《電子技術(shù)應(yīng)用》
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三星困局,臺(tái)積電買下了70%的EUV光刻機(jī)  

2021-05-20
來(lái)源:半導(dǎo)體行業(yè)觀察

  據(jù)《日經(jīng)新聞》早前的報(bào)道,臺(tái)積電之所以能在先進(jìn)工藝方面擊敗三星,主要是因?yàn)樗麄儞屧谌侵皳屨剂薃SML 70%的設(shè)備。由于ASML是世界上唯一能夠提供這種工業(yè)規(guī)模的EUV設(shè)備的公司,因此相對(duì)臺(tái)積電,三星失去了很多基礎(chǔ)優(yōu)勢(shì),臺(tái)積電無(wú)疑將利用這一優(yōu)勢(shì)進(jìn)一步擴(kuò)大其與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手之間的技術(shù)差距。這也是為何三星領(lǐng)導(dǎo)人之前頻頻造訪荷蘭光刻機(jī)巨頭的原因。

  而從日經(jīng)的報(bào)道可以看到,ASML迄今為止大約出貨了100臺(tái)EUV光刻機(jī)。

  ASML將赴韓國(guó)建廠,三星迎來(lái)新契機(jī)?

  據(jù)報(bào)導(dǎo),南韓產(chǎn)業(yè)通商資源部(MOTIE)宣布,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備巨頭ASML計(jì)劃在未來(lái)4年內(nèi),于南韓投資2,400億韓元(約2.1億美元),建造極紫外光(EUV)再制廠和培訓(xùn)中心園區(qū)。

  報(bào)導(dǎo)指出,ASML計(jì)劃在未來(lái)4年之內(nèi),在南韓京畿道華城市建造一個(gè)EUV設(shè)備園區(qū),其中包括一個(gè)再制工廠和一個(gè)培訓(xùn)中心。新的廠區(qū)預(yù)期將在2025年完工,并計(jì)劃在南韓當(dāng)?shù)仄腹?00名專業(yè)人員。

  ASML是全球唯一的極紫外光(EUV)設(shè)備生產(chǎn)商,主要被用于半導(dǎo)體生產(chǎn),該公司的光刻設(shè)備每臺(tái)價(jià)格超過(guò)1億美元,被三星、英特爾、臺(tái)積電等半導(dǎo)體制造商用來(lái)協(xié)助制造芯片,是生產(chǎn)制造必不可少的設(shè)備,但年產(chǎn)量卻在30至40臺(tái)之間。

  報(bào)導(dǎo)指出,ASML位在南韓的再制廠,將用來(lái)升級(jí)已經(jīng)在南韓國(guó)當(dāng)?shù)剡\(yùn)作的EUV設(shè)備。預(yù)計(jì)用于培訓(xùn)設(shè)備操作工程師的訓(xùn)練中心,也將為南韓國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體公司帶來(lái)福音。此外,ASML與南韓客戶之間的業(yè)務(wù)關(guān)系也有望得到加強(qiáng)。

  ASML在第一季出貨9臺(tái)極紫外光(EUV)機(jī)臺(tái),但僅先確認(rèn)7臺(tái)的營(yíng)收,總計(jì)11億歐元。公司預(yù)計(jì),今年EUV機(jī)器的總銷量將比2020年成長(zhǎng)30%。

  針對(duì)這個(gè)決定,其實(shí)外面有很多討論,但ASML方面向《中國(guó)電子報(bào)》記者表示,韓國(guó)客戶存在相應(yīng)需求,因此ASML選擇就近建廠為其提供服務(wù)。ASML方面表示,對(duì)于這一點(diǎn),外界其實(shí)無(wú)需過(guò)度解讀。

  


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