《電子技術(shù)應(yīng)用》
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碳化硅與氮化鎵材料的同與不同

2018-08-17
關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 導(dǎo)電性 材料

半導(dǎo)體是一種介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,它具有導(dǎo)電性可控的特點。當(dāng)半導(dǎo)體受外界光和熱的刺激時,其導(dǎo)電能力將會有顯著變化,在純凈半導(dǎo)體中加入微量雜質(zhì),其導(dǎo)電能力會急劇增強。自科學(xué)家法拉第發(fā)現(xiàn)硫化銀以來,半導(dǎo)體材料硅、鍺、硼、銻、碳化硅和氮化鎵等相繼被發(fā)現(xiàn)與應(yīng)用。

我們生活的方方面面都離不開半導(dǎo)體技術(shù),電器、燈光、手機、電腦、電子設(shè)備等都需要半導(dǎo)體材料制造,碳化硅(SIC)與氮化鎵(GaN)屬于第三代半導(dǎo)體材料,有著非常廣闊的應(yīng)用前景。

碳化硅與氮化鎵的相同之處

碳化硅與氮化鎵均屬于寬禁帶半導(dǎo)體材料,它們具有禁帶寬度大、電子漂移飽和速度高、介電常數(shù)小、導(dǎo)電性能好的特點。隨著市場對半導(dǎo)體器件微型化、導(dǎo)熱性的高要求,這類材料的市場需求暴漲,適用于制作抗輻射、高頻、大功率和高密度集成的電子器件。

碳化硅與氮化鎵的優(yōu)點與不足

碳化硅又叫金剛砂,是用石英砂、石油焦、木屑等原料通過電阻爐高溫冶煉而成。碳化硅在大自然也存在罕見的礦物——莫桑石,在當(dāng)代C、N、B等非氧化物高技術(shù)耐火原料中,碳化硅為應(yīng)用最廣泛、最經(jīng)濟的一種。目前我國工業(yè)生產(chǎn)的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體。

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氮化鎵是氮和鎵的化合物,是一種直接能隙的半導(dǎo)體,該化合物結(jié)構(gòu)類似纖鋅礦,硬度很高。氮化鎵的能隙很寬,為3.4電子伏特,可以用在高功率、高速的光電元件中,如氮化鎵可以用在紫光的激光二極管,可以在不使用非線性半導(dǎo)體泵浦固體激光器的條件下,產(chǎn)生紫光激光。

碳化硅與氮化鎵的應(yīng)用領(lǐng)域和難點

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碳化硅是當(dāng)前發(fā)展最成熟的寬禁帶半導(dǎo)體材料,世界各國對碳化硅的研究很重視,美歐日等不僅從國家層面上制定了相應(yīng)的研究規(guī)劃。

碳化硅因具有很大的硬度而成為一種重要的磨料,但其應(yīng)用范圍卻超過一般的磨料。例如,它所具有的耐高溫性、導(dǎo)熱性而成為隧道窯或梭式窯的首選窯具材料之一,它所具有的導(dǎo)電性使其成為一種重要的電加熱元件等。除此之外,碳化硅材料還可應(yīng)用于功能陶瓷、耐火材料、冶金原料等應(yīng)用領(lǐng)域。

碳化硅器件的發(fā)展難題不是設(shè)計難題,而是實現(xiàn)芯片結(jié)構(gòu)的制作工藝,如碳化硅晶片的微管缺陷密度、外延工藝效率低、摻雜工藝的特殊要求、配套材料的耐溫等。碳化硅生產(chǎn)的另一個問題是環(huán)保,由于碳化硅在冶煉過程中會產(chǎn)生一氧化碳、二氧化硫等有害氣體,同時粉塵顆粒如果處理不當(dāng),污染非常嚴重。

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氮化鎵是研制微電子器件、光電子器件的新型半導(dǎo)體材料,在光電子、激光器、高溫大功率器件和高頻微波器件應(yīng)用方面有著廣闊的前景。

氮化鎵材料的發(fā)展難題有三個,一是如何獲得高質(zhì)量、大尺寸的GaN籽晶,因為直接采用氨熱方法培育一個兩英寸的籽晶需要幾年時間;二是對于氮化鎵材料,長期以來由于襯底單晶沒有解決,異質(zhì)外延缺陷密度相當(dāng)高,因為氮化鎵極性太大,難以通過高摻雜來獲得較好的金屬-半導(dǎo)體的歐姆接觸,工藝制造較復(fù)雜;三是氮化鎵產(chǎn)業(yè)鏈尚未完全形成。

碳化硅與氮化鎵的制造工藝

由于天然含量甚少,碳化硅主要多為人造,常見的方法是將石英砂與焦炭混合,利用其中的二氧化硅和石油焦,加入食鹽和木屑,置入電爐中,加熱到2000°C左右高溫,經(jīng)過各種化學(xué)工藝流程后得到碳化硅微粉。

法國和瑞士科學(xué)家首次使用氮化鎵在(100)-硅(晶體取向為100)基座上,成功制造出了性能優(yōu)異的高電子遷徙率晶體管(HEMTs)。據(jù)OFweek電子工程網(wǎng)獲悉,珠海一家公司擁有8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)生產(chǎn)線,這是中國首條實現(xiàn)量產(chǎn)的8英寸硅基氮化鎵生產(chǎn)線。當(dāng)前氮化鎵的工藝制造難題是薄膜冷卻時受熱錯配應(yīng)力的驅(qū)動下,容易發(fā)生破裂或翹曲,成為硅基氮化鎵大英寸化的主要障礙。

碳化硅與氮化鎵或?qū)⒊砂雽?dǎo)體市場主流

隨著國家對第三代半導(dǎo)體材料的重視,近年來,我國半導(dǎo)體材料市場發(fā)展迅速。其中以碳化硅與氮化鎵為主的材料備受關(guān)注。碳化硅與氮化鎵很多相同的地方,比如均有著好的前景,材料特性優(yōu)于第一第二代半導(dǎo)體材料等。兩者特性的不同造就了其不同的應(yīng)用領(lǐng)域,未來,碳化硅與氮化鎵將發(fā)揮各自的優(yōu)勢,相輔相成,一起撐起半導(dǎo)體應(yīng)用的天空。

盡管如此,但碳化硅與氮化鎵的產(chǎn)業(yè)難題仍待解決,如我國材料的制造工藝和質(zhì)量并未達到世界頂級,材料制造設(shè)備依賴于進口嚴重,碳化硅與氮化鎵材料和器件方面產(chǎn)業(yè)鏈尚未形成等,這些問題需逐步解決,方可讓國產(chǎn)半導(dǎo)體材料屹立于世界頂尖行列。


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