作為一個(gè)20年半導(dǎo)體老兵，我直接來說目前國產(chǎn)光刻機(jī)，上海微smee的情況，依照smee之前發(fā)布的訊息，2022年底將完成193nmArF準(zhǔn)分子激光浸潤式光刻機(jī)的樣機(jī)，如今項(xiàng)目如何了？

　　再說明國產(chǎn)光科機(jī)的真實(shí)情況之前，作者先來談?wù)勥@12月初也就是這兩天美國與荷蘭正在針對(duì)asml售中光刻機(jī)談判的影響。

　　這場談判將決定未來中國芯片的生死，荷蘭到底是拯救中國芯片的白馬騎士還是索命死神？

　　荷蘭與米國這場光刻機(jī)的談判，將是國內(nèi)芯片行業(yè)生與死的分水嶺。可能大家都沒意識(shí)到這次談判的嚴(yán)重性，但今天我與在業(yè)內(nèi)的前同事聊了這件事，驚覺非同小可！

　　作者于01年從臺(tái)積電fab3離職到大陸，06年成立Arcotech ，經(jīng)歷祖國半導(dǎo)體的建設(shè)大潮，也參與了02專項(xiàng)某項(xiàng)目，2020年從國內(nèi)上市企業(yè)管理層離開后，目前有空寫寫文章，希望讓更多的人了解國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)真實(shí)現(xiàn)狀

　　據(jù)彭博社報(bào)道，荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作部長施賴納馬赫爾11月22日告訴議員，在與美國和其他盟國的貿(mào)易規(guī)則談判中，荷蘭政府將就阿斯麥向中出售芯片設(shè)備的問題上，做出自己的決定。

　　施賴內(nèi)馬赫說：“重要的是，我們要捍衛(wèi)自己的利益、我們的郭嘉安全，但也要捍衛(wèi)我們的經(jīng)濟(jì)利益。如果我們把它放在歐盟籃子里去與米國談判，最后結(jié)果就是我們得把極深紫外線光刻機(jī)交給米國，我們的境況會(huì)更糟。”

　　為什么荷蘭官員誓死也要維護(hù)自己的利益，一切都是因?yàn)閍sml，我們來看看下面一張圖就知道怎一回事了

　　從圖中我們可以看出，asml2025年市場預(yù)估從圖中我們可以看出，asml2025年的市場目標(biāo)，低標(biāo)是70臺(tái)浸沒式duv，190臺(tái)干式duv。而高標(biāo)是87臺(tái)浸沒式duv，290臺(tái)干式duv。其中兩款euv的銷量沒啥變。

　　為啥euv的銷量高低標(biāo)沒變呢，因?yàn)檫@都是滿產(chǎn)滿銷，asmlㄧ做出來馬上被臺(tái)積電三星英特爾等三大搶走，一臺(tái)也不會(huì)剩。但duv尤其是干式的高低標(biāo)準(zhǔn)則相差一百臺(tái)之譜，這主要原因就是中國市場。

　　193nm  ArF dry對(duì)應(yīng)的芯片工藝是110～65nm。

　　193nm  ArF+immersion對(duì)應(yīng)的芯片工藝則是45～7nm。

　　以美bis新規(guī)定來看，涉及finfet也就是16nm以下工藝的全部禁止對(duì)中銷售，工藝能達(dá)到7nm的浸沒式duv肯定是不能賣給中，所以asml自己的預(yù)估浸沒式duv的高低標(biāo)的銷量區(qū)別不大，這也肯定不是美荷談判重點(diǎn)。

　　這次美荷談判的重點(diǎn)就是193nm  ArF dry 光刻機(jī)，如果這類型設(shè)備也不能賣，對(duì)asml來說那差距將達(dá)到一百臺(tái)，40億美金左右的銷售額。

　　能賣給中，2025年該設(shè)備能賣290臺(tái)，如果被限制那就是低標(biāo)只能賣給非中客戶190臺(tái)，這就是這一次美荷談判的重點(diǎn)。我們要知道這類型光刻機(jī)對(duì)應(yīng)的工藝是65～110nm。

