《電子技術(shù)應(yīng)用》
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為了超越7納米,IBM有啥新招

2018-10-18
關(guān)鍵詞: IBM 石墨烯 芯片 納米

  四年前,IBM宣布將在未來(lái)五年內(nèi)投資30億美元用于發(fā)展納米電子學(xué)[1],這筆投資對(duì)應(yīng)的大項(xiàng)目名稱是“7納米及超越7納米”。至少有一家主要芯片制造商(包括GlobalFoundries)在7納米節(jié)點(diǎn)碰壁,但I(xiàn)BM正通過(guò)使用石墨烯在預(yù)先確定的位置沉積納米材料,繼續(xù)向前邁進(jìn)。

  據(jù)《自然-通訊》期刊上10月5日在線發(fā)表的一篇論文[2]所述,IBM的研究人員首次使石墨烯帶電以便其幫助實(shí)現(xiàn)以97%的準(zhǔn)確率沉積納米材料。

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  量子點(diǎn)(紅色)、碳納米管(灰色)和二硫化鉬納米片(白色/灰色)顯示為代表性的0D,1D和2D納米材料,可以基于石墨烯基的、電場(chǎng)輔助的沉積方法將它們大規(guī)模地加以組裝。

  “由于這種方法適用于各種納米材料,我們?cè)O(shè)想了具有代表納米材料獨(dú)特物理特性的功能的集成器件?!盜BM巴西研究所的管理者M(jìn)athias Steiner說(shuō)?!拔覀冞€能想到在由納米材料的光學(xué)特性決定的不同波長(zhǎng)范圍內(nèi)工作的芯片上光探測(cè)器和發(fā)射器?!?/p>

  Steiner解釋說(shuō),例如,如果你想要修改光電器件的光譜特性,你可以簡(jiǎn)單地替換納米材料,而同時(shí)保持制造工藝流程不變。如果你進(jìn)一步采用該方法,你可以進(jìn)行多次組裝,將在不同位置的不同納米材料加以組裝,以創(chuàng)建同時(shí)在不同檢測(cè)窗口運(yùn)行的多個(gè)芯片上光檢測(cè)器。

  IBM巴西研究所的研究人員Michael Engel說(shuō),整個(gè)方法可以看作是一種自下而上/自上而下的混合工藝流程。幾年前,IBM創(chuàng)造了一種混合工藝[3],它結(jié)合了自上而下的制造技術(shù)(如光刻技術(shù))和自下而上的技術(shù)(通過(guò)自組裝“生長(zhǎng)出”電子產(chǎn)品)。

  Engel解釋說(shuō),這種混合工藝的第一步是直接在進(jìn)行納米材料組裝的基板上生長(zhǎng)石墨烯。

  在IBM的演示中,他們?cè)谔蓟枭鲜褂昧耸?。Engel指出,也可以在另一種材料(如銅)上生長(zhǎng)石墨烯,然后剝離石墨烯并將其放在硅/二氧化硅晶片上。

  下一步是蝕刻石墨烯以確定沉積位置。這是大規(guī)模完成的,可以被認(rèn)為是該工藝的自上而下部分。

  第三步采用自下而上技術(shù),研究人員將AC電場(chǎng)應(yīng)用于圖案化的石墨烯層,同時(shí)在上面放置納米材料溶液。然后,納米材料被拖曳下來(lái)并被限制在相反的石墨烯電極之間。

  Engel說(shuō):“所以,石墨烯履行了界定放置位置和為定向納米材料組裝提供電場(chǎng)方向和拖曳力的功能”。

  在該工藝的第四步中,蝕刻掉石墨烯沉積電極,接著是用于集成和操作電子或光電器件的其他制造步驟。

  在這項(xiàng)研究成果之前的最先進(jìn)技術(shù)是使用金屬電極,金屬電極是很難移除的,限制了器件性能和集成潛力。

  Steiner說(shuō):“我們相信這項(xiàng)研究的最大突破是在更大的、毫米尺度的區(qū)域內(nèi)自下而上放置納米級(jí)分辨率的各種納米材料,并可很容易地移除(殘留的自由)電極。石墨烯電極使納米材料對(duì)齊和密集排列的能力出色,且可限制化學(xué)物質(zhì)的暴露,避免金屬線,從而實(shí)現(xiàn)卓越的器件性能?!?/p>

  該工藝不會(huì)在一夜之間拯救摩爾定律。根據(jù)Engel的說(shuō)法,最大的挑戰(zhàn)之一是將基于溶液處理的納米材料引入工業(yè)規(guī)模的制造過(guò)程。

  Engel說(shuō):“這將需要在納米材料溶液的標(biāo)準(zhǔn)化方面取得進(jìn)展,以實(shí)現(xiàn)可重復(fù)和一致的結(jié)果,同時(shí)也需要使電場(chǎng)輔助的方法適用于晶圓級(jí)制造工藝?!?/p>

  雖然IBM無(wú)法解決納米材料溶液的標(biāo)準(zhǔn)化問(wèn)題,但研究人員正在繼續(xù)研究器件層面的技術(shù),并將不同的納米材料集成在一起,以便定制基本的集成電路(例如電子逆變器、環(huán)形振蕩器等)。

  沿著這些思路,研究人員正在開(kāi)發(fā)其光譜特性由組裝的納米材料決定的、專用的芯片上光發(fā)射器和探測(cè)器。


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