2024年12月，一位ASML前員工（A先生）因涉嫌竊取ASML和恩智浦的商業(yè)機(jī)密而被荷蘭政府拘留，荷蘭移民局還對其實施了20 年的入境禁令，引發(fā)了外界關(guān)注。近日荷蘭媒體NRC針對該案件披露了更多的細(xì)節(jié)，并表示該竊密之舉是為了協(xié)助俄羅斯在本土建造一座 28nm 晶圓廠。

眾所周知，ASML 是全球最大的光刻機(jī)制造商，同時也是全球唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，全球所有的5nm及以下的芯片都依賴于ASML的EUV光刻機(jī)來制造。而除了ASML之外，目前僅有日本的尼康和佳能、中國的上海微電子裝備擁有光刻機(jī)的制造能力，但是他們在技術(shù)上與ASML之間存在巨大的代差。而荷蘭芯片廠商恩智浦則是全球領(lǐng)先的汽車及工業(yè)芯片制造商。因此，ASML和恩智浦相關(guān)核心技術(shù)也被荷蘭政府看作是關(guān)乎國家利益的重要資產(chǎn)，需要嚴(yán)防被外國“竊密”。

根據(jù)荷蘭媒體NRC的最新報道顯示，當(dāng)?shù)貢r間周四，針對該A先生的訴訟案件在荷蘭鹿特丹開庭，檢方指控他涉嫌竊取ASML和恩智浦的商業(yè)機(jī)密，并傳播生產(chǎn)芯片和芯片制造設(shè)備的手冊。此舉被認(rèn)為是有助于被美西方制裁的俄羅斯在當(dāng)?shù)亟⒁蛔碌男酒S。A先生則希望從中賺取額外的收入。

NRC 采訪的相關(guān)專家稱，盡管A先生“竊取”的資料被標(biāo)記為“機(jī)密”，但實際上很多卻是相當(dāng)通用和“廣泛”的信息。

根據(jù)起訴書還顯示，A先生自2024年8月以來就因涉嫌挪用公款和違反制裁法而被審前拘留。他甚至在 2022 年俄烏沖突爆發(fā)之前就已經(jīng)在收集信息，后來他通過U盤、應(yīng)用程序和共享的Google Drive網(wǎng)盤與俄羅斯的一名同伙分享這些信息。在與俄羅斯情報機(jī)構(gòu) SVR 聯(lián)系后，他在莫斯科交出一個裝有“機(jī)密”文件的U盤，并收到了大約40000歐元的資金。

據(jù)介紹，A先生交易的機(jī)密信息當(dāng)中，包括了105份來自 ASML 的文件、88份與臺積電相關(guān)的文件，此外還有GlobalFoundries（格羅方德）和恩智浦的相關(guān)文件。

通過在Mapper工作進(jìn)入ASML

這位被指控涉嫌竊取ASML和恩智浦機(jī)密的前員工，是一名 43 歲的工程師，其曾在俄羅斯大學(xué)接受教育，并在俄羅斯科技公司工作。2008 年和 2009 年間，他先是去了比利時研究機(jī)構(gòu) imec 實習(xí)，然后又去了希臘研究機(jī)構(gòu) NCSR 工作，還曾在美國芯片制造商 GlobalFoundries 位于德累斯頓工廠工作。

2015年，A先生開始為總部位于荷蘭代爾夫特的Mapper Lithography公司工作，這是一家開發(fā)電子束光刻工具的公司。但是由于缺乏資金和足夠的訂單支持，2018 年底 Mapper 公司無奈破產(chǎn)。美國國防部為防止敏感技術(shù)落入俄羅斯或中國企業(yè)手中，對荷蘭政府進(jìn)行施壓，隨后荷蘭政府要求ASML 收購了 Mapper 公司及其專利，100多名Mapper員工也被并入了ASML，這其中就有包括該“間諜”工程師在內(nèi)的十多名俄羅斯員工。此后，該“間諜”工程師開始為ASML的“應(yīng)用”部門工作。ASML則將 Mapper 的電子束技術(shù)用于計量和芯片檢查。

需要指出的是，Mapper公司早在2012年，曾獲得了一位主要的俄羅斯投資者 Rusnano的投資。作為這筆注資的交換，Mapper 在莫斯科建造了一家工廠，主要生產(chǎn) MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）——帶有引導(dǎo)電子束的小透鏡的芯片，后來該工廠成為了隸屬于俄羅斯軍用無人機(jī)制造商 Astron的資產(chǎn)。

