MEMS傳感器的靜止帶寬測(cè)試
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：serena
標(biāo)簽： MEMS傳感器
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文檔介紹： 對(duì)于采用MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng)而言，優(yōu)化帶寬可能是關(guān)鍵考慮因素。這代表著精度(噪聲)與響應(yīng)時(shí)間之間的一種經(jīng)典權(quán)衡。雖然多數(shù)MEMS傳感器制造商都會(huì)給出典型帶寬指標(biāo)，往往還需要驗(yàn)證傳感器或整個(gè)系統(tǒng)的實(shí)際帶寬。在確定加速度計(jì)和陀螺儀的帶寬特性時(shí)，一般需要使用振動(dòng)臺(tái)或其他機(jī)械激勵(lì)源。要精確確定特性，需要全面了解應(yīng)用于受測(cè)器件(DUT)的運(yùn)動(dòng)。在此過程中需要管理多種潛在誤差源。在機(jī)械帶寬測(cè)定中，一個(gè)常見的誤差源是諧振。導(dǎo)致機(jī)械諧振的原因有多種，包括激勵(lì)源維護(hù)不當(dāng)、DUT與激勵(lì)源耦合不良以及基準(zhǔn)傳感器放置等。這些誤差的隔離十分耗時(shí)，可能給至關(guān)重要的項(xiàng)目進(jìn)度帶來風(fēng)險(xiǎn)。
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