ASML在官網(wǎng)發(fā)布聲明稱,其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系統(tǒng)的出口許可證已被荷蘭政府部分撤銷,影響了中國(guó)大陸的一小部分客戶。ASML還稱,公司在最近與美國(guó)政府的討論中,獲得了美國(guó)出口管制規(guī)定范圍和影響的進(jìn)一步厘清。美國(guó)去年10月17日公布的出口管制新規(guī),對(duì)用于一些先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)施的某些次關(guān)鍵DUV浸沒(méi)光刻系統(tǒng)施加了限制。
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