眾所周知,目前全球最牛的光刻機廠商就是荷蘭的ASML了,全世界僅有它一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機,而EUV光刻機是10nm以下芯片制造中必不可少的設(shè)備。
可以說ASML緊緊的扼住了全球芯片制造企業(yè)的喉嚨,只要它不賣EUV光刻機給對方,對方的工藝就只能停留在10nm以上。
事實上,在20年前,ASML其實是一家名不見真?zhèn)鞯男∑髽I(yè),和日本的尼康、佳能比起來,真的就是個小作坊,那么為何最終是它勝出,一家獨大,然后讓尼康、佳能變成了二流光刻機企業(yè)了呢?
事實上,這與ASML成長過程中的兩個轉(zhuǎn)折點有關(guān),也正是抓住了這機會,在這兩次轉(zhuǎn)折點中,都站對了位置,才有今天的ASML。
第一次是2004年左右,當時業(yè)界采用的光刻機光源是193nm波長的,采用的是干刻法,接下來要提升光源到157nm波長,這樣精度更高,但困難非常大。
這時候臺積電表示,光源還可以使用193nm波長的,但換個介質(zhì)試試,不要用空氣當介質(zhì)了,用水當介質(zhì),而光源在通過水時,會產(chǎn)生折射,這樣193nm波長的光源,實際效果可能比157nm的波長還要好呢?
尼康、佳能認為這不實際,不如研究157nm光刻機好了,而ASML覺得自己反正就是小企業(yè),不如陪臺積電試一下,萬一成功了呢?
于是ASML成功了,采用水當介質(zhì)的浸潤式光刻機火了,成功的把精度再提高了,且成本低,研發(fā)快,僅僅5年時間,ASML就拿下了全球一半多的市場,后來尼康、佳能想要跟進,已經(jīng)遲了。
第二次機會是2015年,當時浸潤式光刻機已經(jīng)發(fā)展到極限了,接下來研究的方向采用波長為13.5nm的極紫外線,制造EUV光刻機。
并且這時候,英特爾牽頭搞了一個前沿組織EUV LLC,就是研究這些的,于是ASML加入了進來,并且ASML很聰明,覺得如果自己搞出這樣的光刻機,可能會被美國忌憚,于是讓出了自己的股份,讓英特爾、臺積電、三星等都成為自己的股東。
這樣不僅打消了美國的在顧慮,還贏得了客戶、盟友,也得到了眾多的技術(shù)支持,于是順利的推出了EUV系列光刻機,還不愁賣,也不怕美國制裁它,如今ASML是真的在EUV光刻機上一家獨大,真正的壟斷市場了。