　　美國想游說盟友，禁止中國110nm以下的所有工藝，而荷蘭則希望從45nm開始限制即可，而這對(duì)國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)的影響也是至關(guān)重要的，28～110幾乎是國內(nèi)芯片制造需求最大的一個(gè)工藝范圍。如果荷蘭同意斷供干式duv那對(duì)國內(nèi)芯片行業(yè)來說將是毀滅性的打擊。

　　當(dāng)然荷蘭如果被米國拿下，日本的nikon勢必也是比照辦理，而這只能靜待結(jié)果了。

　　作者覺得荷蘭官員之前的放話很有可能只是壯聲勢，荷蘭最后同意美國方案的機(jī)率，作者認(rèn)為大大超過一半以上。如果米國的提案通過這將是對(duì)國內(nèi)半導(dǎo)體的趕盡殺絕，對(duì)于這場大屠殺米國必然會(huì)使出吃奶的力氣。但荷蘭的到嘴肉，肯定也得緊咬不放。

　　目前美臺(tái)日韓籌組的chip4方聯(lián)盟，在這次曼谷apec，由張忠謀穿針引線與米 戴琪、哈里斯的閉門會(huì)議，還有張忠謀與日本岸田文雄、韓國首相各別的閉門會(huì)議中有可能已經(jīng)談好，如果chip4的臺(tái)積電英特爾三星同意吃下中方市場那一百臺(tái)干式duv，大家認(rèn)為荷蘭會(huì)不會(huì)同意斷供中方？

　　我認(rèn)為必須嚴(yán)密監(jiān)控美荷這場會(huì)議，這將是chip4方聯(lián)盟全面圍堵中方芯片的前哨戰(zhàn)，至關(guān)重要。

　　如果荷蘭與日本最終同意斷供193nm  ArF干式duv光刻機(jī)那我們?cè)撛趺崔k，國產(chǎn)光刻機(jī)現(xiàn)在到底如何了？

　　10月7號(hào)，米國BIS的制裁新規(guī)下來以后，行業(yè)至今雞飛狗跳，全面亂套，不過這也是一面照妖鏡，退潮時(shí)就能知道誰在裸泳。這幾年資本市場大炒特炒的國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備商們，檢驗(yàn)?zāi)銈冋嬲碌臅r(shí)刻到了。

　　國產(chǎn)光刻機(jī)能否拯救中國半導(dǎo)體行業(yè)？

　　對(duì)于國產(chǎn)光刻機(jī)，作者看了許多回答盡是故弄玄虛，什么利益相關(guān)，上下游相關(guān)的，也有科研系統(tǒng)的，各種云里霧里，我先說一下，我們的光刻機(jī)不需要任何保密，請(qǐng)問一下落后技術(shù)數(shù)代的技術(shù)要保什么密？如果米國知道我們193nmArF光刻機(jī)搞出來了，他們會(huì)出什么幺蛾子嗎？

　　我很正式的告訴各位，米國知道了也不會(huì)有任何反應(yīng)，他們還是一如既往的封殺，我們做出來貨做不出來，對(duì)米國來說不影響他們的步調(diào)，而且咱們真做出來了，需要去fab試生產(chǎn)，需要在fab跟所有米國設(shè)備一起生產(chǎn)芯片，這一切都逃不過米國。

　　光刻機(jī)不是核彈，只是有或者無的區(qū)別。光刻機(jī)做出來得先從試驗(yàn)機(jī)經(jīng)過一代一代的改良變成量產(chǎn)機(jī)，這些步驟不可能秘密進(jìn)行，因?yàn)槎际切枰c產(chǎn)線相結(jié)合的試生產(chǎn)，才能調(diào)適與改進(jìn)，沒有可能忽然宣布我們有一臺(tái)量產(chǎn)沒毛病的光刻機(jī)，這是不可能的事，最多就是宣布我們的試驗(yàn)機(jī)已經(jīng)做出來或者通過驗(yàn)收。但大家得明白宣布樣機(jī)成功與量產(chǎn)還有好幾年的路要走。不是宣布了就有設(shè)備能用在產(chǎn)線上。

