《電子技術(shù)應(yīng)用》
您所在的位置:首頁 > 電子元件 > 業(yè)界動態(tài) > 國產(chǎn)光刻膠大進(jìn)步:90-28nm已支持存儲芯片、邏輯芯片

國產(chǎn)光刻膠大進(jìn)步:90-28nm已支持存儲芯片、邏輯芯片

2022-04-19
來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
關(guān)鍵詞: 光刻膠 90-28nm 芯片

眾所周知,在芯片的制造過程中,需要的設(shè)備、材料非常多。其中像光刻機(jī)、光刻膠都是當(dāng)前嚴(yán)重卡脖子的產(chǎn)品。

17163900986747.jpg

拿光刻膠來說,分為5種,分別是g線、i線、KrF、ArF、EUV。其中g(shù)線、i線主要用于250nm以上工藝,國內(nèi)的自給率約為20%。

KrF一般用于250nm-130nm工藝,國內(nèi)的自給率約為5%,ArF一般用于130nm-14nm,2021年之前國內(nèi)就無法生產(chǎn),主要靠進(jìn)口,至于EUV光刻膠主要用于7nm及以下工藝,就更加不用說了,完全靠進(jìn)口。

不過從去年開始,國內(nèi)幾大光刻膠廠商在光刻膠上面有了較大的進(jìn)步,已經(jīng)研發(fā)出了ArF光刻膠,比如南大光電等,去年下半年時表示已經(jīng)用于50nm制程的存儲芯片上,通過了客戶驗(yàn)證。

而近日,南大光電表示,旗下用于90nm-28nm制程的ArF光刻膠已分別通過存儲芯片制造和邏輯芯片制造企業(yè)驗(yàn)證。

意思是其研發(fā)的ArF光刻膠,已經(jīng)可以用于最高工藝為28nm的存儲芯片和邏輯芯片了,畢竟驗(yàn)證通過后,就可以出貨給客戶了。

南大光電甚至表示,其中一家客戶從去年8月份起,就一直正常購買公司的光刻膠產(chǎn)品,只是因?yàn)槭强椭苹a(chǎn)品,暫未形成規(guī)模銷售。

對此,不知道大家怎么看?光刻膠作為芯片制造中必不可少的材料,用量雖然少,但非常重要,沒有其它替代品,之前一直被日本廠商壟斷著,韓國都曾被卡住了脖子。

如今中國廠商能夠推出用于28nm的ArF光刻膠,真的是一個重大進(jìn)步,相信接下來繼續(xù)推進(jìn),達(dá)到14nm也不會太難了。

也希望整個國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,也能夠像光刻膠一樣,先進(jìn)推進(jìn)到28nm,再推進(jìn)到14nm,那樣也就沒有太多擔(dān)心的了,畢竟搞定14nm,就能夠生產(chǎn)全球至少80%的芯片了。




最后文章空三行圖片.jpg


本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外,轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點(diǎn)。轉(zhuǎn)載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當(dāng)措施,避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失。聯(lián)系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。