12月24日晚間，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商華海清科發(fā)布公告稱，公司及上海分公司擬合計(jì)使用自有資金不超過(guò)10.045億元，收購(gòu)參股子公司芯崳半導(dǎo)體（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“芯崳半導(dǎo)體”）剩余82%的股權(quán)。交易完成后，芯崳半導(dǎo)體將成為華海清科全資子公司。

公告顯示，芯崳半導(dǎo)體主要從事集成電路離子注入機(jī)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前實(shí)現(xiàn)商業(yè)化的主要產(chǎn)品為低能大束流離子注入設(shè)備，相關(guān)產(chǎn)品已發(fā)往客戶端驗(yàn)證。芯崳公司核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)專注于離子注入行業(yè) 30 多年，具有豐富的離子注入行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，在長(zhǎng)期研發(fā)過(guò)程中不斷積累了產(chǎn)品設(shè)計(jì)及工藝性能的核心參數(shù)，并對(duì)設(shè)備核心模塊離子束流系統(tǒng)的傳輸路徑進(jìn)行了升級(jí)改進(jìn)，使得芯崳半導(dǎo)體目前的產(chǎn)品較同類競(jìng)品的晶圓顆粒污染控制效果、晶圓的裝載效率更優(yōu)，且設(shè)備零部件的國(guó)產(chǎn)化率更高。

截至審計(jì)基準(zhǔn)日（2024 年 5 月 31 日），芯崳半導(dǎo)體已發(fā)出的離子注入設(shè)備尚在客戶驗(yàn)證過(guò)程中，尚未形成收入。截至本報(bào)告披露日，芯崳公司已有部分機(jī)臺(tái)實(shí)現(xiàn)驗(yàn)收。2023年及2024年1—5月，芯崳半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)歸屬凈利潤(rùn)分別約為-2442.08萬(wàn)元、-1516.68萬(wàn)元。經(jīng)交易雙方協(xié)商確定，芯崳半導(dǎo)體 100%股權(quán)的整體價(jià)格定為 122,500 萬(wàn)元。

從股權(quán)結(jié)構(gòu)上來(lái)看，上海凱城半導(dǎo)體科技合伙企業(yè)（有限合伙）為芯崳半導(dǎo)體控股股東，CHEN WEI及 CHEN JIONG 為芯崳半導(dǎo)體的共同實(shí)際控制人。

根據(jù)公告顯示，離子注入設(shè)備涉及高壓電子、機(jī)械、電氣、計(jì)算機(jī)控制、等離子體物理等基礎(chǔ)科學(xué)，理論門檻高，系統(tǒng)集成難度大。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，在全球及國(guó)內(nèi)市場(chǎng)中，超過(guò)九成的設(shè)備仍由美國(guó)應(yīng)用材料公司、美國(guó)亞舍立公司供應(yīng)，市場(chǎng)集中度較高。目前，根據(jù)公開(kāi)信息，國(guó)內(nèi)開(kāi)展離子注入設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)的公司包括芯崳半導(dǎo)體、北京爍科中科信電子裝備有限公司、上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司和青島四方思銳智能技術(shù)有限公司等。

近年來(lái)，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模迅速增長(zhǎng)。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2025年全球12英寸晶圓廠設(shè)備資本支出強(qiáng)度預(yù)計(jì)提升，有望達(dá)到1165億美元，同比增長(zhǎng)20%；且2026年有望達(dá)到1305億美元。中國(guó)市場(chǎng)2022年、2023年半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模分別達(dá)到282.7億美元、356.97億美元，增速明顯高于全球。

作為收購(gòu)方，華海清科是一家擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體裝備供應(yīng)商，開(kāi)發(fā)出了CMP裝備、減薄裝備、劃切裝備、濕法裝備、晶圓再生、關(guān)鍵耗材與維保服務(wù)等，初步實(shí)現(xiàn)了“裝備+服務(wù)”的平臺(tái)化戰(zhàn)略布局。今年前三季度公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入24.52億元，同比增長(zhǎng)33.22%；歸母凈利潤(rùn)7.21億元，同比增長(zhǎng)27.8%。

華海清科表示，芯崳半導(dǎo)體目前尚處于虧損狀態(tài)，并且預(yù)計(jì)未來(lái)短期內(nèi)仍將持續(xù)虧損，本次收購(gòu)?fù)瓿珊蠊疽矊⒓哟蟠祟悩I(yè)務(wù)的研發(fā)投入，以實(shí)現(xiàn)離子注入設(shè)備的持續(xù)迭代升級(jí)和新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，同時(shí)公司本次采用現(xiàn)金方式支付轉(zhuǎn)讓對(duì)價(jià)，公司股本規(guī)模不因本次收購(gòu)交易發(fā)生變化，因此，本次收購(gòu)?fù)瓿珊螅驹袠I(yè)務(wù)的每股收益將被新增業(yè)務(wù)板塊攤薄。

值得一提的是，芯崳半導(dǎo)體的共同實(shí)際控制人CHEN JIONG也曾是另一家離子注入設(shè)備公司——上海凱世通半導(dǎo)體（以下簡(jiǎn)稱“凱世通”）的創(chuàng)始人。CHEN JIONG于2009年在浦東張江成立了上海凱世通半導(dǎo)體，隨后逐步開(kāi)發(fā)出應(yīng)用于太陽(yáng)能、集成電路和AMOLED領(lǐng)域的離子注入機(jī)產(chǎn)品。

2018年，萬(wàn)業(yè)企業(yè)發(fā)布公告稱，宣布以9.7億元的估值收購(gòu)凱世通。不過(guò)由于2018年國(guó)際宏觀經(jīng)濟(jì)形勢(shì)發(fā)生變化，國(guó)內(nèi)光伏新政出臺(tái)后，國(guó)內(nèi)光伏企業(yè)都受到了影響。而作為光伏產(chǎn)業(yè)上游設(shè)備供應(yīng)商，凱世通經(jīng)營(yíng)狀況也不可避免的受到了影響。因此，在2018年年底，萬(wàn)業(yè)企業(yè)宣布，經(jīng)各方協(xié)商一致，同意調(diào)整公司對(duì)凱世通的收購(gòu)方案，將收購(gòu)標(biāo)的凱世通整體估值由9.7億元降至3.98億元，同時(shí)，擬取消原有的業(yè)績(jī)對(duì)賭協(xié)議。

令人意外的是，CHEN JIONG在將凱世通賣給上市公司萬(wàn)業(yè)企業(yè)之后（萬(wàn)業(yè)企業(yè)于2018 年7月16日宣布收購(gòu)凱世通100%股權(quán)），僅一個(gè)月之后的2018年8月16日就創(chuàng)立了同樣研發(fā)離子注入設(shè)備的芯崳半導(dǎo)體，現(xiàn)在又把芯崳半導(dǎo)體給賣給了上市公司華海清科。確實(shí)厲害！