　　所以只要在行業(yè)內(nèi)，這些訊息都是對(duì)米國單向透明的，在網(wǎng)上談保密簡直就是天大的玩笑，咱們也得明白，我們國產(chǎn)光刻機(jī)里面的零配件大部分都得進(jìn)口。重申一下，絕大部份零配件都是進(jìn)口，這些零配件同樣以美日為主。

　　國產(chǎn)光刻機(jī)，落后數(shù)代的技術(shù)沒有保密的需要，米國想要知道會(huì)比咱們網(wǎng)上討論的更精細(xì)一百倍，所以更沒有保密的必要。

　　在10/7新規(guī)之后的此時(shí)此刻，smic、ymtc、北方華創(chuàng)，中微正開放自己的工廠以及數(shù)據(jù)，讓美bis檢查有沒有違規(guī)，smee也一樣，用以自證清白，希望能從 uvl 、實(shí)體清單中剔除自己或者避免自己變成實(shí)體清單，基本上都是查個(gè)底朝天，而網(wǎng)民們竟然在網(wǎng)路上談保密？在這種說法在業(yè)內(nèi)眼中，簡直不可思議，難道我們的輿論對(duì)這些行業(yè)常識(shí)，或者針對(duì)美商務(wù)的基本認(rèn)知是零嗎？

　　我希望此回答能端正視聽，那些玄乎的云里霧里到，添油加醋的，盲目樂觀的，從其他上下游相關(guān)自己臆測的，能盡量減少，我們需要正確的專業(yè)與正常的輿論。

　　幾年前smee那臺(tái)號(hào)稱90nm的ssx600通過02專項(xiàng)驗(yàn)收合格，然后這一大幫人歡欣鼓舞媒體大書特書，緊接著這群人立馬訂定下一個(gè)更先進(jìn)的目標(biāo)，甚至一次跨越兩代，直接攻關(guān)193nmArF準(zhǔn)分子激光浸潤式光刻機(jī)，02專項(xiàng)風(fēng)風(fēng)火火大躍進(jìn)攻關(guān)，形勢一片大好。

　　然而事實(shí)是那臺(tái)ssx600，也就是248nmKrF光刻機(jī)（工藝是在0.13um以上）風(fēng)風(fēng)火火的把所有utility接上，除了認(rèn)證那會(huì)開機(jī)跑了起來，至始至終躺在那，怎認(rèn)證通過到咱們就不說了，你沒跑產(chǎn)線，沒有上下道的工藝配合，最后芯片合格率、良率到底行不行，全部都沒有，這樣就驗(yàn)收了？敢情你們是能開機(jī)就可以驗(yàn)收是嗎？

　　當(dāng)初在國科驗(yàn)收的NA0.75級(jí)鏡頭，某科院自己訂一些指標(biāo)，造本宣科走個(gè)流程就驗(yàn)收了，長光所上光所的院士們，難道你們擅長的就是立項(xiàng)與驗(yàn)收？你們會(huì)關(guān)心這玩意能在量產(chǎn)線上使用不？你知道這玩意能達(dá)到量產(chǎn)化指標(biāo)嗎？還是你們沒有這能力？你們只會(huì)搞實(shí)驗(yàn)裝置？又或者你們想說時(shí)間不夠，先達(dá)成初步指標(biāo)后面在慢慢優(yōu)化？然而你們有去優(yōu)化嗎？

　　這通過驗(yàn)收的所謂光刻機(jī)根本無法在量產(chǎn)線上跑，也從來沒有跑過！而你們現(xiàn)在正大躍進(jìn)式的想功克下兩代193nm  ArFi 也就是媒體所謂的28nm光刻機(jī)，這不是天大的笑話嗎？130nm都沒正兒八經(jīng)的跑過產(chǎn)線，130nm你都做不明白，竟然妄想去搞28nm？其實(shí)193nm  ArFi搞出來是能做到7nm的。

　　全球任何一家的前端半導(dǎo)體設(shè)備都是經(jīng)過無數(shù)頂尖工程師，長時(shí)間不斷的累積經(jīng)驗(yàn)，不斷的改善問題，不斷的優(yōu)化才達(dá)到今天的地步，你們這樣就驗(yàn)收，完全不需要積累生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，然后攻關(guān)下一個(gè)技術(shù)？你們以為這跟你們以前搞的實(shí)驗(yàn)裝備是一回事是嗎？

