DAS Environmental Expert公司為半導體行業(yè)創(chuàng)造新的價值：

新型SALIX系統(tǒng)能減少占地面積并提高效率，從而降低清除成本

    位于德國德累斯頓的DAS Environmental Expert公司是半導體行業(yè)廢氣處理領域的全球領先企業(yè)，該企業(yè)研發(fā)出名為SALIX的新型系統(tǒng)。SALIX是一種有害氣體清除系統(tǒng)，主要針對濕式蝕刻清洗臺應用。DAS Environmental Expert公司廢氣處理業(yè)務部門總監(jiān)Guy Davies博士表示：“我們?yōu)榱藨獙蛻舻男枨蠖_發(fā)這一系統(tǒng)。早前，有一家鑄造行業(yè)的大型企業(yè)希望尋求一種解決方案來處理濕式蝕刻清洗臺產生的廢氣。2012年12月，DASEnvironmental Expert公司安裝了首套系統(tǒng)，并從今年一月起一直運行至今。通過對排放進行測量，結果顯示其系統(tǒng)完全能夠滿足客戶的需求，廢氣中未發(fā)現(xiàn)任何需要清除的有害物質。”

半導體行業(yè)同樣面臨著持續(xù)的競爭成本壓力

    由于該機構十分注重以負責的態(tài)度使用資源，另一方面芯片制造商更為看重效率，因此為濕式蝕刻清洗臺配備使用端清除工藝是兩全其美的解決方案。Davies表示：“一部濕式蝕刻清洗臺至多有12個腔室。目前，每個腔室的廢氣仍需借助多個廢氣系統(tǒng)進行清除，其需要利用復雜的轉換模塊以免管道內部出現(xiàn)沉積。但SALIX的出現(xiàn)能讓我們從此不再需要這些體積龐大的裝置。您只需為每部濕式蝕刻清洗臺配備一套SALIX系統(tǒng)，以及一根用于輸送干凈廢氣的管道。此外，SALIX相比之前的技術占地面積有了大幅度的降低。”

    該端清除技術適用于單晶圓濕式蝕刻清洗臺，迄今，尚未有人考慮過為該系統(tǒng)配備使用端清除設備，DASEnvironmental Expert公司是目前唯一使用該技術的供應商。Davis對此表示：“這一情況已經有所改變。我們目前已收到多家美國客戶的垂詢。業(yè)界對于SALIX的興趣日漸濃厚，這是因為節(jié)省資源目前的意義遠高過其成本”。 

SALIX通過減少占地面積和提高效率同樣可以降低清除成本

    在濕式蝕刻清洗臺上生產IC芯片時，晶圓按照特定的加工步驟并使用不同的溶液依次進行清洗，對此Davis解釋說：“具體包括純水、酸性和堿性化學溶劑，以及揮發(fā)性溶劑。隨后這些晶圓會被烘干，確保沒有殘留物質。”

    Davies說道：“清洗200毫米的晶圓時，整個片匣需要浸入溶液。芯片制造商目前依靠所謂的單晶圓清洗工藝來清洗300毫米晶圓。該工藝會將單片晶圓浸入清洗溶液，并且在其中快速旋轉。得益于這種旋轉，清洗劑可以均勻地分布到晶圓表面，最終從晶圓邊緣甩出，并通過該系統(tǒng)內部的擋板收集到一起。”

     從濕式蝕刻清洗臺吸出的廢氣含有一定比例的清洗劑——不論是以氣相形式，還是以液滴形式。以前，這些清洗劑均依靠極為復雜的提取系統(tǒng)收集。Davies說：“需要有幾個這樣的系統(tǒng)來分離并提取含有酸、堿以及溶劑的廢氣，因為只有分離吸取，才能有效防止管道出現(xiàn)細粒堆積和冷凝現(xiàn)象。”

    SALIX利用化學和物理吸附的兩階段洗滌流程，在其源頭從氣流中直接清除有害物質。借助分離式出風口，有害氣體從濕式蝕刻清洗臺的加工腔室進入預洗滌器，后者通過使用噴嘴對氣體進行預清潔。從這里開始，廢氣進入首個洗滌階段，隨后才是第二階段，并采用完全不同的洗滌液。由于沒有任何技術或環(huán)境威脅，剩下的干凈空氣可以直接排入空氣中。

    借助使用端清除技術，SALIX能夠有效防止其排氣管發(fā)生堵塞。該系統(tǒng)不需要任何稀釋空氣，因此精心制備的干凈空氣會依然留在凈室之中，以進一步降低成本。

公司簡介

    DAS Environmental Expert公司是一家環(huán)保科技公司，總部設于德國德累斯頓。DAS成立于1991年，是全球領先的工藝氣體處理技術和設備解決方案供應商。DAS的技術已被廣泛應用于半導體、TFT-LCD、電子工業(yè)以及太陽能工業(yè)的眾多國際領先企業(yè)中。公司另設有一個業(yè)務部門，專門為工業(yè)和公用廢水開發(fā)處理和系統(tǒng)解決方案。DAS Environmental Expert業(yè)務遍布全球，目前擁有230名員工，近年來年均銷售額達2,100萬歐元。

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