眾所周知，在芯片領(lǐng)域有一種特別重要，特別受關(guān)注，同時中國技術(shù)又相對落后的設(shè)備，那就是光刻機(jī)，芯片制造必不可少的設(shè)備之一。

特別是EUV光刻機(jī)，目前全球僅ASML一家能夠制造，很多人稱EUV光刻機(jī)是人類建造的最復(fù)雜的機(jī)器之一，所以ASML也被很多人奉上“神壇”，甚至還傳出“給你全套圖紙，你也造不出光刻機(jī)”的說法。

但要我說，ASML其實(shí)也只是一個組裝廠，它是整合全球的供應(yīng)鏈，最后將什么EUV光刻機(jī)組裝了出來，你會怎么想？

EUV光刻機(jī)的原理是什么？說起來超級簡單，就是激光器激發(fā)出13．5nm波長的極紫外線，然后經(jīng)過矯正后形成一束可控的光，再用能量控制器，將這一束光投射到光掩膜臺后，再經(jīng)過物鏡投射到曝光臺，最后在涂了光刻膠的硅晶圓上蝕刻出電路。

一臺EUV光刻機(jī)有三項(xiàng)核心技術(shù)，分別是頂級的光源（激光系統(tǒng)）、高精度的鏡頭（物鏡系統(tǒng)）、精密儀器制造技術(shù)（工作臺）。

激光系統(tǒng)就是產(chǎn)生極紫外線的系統(tǒng)，這項(xiàng)技術(shù)來源于美國企業(yè)Cymer，2012年被ASML收購了。

高精度的鏡頭，也就是將激光進(jìn)行收集成束，以及物鏡系統(tǒng)，這一塊的技術(shù)來源德國的蔡司，蔡司拿出了全世界最平表現(xiàn)的元件，那就是分布式布拉格反射器。

第三項(xiàng)核心技術(shù)，也就是精密儀器制造技術(shù)，也來自于德國，甚至連核心一中的整體打包方案都是德國TRUMPF公司提供的。

按照媒體的說法，一臺EUV光刻機(jī)中，超過10萬個零件，其中ASML只掌握了不到10％的核心技術(shù)，另外的90％全靠ASML全球去整合資源，甚至需要全球進(jìn)口。

ASML最大的能力是了解客戶需求，整合供應(yīng)鏈，最后把光刻機(jī)組裝出來，這一特質(zhì)，在當(dāng)時ASML與臺積電合作，全球首造浸潤式光刻機(jī)時就注定了的。

當(dāng)時，尼康、佳能是光刻機(jī)大哥，ASML只是小廠，臺積電提出可以用水做介質(zhì)，尼康、佳能傲慢自大，認(rèn)為這是個餿主意，而ASML是小廠，看不到希望，干脆搏一搏，說不定單車變摩托，最后這一搏，搏出來了ASML的未來。

所以ASML嘗到了甜頭后，認(rèn)清了現(xiàn)實(shí)，那就是自己最重要的就是看各大晶圓廠需要什么樣的東西，然后再全球找供應(yīng)鏈，再和客戶一起研究試驗(yàn)，把客戶需要的東西組裝出來。

而不是自己苦哈哈的埋頭做研究，最后發(fā)現(xiàn)這研究出來的玩意，客戶不需要，那才是研發(fā)的失敗，這是ASML的長處，也是芯片行業(yè)的叢林法則，那就是攢局，將各大利集團(tuán)捆綁在一起，才是核心。

       原文標(biāo)題 : EUV光刻機(jī)3大核心：2大來自德國，1大來自美國，ASML負(fù)責(zé)組裝

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