　　即便世界最牛的asml數(shù)千臺(tái)設(shè)備在全世界各fab跑了好幾年，他們至今還是有大量工程師在不斷優(yōu)化這些前幾代的光刻機(jī)，這些設(shè)備通過與無數(shù)客戶工程師，出現(xiàn)問題解決問題，每年軟件的代碼都不斷的大量增加。

　　再說一遍，設(shè)備真正在生產(chǎn)線跑，是全世界無數(shù)頂尖工程師，數(shù)十年不斷優(yōu)化來的，而我們一臺(tái)設(shè)備驗(yàn)收了，就再也沒人管。

　　至于193nmArF準(zhǔn)分子激光浸潤式光刻機(jī)，也就是smee宣稱能用在28nm的SSX800，也別說2022年底能不能出樣機(jī)，現(xiàn)在也都12月了，我就問問，華卓的twinscan  emc兼容解決了嗎？國望的NA1.35鏡頭八字有一撇沒？生產(chǎn)的潔凈車間現(xiàn)在都還沒蓋好呢！科益的40w 4kHz ArF的光源intensity解決沒？啥時(shí)候能達(dá)到60w 6kHz能用的標(biāo)準(zhǔn)？

　　這些問題有沒有長光所或上述單位的人來說說。別在以什么企業(yè)秘密來說搪塞，這些完全是國際落后技術(shù)，更不涉及米BIS的限制（差好幾代），跟秘密能扯上邊嗎？以前都是還不能量產(chǎn)就先放消息各種突破，鑼鼓喧天，怎現(xiàn)在反倒變成公司秘密不能說了？難道美bis沒有去你們公司調(diào)查嗎？你們沒有拿出一切證據(jù)來證明自己沒違規(guī)嗎？既然你們都敞開了讓美國商務(wù)部調(diào)查，怎轉(zhuǎn)過身來跟民眾說這是秘密呢？所謂企業(yè)秘密難道只是你們的遮羞布？

　　除了光刻機(jī)，其他關(guān)鍵設(shè)備的國產(chǎn)化如何？

　　etch蝕刻設(shè)備、沉積與光刻并列門檻最高、金額最高、難度最大的的三個(gè)種類，一般來說蝕刻設(shè)備都是fab投資最大的，工藝在5nm以下的fab，因?yàn)槎际鞘褂胑uv，光刻才超越了蝕刻。

　　而且蝕刻在memory占有越來越重要的角色，尤其是在nand，越高層數(shù)就需要寬深比越高的蝕刻技術(shù)，這完全得仰賴設(shè)備廠家。目前做到最好的是lam能在100:1以上，amat也有同性能產(chǎn)品，國內(nèi)的中微號(hào)稱今年能有40:：1的高寬深比的設(shè)備，但這設(shè)備我可以肯定出來是能出來，但沒法用。

　　從上圖我們可以看出，dry etch 分為icp、ccp，這兩小類，每類又分了十多種設(shè)備，咱們可以從圖中看到中微在某fab的ccp拿下了1/3，但在icp則全軍覆沒。

　　ccp只是刻掩膜跟metal，與icp那些刻在si上的完全是兩碼事，也就是說即便中微什么成功打入臺(tái)積電7nm的fab也只是做最簡單的那一部分。

　　而我們從圖中可以看出，dry etch門檻最高的各種icp，中微一臺(tái)也沒有，幾乎被lam給壟斷，amat跟tel這世界etch的老二跟老三也只有稀稀拉拉幾臺(tái)，而中微連他的強(qiáng)項(xiàng)ccp也只是占1/3，而且還都是ccp里面最容易的那部分。

　　我想我的文字解釋結(jié)合圖的清單，大家應(yīng)該能明白一二了吧。

　　我想全網(wǎng)都沒有像我這樣比較的信息，都是中微已成功打入臺(tái)積電5nm云云。而這些訊息卻是斷章取義與實(shí)際大相徑庭，lam的icp難度并不比asml的euv難度低多少，lam在icp的壟斷地位，連發(fā)展了幾十年的行業(yè)老大amat與老二tel也無法在icp上與lam爭鋒，中微真的就別提了。

