IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院深入合作推動MEMS工藝技術(shù)持續(xù)發(fā)展

　　美國加利福尼亞州圣巴巴拉市及中國北京，2016年12月8日 — 美國最大的MEMS 技術(shù)和制造服務(wù)提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的三位學(xué)生頒發(fā)了2016年度MEMS專項獎學(xué)金，以獎勵他們在MEMS工藝技術(shù)開發(fā)領(lǐng)域的杰出成就。這次頒獎也標(biāo)志著IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院開展戰(zhàn)略合作已滿一周年。該獎學(xué)金已為MEMS器件制造工藝技術(shù)及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的基礎(chǔ)研究提供了支持，接下來將繼續(xù)推動MEMS技術(shù)的創(chuàng)新，并將在全球范圍內(nèi)為人才培養(yǎng)提供幫助。

　　在對所有申請獎學(xué)金的候選人進行大量評估和答辯后，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院將獎學(xué)金授予了三位學(xué)生。2016年度獎學(xué)金的獲得者是程曉亮、毛逸飛和張立。這三位IMT獎學(xué)金獲得者的研究方向分別為使用碳氟等離子體的無掩膜皺紋結(jié)構(gòu)的可控制造，聚焦離子束應(yīng)力引入技術(shù)，以及SOG（Silicon On Glass）工藝質(zhì)量監(jiān)控和工藝相關(guān)參數(shù)提取。他們的研究成果在MEMS工藝技術(shù)方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應(yīng)用中具有發(fā)展?jié)摿颓熬啊?/p>

　　MEMS已經(jīng)成為了一項關(guān)鍵的技術(shù)，被用來應(yīng)對物聯(lián)網(wǎng)、智能化和生物技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)快速發(fā)展的技術(shù)和應(yīng)用。MEMS技術(shù)持續(xù)演進，推動了器件制造工藝、新材料及封裝等方面的創(chuàng)新，以滿足未來的需求。在當(dāng)今的電子系統(tǒng)中，MEMS已經(jīng)作為一種整合技術(shù)出現(xiàn)在諸多不同的應(yīng)用中，例如無人駕駛設(shè)備、智能電話、可穿戴電子產(chǎn)品、細胞計數(shù)器和機器人等等應(yīng)用，新型的MEMS器件正在被快速地開發(fā)并推出。MEMS技術(shù)的拓展及其發(fā)展前景不但激勵著IMT 和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院等領(lǐng)先的制造與研究機構(gòu)去自發(fā)地推動MEMS技術(shù)的先進研究和開發(fā)，同時也促動他們與行業(yè)中志同道合的伙伴積極開展合作。

　　2015年，IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院簽署戰(zhàn)略合作伙伴協(xié)議，旨在通過攜手合作加快MEMS技術(shù)在中國和美國的發(fā)展。作為該協(xié)議的一部分，IMT在MEMS研究和開發(fā)領(lǐng)域設(shè)立了專項獎學(xué)金，每年向北京大學(xué)的三名（個）學(xué)生個人或團隊提供獎學(xué)金。該獎學(xué)金鼓勵創(chuàng)新，并有助于在通信、人類健康、農(nóng)業(yè)優(yōu)化和可再生能源等眾多領(lǐng)域中展現(xiàn)出MEMS制造的優(yōu)勢。該獎學(xué)金計劃是首項在中國專門針對MEMS制造工藝技術(shù)開發(fā)而設(shè)立的獎學(xué)金。

　　“很高興能夠代表IMT再一次為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的優(yōu)秀學(xué)生頒發(fā)我們的年度專項獎學(xué)金，今年同學(xué)們提交的所有論文都以極高的質(zhì)量和創(chuàng)新給我們留下了深刻的印象，也反映了該院在MEMS技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)又取得了許多技術(shù)進步和突破，”IMT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示?！白?015年IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院形成戰(zhàn)略關(guān)系以來，雙方在開發(fā)新的MEMS制造工藝及技術(shù)方面展開了合作并已經(jīng)從中獲益。這將為IMT利用自己全球領(lǐng)先的 MEMS 器件加工技術(shù)服務(wù)中國MEMS產(chǎn)業(yè)帶來新的機會。兩個組織擁有一個共同的目標(biāo)，即通過基于MEMS的技術(shù)來實現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)及其他新興技術(shù)的快速發(fā)展。”

　　“在過去的兩年中，IMT-北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院MEMS專項獎學(xué)金計劃已經(jīng)獎勵了5位學(xué)生和1個學(xué)生團隊。同學(xué)們的研究為MEMS工藝技術(shù)開發(fā)和制造帶來了真實的貢獻。該獎學(xué)金為其他青年才俊開啟了一扇大門，有助于擴展他們的視野，并使他們致力于創(chuàng)新以邁向新一代MEMS技術(shù)?！北本┐髮W(xué)微納電子學(xué)研究院李志宏教授表示，“我們與IMT之間的合作伙伴關(guān)系，以及其他類似的行業(yè)合作，對于持續(xù)創(chuàng)新而言都是至關(guān)重要的?！?/p>