《電子技術(shù)應(yīng)用》
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露笑科技:襯底片年產(chǎn)2.5萬(wàn)片,預(yù)計(jì)明年6月擴(kuò)到10萬(wàn)片

2021-12-07
來(lái)源:OFweek電子工程網(wǎng)

近日,露笑科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“露笑科技”)發(fā)布投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表,針對(duì)產(chǎn)線產(chǎn)能及未來(lái)擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃等話題進(jìn)行了回應(yīng)。具體內(nèi)容如下:

有投資者提問(wèn)稱(chēng),公司產(chǎn)線11月全面投產(chǎn),目前產(chǎn)能情況如何?未來(lái)有無(wú)擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃?露笑科技表示,目前公司現(xiàn)有的襯底片年產(chǎn)能為2.5萬(wàn)片,后續(xù)將根據(jù)市場(chǎng)訂單情況繼續(xù)進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn),預(yù)計(jì)到明年6月份之前,公司將年產(chǎn)能擴(kuò)大到10萬(wàn)片。

此前,露笑科技表示在6寸碳化硅的長(zhǎng)晶領(lǐng)域有獨(dú)到的技術(shù)支持,對(duì)于目前長(zhǎng)晶技術(shù)方面有無(wú)申請(qǐng)專(zhuān)利?長(zhǎng)晶過(guò)程的關(guān)鍵點(diǎn)在哪里?對(duì)此露笑科技表示,SiC晶體生長(zhǎng)經(jīng)歷了三個(gè)階段,即Acheson法(1891年)、Lely法(1955年)、改進(jìn)的Lely法(1978年)。Acheson法主要用來(lái)生產(chǎn)磨料,現(xiàn)在仍是生產(chǎn)磨料的主要方法,鱗狀單晶片是副產(chǎn)品。Lely法的應(yīng)用使SiC晶體生長(zhǎng)向前邁進(jìn)了一步,但是和Acheson法一樣,由于無(wú)法有效控制成核,單晶尺寸小,阻礙了SiC晶體的應(yīng)用。1978年,前蘇聯(lián)科學(xué)家Tairov和Tsvetkov在前人的基礎(chǔ)上,率先使用籽晶生長(zhǎng)出SiC單晶,稱(chēng)為改進(jìn)的Lely法。這是一個(gè)劃時(shí)代的發(fā)明,極大地促進(jìn)了SiC晶體的生長(zhǎng)和應(yīng)用。西屋科學(xué)技術(shù)中心的科學(xué)家對(duì)改進(jìn)的Lely法進(jìn)行了優(yōu)化,稱(chēng)之為物理氣相輸運(yùn)技術(shù)(PVT)。PVT法是目前生長(zhǎng)SiC單晶最優(yōu)異的方法。

從SiC晶體生長(zhǎng)的簡(jiǎn)單歷史回顧看出,由于Tairov和Tsvetkov兩位科學(xué)家以論文的形式,報(bào)道了他們的研究成果,而沒(méi)有申請(qǐng)專(zhuān)利,因此SiC晶體生長(zhǎng)技術(shù)(這里專(zhuān)指PVT法)是公開(kāi)的技術(shù),任何單位和個(gè)人都有權(quán)使用這種方法生長(zhǎng)SiC晶體。

6英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)的關(guān)鍵在于溫場(chǎng)的調(diào)控和籽晶的粘接,這些所謂的“know-h(huán)ow”是晶體生長(zhǎng)研究者長(zhǎng)期實(shí)踐的總結(jié),一般是不申請(qǐng)專(zhuān)利的。目前已公開(kāi)的SiC晶體生長(zhǎng)專(zhuān)利主要側(cè)重于生長(zhǎng)設(shè)備、晶體生長(zhǎng)的某些細(xì)節(jié)或籽晶處理等方面。露笑技術(shù)團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)堅(jiān)持不懈的技術(shù)攻關(guān),全面掌握了生長(zhǎng)工藝參數(shù)之間的耦合關(guān)系,確定了各工藝參數(shù)的優(yōu)值,具備了可重復(fù)、可批量生長(zhǎng)碳化硅晶體的設(shè)備及技術(shù)條件?;诩夹g(shù)保密的需要,露笑暫未申請(qǐng)相關(guān)專(zhuān)利,待時(shí)機(jī)成熟后公司會(huì)加大專(zhuān)利布局的力度。

被問(wèn)及公司提供的襯底產(chǎn)品在全球處于什么水平,可否用于SiC功率器件時(shí),露笑科技表示,公司生產(chǎn)的6英寸導(dǎo)電型4H-SiC襯底片已通過(guò)下游廠商驗(yàn)證,各項(xiàng)參數(shù)達(dá)到了P級(jí)工業(yè)應(yīng)用的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn),產(chǎn)品品質(zhì)處于第一梯隊(duì)。公司的碳化硅襯底片既可用于碳化硅肖特基二極管(SBD),也可以用于金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)管(MOSFET)器件,能滿足絕大多數(shù)場(chǎng)景碳化硅功率器件的要求。

目前,露笑科技的襯底片應(yīng)用領(lǐng)域包括碳化硅SBD二極管和MOSFET管,可以廣泛應(yīng)用于新能源汽車(chē)、光伏等各個(gè)領(lǐng)域。公司的碳化硅襯底片車(chē)企和光伏領(lǐng)域都能應(yīng)用,目前與下游一些知名廠商在積極接洽中。目前公司碳化硅襯底片生產(chǎn)工藝穩(wěn)定,水電氣等運(yùn)行也一切穩(wěn)定,規(guī)模化量產(chǎn)不存在問(wèn)題。




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