　　越先進(jìn)的制程，etch的制程步驟越多，而且呈等比級(jí)數(shù)上升，28nm刻40次，14nm刻60多次，7nm得到140次，5nm已經(jīng)到驚人的250次，大家能想像在幾nm線寬的制程，重復(fù)一兩百次的刻，能達(dá)到每一次準(zhǔn)確無誤的精度，這是難以想像的。

　　至于這到底有多難，非業(yè)內(nèi)甚至許多業(yè)內(nèi)人士都不知道，我如何形容一樣會(huì)有人說只要拿出當(dāng)初兩彈一星的氣魄跟做法就能突破，所以多難我也懶得形容，但不論多難作者認(rèn)為最終是會(huì)突破，時(shí)間的問題而已，但我最樂觀的推估是2年推出達(dá)到28nm性能的icp樣機(jī)，但良率要達(dá)到量產(chǎn)水平，還得在兩三代的優(yōu)化改良，每一代1～2年，要知道一開始刻出來的肯定參差不齊，良率達(dá)不到你有設(shè)備也等于沒有。

　　以此推算能打通drt etch全部環(huán)節(jié)，能生產(chǎn)出合格良率的28nm芯片，最快最快是6年。

　　這里面還有一個(gè)最大的問題是，良率達(dá)不到那個(gè)廠家讓你一直試，而沒有一直試也沒辦法改進(jìn)，即便郭嘉也沒辦法解決這事，這是一個(gè)死胡同。咱們沒有國外廠家那般幾十年的技術(shù)積累就是得一直試，沒有一直跑片一直發(fā)現(xiàn)問題優(yōu)化改良，怎可能突破，設(shè)備得真正在產(chǎn)線上跑良率合格才叫能用的設(shè)備，不然就是一堆廢鐵。

　　6年以作者的認(rèn)知我是認(rèn)為不太可能達(dá)成，但就當(dāng)他可能吧，6年后我們才能擁有28nm全打通的國產(chǎn)蝕刻設(shè)備，與網(wǎng)路上鋪天蓋地的蝕刻我們已能做到5nm是不是有如云泥之別，但事實(shí)就是如此。

　　而28nm的浸沒式光刻機(jī)，作者以一切都是最順利來評(píng)估，6年一樣是最快的時(shí)間，也就是說以目前傾全國之力，一切順利的情況下，我們將在6年后也就是2030年“有機(jī)會(huì)”用全國產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)28nm的芯片。

　　試問2030年全世界都生產(chǎn)14am了，我們還在生產(chǎn)28nm要這玩意有多大作用？真實(shí)的情況跟大家想的或者主管行業(yè)那幫人說的根本不一樣。

　　2030年量子計(jì)算或許都開始最基本的商用了，而我們才剛剛生產(chǎn)有能力落后的硅基芯片，大費(fèi)周章終于能生產(chǎn)，馬上面臨被淘汰的局面？

　　ibm量子運(yùn)算原型機(jī)

　　我說這么多，全部是不涉及行業(yè)秘密的公開消息，只是行業(yè)內(nèi)的基本常識(shí)而已，作者認(rèn)為現(xiàn)在如此危機(jī)之時(shí)，中國半導(dǎo)體行業(yè)不能再這樣下去，首先必須要把問題全部掀開來，盡管滿目瘡痍，瘡疤都沒怕疼而沒勇氣去揭，那如何治療？

　　從14年大基金成立以來，我們一直高喊的國產(chǎn)，取代外企，解決卡脖子問題，快十年了，真正解決的卡脖子問題有幾個(gè)？行業(yè)里整天好消息滿天飛，飛了快十年了，市場一片期待，所有人信心滿滿，連小將們都高喊你米國越制裁越好，我們只會(huì)更快造出來，我們不需要任何協(xié)助，自己的全國產(chǎn)設(shè)備很快就能橫空出世。

