ASML近日官宣，最新規(guī)格EUV光刻機(jī)擬明年中期發(fā)貨。
據(jù)《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》消息，ASML公布了EUV路線圖上的新機(jī)型TWINSCANNXE:3600D的最終規(guī)格，這是30mJ/cm2的曝光速度達(dá)到每小時(shí)曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至1.1納米，并計(jì)劃于2021年的中期開(kāi)始發(fā)貨。
在DUV光刻業(yè)務(wù)領(lǐng)域，ASML在本季度對(duì)第一臺(tái)TWINSCAN NXT:2050i進(jìn)行了質(zhì)量認(rèn)證，并于第四季度初發(fā)貨。NXT:2050i基于NXT平臺(tái)的新版本，其中包括掩模版工作臺(tái)，晶圓工作臺(tái)，投影物鏡和曝光激光器的技術(shù)改進(jìn)。該系統(tǒng)提供了比其前身更好的套刻精度控制，并具有更高的生產(chǎn)率，而且，NXT:2050i 將立即進(jìn)入批量生產(chǎn)。
ASML是全球光刻機(jī)行業(yè)龍頭，市占率超過(guò)60%，在DUV浸入式光刻機(jī)市場(chǎng)占據(jù)了最大的份額，并壟斷了頂級(jí)的EUV光刻機(jī)市場(chǎng)。
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