諧振微懸臂梁傳感器的工作原理及其在生化檢測(cè)中的研究進(jìn)展
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：zhoubin333
文檔大小：7038 K
標(biāo)簽： 諧振式傳感器 微懸臂梁 微機(jī)電系統(tǒng)
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文檔介紹：諧振微懸臂梁是一種可以將質(zhì)量變化轉(zhuǎn)換為頻率信號(hào)的微質(zhì)量型傳感器，因其分辨率高、靈敏度高、成本低、易于集成和小型化等優(yōu)點(diǎn)而備受關(guān)注。諧振微懸臂梁現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于流量控制、生物醫(yī)學(xué)痕量檢測(cè)、氣態(tài)和液態(tài)分子分析等領(lǐng)域。近年來(lái)，隨著微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）技術(shù)的快速發(fā)展，針對(duì)諧振式微懸臂梁傳感器的研究與應(yīng)用越來(lái)越多，對(duì)近年來(lái)諧振式微懸臂梁傳感器在環(huán)境檢測(cè)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的具體應(yīng)用進(jìn)行了綜述，并對(duì)未來(lái)的發(fā)展方向做出了展望。
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