　　而今這些設(shè)備在哪呢？真實(shí)的情況是，此時(shí)此刻，我們芯片生產(chǎn)線的國產(chǎn)化率只有可憐的15%左右，今時(shí)今日。

　　想在五六年完全補(bǔ)齊剩下的85%，從任何角度來看都是不切實(shí)際，違反科學(xué)及常識(shí)的。

　　現(xiàn)在我們的芯片產(chǎn)業(yè)已經(jīng)退無可退，當(dāng)務(wù)之急，就是在量產(chǎn)的fab里，所有設(shè)備back  to back的調(diào)適，真正調(diào)適出一條完整實(shí)實(shí)在在的《量產(chǎn)線》，不是以前那種實(shí)驗(yàn)線，更不是一堆設(shè)備商各自為政，上下道工藝根本接不上，各說各話的吹牛皮。

　　再此之前不論smic，ymtc或者ㄧ眾國產(chǎn)設(shè)備廠家，都是以生產(chǎn)然后銷售為首要，畢竟企業(yè)要生存，這次既然被米國逼到墻角，一點(diǎn)余地都不留給我們，那咱們也不用在客氣，由ymtc來打先鋒，ymtc二廠既然美國設(shè)備全斷供。預(yù)付款也退了，現(xiàn)在就把二廠拿來試驗(yàn)國產(chǎn)設(shè)備，由郭嘉出面兜底，全力攻關(guān)國產(chǎn)設(shè)備，把調(diào)適出一條全國產(chǎn)設(shè)備的真正量產(chǎn)線為第一要?jiǎng)?wù)。

　　所有國產(chǎn)設(shè)備商全部派駐工程師到y(tǒng)mtc的fab，把能做的不能做的老老實(shí)實(shí)說出來，真刀真槍全部在一個(gè)fab里搞，誰吹牛皮誰拖后腿，不能再給忽悠的空間。我一直認(rèn)為國產(chǎn)設(shè)備的最大問題還是廠家的報(bào)喜不報(bào)憂，為了補(bǔ)貼搞形式玩文字游戲。如果任由他們這樣搞下去，一百年也搞不出啥來。

　　這一次ymtc的新廠是一個(gè)天賜良機(jī)，首先缺位的美國設(shè)備全部由國產(chǎn)來替補(bǔ)，再來就是真刀真槍的檢驗(yàn)這幾年來，到底誰在騙補(bǔ)到底誰有突破，這一次將一目了然。想混水摸魚的一個(gè)也跑不掉，老鼠屎得先清干凈。因?yàn)橄氤晒?，一個(gè)都不能少一個(gè)都不能拉垮，能再量產(chǎn)線上試國產(chǎn)設(shè)備，才是真正的重點(diǎn)，郭嘉對(duì)此得進(jìn)行不計(jì)代價(jià)的支持，讓他們可以一直去生產(chǎn)壞片、一直試錯(cuò)、一直改良。

　　smee光刻機(jī)這樣的事情絕不允許再發(fā)生，現(xiàn)在已是危及存亡之刻，必須所有設(shè)備商全部集中到一個(gè)fab，所有工序一道接一道來跑，直到芯片出來，28nm沒能力，咱們就搞90nm，在不行也沒事0.13或者0.18μm都沒問題，就是搞一條實(shí)實(shí)在在的全國產(chǎn)芯片生產(chǎn)線，哪里有問題就攻克哪里，找出所有大大小小的問題，一步一步來，這是需要時(shí)間需要經(jīng)驗(yàn)的，不可能一步登天，如果這都能行，那真是當(dāng)全世界半導(dǎo)體行業(yè)的頂級(jí)人才都是傻子還是咱們的工程師個(gè)個(gè)具備剛出生就能飛的能力。

　　每每說到這些人，作者就很難控制的出現(xiàn)情緒，想到這幫人真的來氣，其實(shí)我很清楚，國內(nèi)沒有幾個(gè)設(shè)備廠家敢這么搞，ymtc應(yīng)該是沒問題愿意出fab出人來弄，但那么多家設(shè)備商，大概率一大半不愿意，因?yàn)檫@樣搞就露餡了大部分不愿意，這話我放在這。

　　作者：一杯紅咖啡

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