使用最小二乘迭代相移方法測量透明元件
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aetmagazine
文檔大?。?span>1560 K
標簽： 干涉 最小二乘迭代算法 相移算法
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文檔介紹：為了更精確地測量透明平板前后兩個面的面形相位發(fā)布，提出了一種基于最小二乘迭代的相移算法。通過一次最小二乘相移算法后，可以得到相應的透明平板面形圖，但是由于初始得到的相位值存在誤差，因此得到的面形圖精度并不會很高。因此需要通過得到的面形圖推導出準確的相位值，本算法通過最小二乘發(fā)多次迭代的方法，計算出較準確的初始相移值。對該方法進行仿真實驗后，可知此算法的測量精度較高且抗噪能力比較好，仿真得到面形圖的PV值與RMS值誤差值均小于0.006λ。在實際測量結(jié)果中，得到測量結(jié)果的PV值誤差小于0.09λ，RMS誤差小于0.02λ。測量到的面形與物體真實面形接近，測量精度較高。
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