV光刻膠研發(fā)計(jì)劃。
早在今年六月底,上海新陽就發(fā)表了一個(gè)公告。公告指出,上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司(以下簡稱“公司”)自主研發(fā)的KrF(248nm)厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過客戶認(rèn)證,并成功取得第一筆訂單。
按照他們的說法,KrF(248nm)厚膜光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化是公司第三大核心技術(shù)——光 刻技術(shù)的重要方向之一,本次產(chǎn)品認(rèn)證的通過及訂單的取得,標(biāo)志著“KrF(248nm) 厚膜光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”?取得了成功,為公司在光刻技術(shù)領(lǐng)域目標(biāo)的全面完成奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
新陽表示,光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的重要關(guān)鍵材料,廣泛應(yīng)用于350nm-14nm甚至?7nm?技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝。隨著國內(nèi)晶圓廠建設(shè)的不斷增多,以 及國外光刻膠巨頭產(chǎn)能受限,供需緊張,國內(nèi)對(duì)光刻膠產(chǎn)品的需求也將快速增長, 公司光刻膠產(chǎn)品的訂單取得意義重大,將對(duì)公司該類產(chǎn)品的認(rèn)證及銷售產(chǎn)生積極 的作用,有利于公司業(yè)務(wù)的長期發(fā)展。
日本絕對(duì)領(lǐng)導(dǎo)的光刻膠市場
據(jù)智研咨詢統(tǒng)計(jì),2019年全球光刻膠市場規(guī)模預(yù)計(jì)近90億美元,自2010年至今CAGR約5.4%。預(yù)計(jì)該市場未來3年仍將以年均5%的速度增長,至2022年全球光刻膠市場規(guī)模將超過100億美元。
根據(jù)下圖,我們可以了解到低端的g/i-line的占總的半導(dǎo)體光刻膠市場份額31%,高端的KrF、ArF-i光刻膠的市場份額最大,達(dá)到45%,基本是被日本的企業(yè)壟斷,所以讓日本在半導(dǎo)體領(lǐng)域有極大的控制能力。
以 ArF 光刻膠產(chǎn)品為代表的先進(jìn)光刻膠以及工藝的主要技術(shù)和專利都掌握在國外的企業(yè)與研究部門,如日本的信越化學(xué)(Shin-Etsu Chemical)、合 成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)(Sumitomochem)、富士膠片 (Fujifilm)和美國陶氏(Dow Chemical Company),其中尤其是日本企業(yè),占有率極高。在KrF光刻膠方面,日本也是占了主導(dǎo)地位,在這領(lǐng)域有全球5%市場占有率的韓國企業(yè)和11%的美國企業(yè)。
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南大光電表示,本項(xiàng)目已作為我國“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”的核心 部分被列入我國國家科技重大專項(xiàng),受到國家科技部的高度支持。作為對(duì) 提升國家綜合國力有重大推動(dòng)作用的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),ArF(干式和浸沒式)光 刻膠是我國集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵原材料,與國家經(jīng)濟(jì)及社會(huì)發(fā)展的需求緊 密結(jié)合。本項(xiàng)目不僅能夠極大提高我國本土企業(yè)的自主創(chuàng)新能力,更重要 的是通過重大關(guān)鍵技術(shù)的突破,將帶動(dòng)和提升我國整個(gè)電子工業(yè)體系的技 術(shù)水平和國際競爭力。項(xiàng)目符合國家的產(chǎn)業(yè)政策,按國家基本建設(shè)程序進(jìn)行實(shí)施,項(xiàng)目的建設(shè)是可行的。