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縮小芯片上重要器件的關鍵尺寸能夠讓芯片廠生產(chǎn)出更快的微處理器，但在成像時用于曝光光罩的光波波長對于能夠形成的器件有最小關鍵尺寸的限制。在過去幾代的芯片器件上，半導體行業(yè)一直使用深紫外線 (DUV) 光波。以后更短的波長將是 EUV 的天下。專家預測，使用EUV 光刻有可能創(chuàng)造出比當今最強大的芯片還要快一百倍的器件。?

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KLA-Tencor 的副總裁兼工藝控制" title="工藝控制">工藝控制信息部的總經(jīng)理 Ed Charrier 表示：“業(yè)界光刻技術藍圖將 EUV 列為幾年內生產(chǎn)半導體器件的一項潛在技術，但還有若干技術障礙需要克服。我們的新版計算光刻工具 PROLITH 12 讓研究人員能夠精確地模擬 EUV 光波與光罩、成像材料及工藝之間的相互作用，以預測晶片上圖案的結果。有了 PROLITH 12，研究人員無需使用試驗材料和任何制程設備，他們也不必經(jīng)歷數(shù)百個測試晶片光刻的昂貴和漫長的過程。”?

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光刻波長的變化歷來是一項重大任務，因為必須開發(fā)和測試新的掃描曝光機、新的光刻膠材料和新的光罩。轉換到 EUV 光刻會帶來新的挑戰(zhàn)，即必須使用來自不透明光罩的反射光來刻畫晶片，因為現(xiàn)在沒有光罩材料對 EUV 光是透明的。這個重大變化造成印在晶片上的圖案不對稱。PROLITH 12 就是專為解決 EUV 特有的挑戰(zhàn)而設計的。 ?

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作為業(yè)界領先的 PROLITH 平臺的升級版，PROLITH 12 是 KLA-Tencor 先進光刻解決方案組合中的拳頭產(chǎn)品。PROLITH 12 已被美國和亞洲的研發(fā)機構及先進的內存制造商采用，幫助研發(fā)工程師判斷 EUV 光刻的可行性，并確定 EUV 能夠獲得成功的條件。? ?

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關于 KLA-Tencor：? ?

KLA-Tencor 公司是專為半導體和相關微電子行業(yè)提供工藝控制及良率管理解決方案的全球領先供應商。該公司總部設在美國加州的Milpitas，銷售及服務網(wǎng)絡遍布全球。KLA-Tencor 躋身于標準普爾 500 強公司之一，并在納斯達克全球精選市場上市交易，其股票代碼為 KLAC。有關該公司的更多信息，請訪問 http://www.kla-tencor.com。(KLAC-P).?

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前瞻性聲明：?

本新聞稿中除歷史事實以外的聲明，例如關于向 EUV 的預期技術轉移及解決有關此預期轉移挑戰(zhàn)的 PROLITH 12 的能力，均為前瞻性聲明，并受到《1995 年美國私人證券訴訟改革法案》(Private Securities Litigation Reform Act of 1995) 規(guī)定的“安全港”條款的制約。這些前瞻性聲明基于當前信息及預期，且包含諸多風險與不確定性。由于各種因素，實際結果可能與此類聲明中的預計結果實質不同，包括由于未曾預料的成本或性能問題而導致延遲采用新技術。?