具體可參考《ASML收購Mapper的背后故事：中美俄荷四方暗斗》

擁有四項ASML專利

根據(jù) NRC 與認(rèn)識A先生的人的對話顯示，他的前同事形容他是“隱形”的，一個“孤獨的人”，有著某種奇特的交流方式。但沒有人懷疑他會竊取信息。

在ASML工作期間，A先生的職業(yè)生涯曾陷入了停滯，因為ASML決定將他負(fù)責(zé)的零部件生產(chǎn)工作外包出去，而ASML也不認(rèn)為他是管理供應(yīng)商的合適人選。雖然他試圖“拓寬”自己，但缺乏必要的理論知識，最終ASML決定在 2021 年之后不再與其續(xù)約。

雖然A先生不是一個雄心勃勃的人，但他的名字出現(xiàn)在 ASML 的四項專利中，其中最后一項于上個月公布。這怎么可能呢？由于專利是在多個國家/地區(qū)提交的，因此在首次申請和在其他國家/地區(qū)申請之間有很多時間間隔。

竊取機(jī)密

離開 ASML 后，A先生開始通過借調(diào)機(jī)構(gòu)尋找新工作。他表示他想做更多的研究——希望在芯片技術(shù)領(lǐng)域的階梯上更上一層樓，但這并沒有成功。在2022 年 1 月新冠疫情期間，他開始在奈梅亨的 NXP 擔(dān)任受雇流程員工。在介紹性會議期間，他給人的印象是一個敬業(yè)但內(nèi)向的技術(shù)人員，難以溝通?！埃ㄋ├饨欠置?，啰嗦，”認(rèn)識他的人說。

在恩智浦雇用該A先生的那一年，他與同事幾乎沒有聯(lián)系。2022 年 5 月，他向奈梅亨的一家公司詢問 ASM International 的二手化學(xué)氣相沉積設(shè)備的報價。最初，這些設(shè)備應(yīng)該運往德國，但后來他將目的地改為以色列。該物品從未交付?，F(xiàn)在，這被視為為俄羅斯新設(shè)施收集設(shè)備和零件的嘗試。

根據(jù)A先生前妻的一份聲明顯示，他于 2023 年底與俄羅斯科學(xué)家接觸，以助力俄羅斯在本土建立新的芯片工廠。目的是在那里制造 28nm 芯片。

2023年，該A先生與代爾夫特理工大學(xué)應(yīng)用科學(xué)學(xué)院簽訂了一份為期一年的合同。他在那里也過著與世隔絕的生活，但研究并未表明他從代爾夫特理工大學(xué)竊取了文件。

然而，A先生的U盤確實包含來自全球最大的晶圓代工企業(yè)臺積電和美國晶圓代工企業(yè) GlobalFoundries（格羅方德）的相關(guān)文件。以臺積電為例，A. 的U盤中有 88 個不同的文件與臺積電相關(guān)。具體是哪些，目前尚不清楚。恩智浦是臺積電的客戶，ASML 也為臺積電供應(yīng)光刻機(jī)。

沒有光刻機(jī)設(shè)計圖

2024 年 8 月 28 日，A先生 在 AIVD 情報局的官方報告后被捕。2024 年 10 月，ASML 和 恩智浦 的法務(wù)部門收到消息，稱A先生涉嫌間諜罪。兩家公司都在配合警方的調(diào)查，并對這名前雇員進(jìn)行了舉報。

據(jù)恩智浦的專家稱，大多數(shù)商業(yè)秘密都屬于“技術(shù)援助”類別。在A先生的電腦和手機(jī)上還發(fā)現(xiàn)了 105 份來自 ASML 的文件。其中一些是“機(jī)密”信息的演示，但它們并不是構(gòu)建光刻機(jī)的藍(lán)圖，更不是整個芯片工廠的藍(lán)圖。

A先生的前同事并不認(rèn)為他是一個精明的“間諜大師”。因為他為了并不多的現(xiàn)金就放棄了他略有些困難的職業(yè)生涯。據(jù)內(nèi)部人士稱，A先生通過出售情報，從一家俄羅斯公司或俄羅斯情報機(jī)構(gòu)獲得了大約 40,000 歐元。

ASML 和 恩智浦以前是間諜活動的受害者。ASML 不斷受到黑客的攻擊，必須保護(hù)自己免受“內(nèi)部”盜竊。近年來，ASML和恩智浦都加強(qiáng)了其內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)的安全性。不同部門之間存在數(shù)字“墻”，因此員工只能查看有限數(shù)量的數(shù)據(jù)，并且內(nèi)部監(jiān)控系統(tǒng)會記錄可疑行為。

然而該系統(tǒng)的日志文件顯示，在 2020 年 12 月 16 日和 17 日，A先生下載了他工作根本不需要的文件。然而，當(dāng)時系統(tǒng)沒有發(fā)出警報。

從以往違反制裁法的刑事案件來看，A先生有可能被判處 18 至 32 個月的監(jiān)禁。檢察院希望通過此案樹立一個榜樣：荷蘭經(jīng)濟(jì)高度依賴高科技公司，這些知識產(chǎn)線必須得到保護(hù)。