ULSI熱分析中考慮通孔自熱效應后的有效熱導系數(shù)
所屬分類：技術論文
上傳者：aet
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文檔介紹：研究了ULSI熱分析中考慮通孔自熱效應后的有效熱導系數(shù)的理論模型，詳細計算了不同的通孔間距、通孔直徑、通孔高度以及金屬線寬對有效熱導系數(shù)的影響。結(jié)果表明，考慮通孔自熱效應后，使有效熱導系數(shù)的計算更加符合實際情況，為進一步分析USLI的熱學模型提供了理論依據(jù)。
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